프루버

프루버

1. 링크
   1. 전자부품
      1. 프루버
2. 투고기술 보유, EG2001X 프루버
   1. 메뉴얼
      4. EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
   2. 분석 엑셀
      1. 반지름 특성 분석 엑셀 파일
   3. 동작 프로그램
      1. 본체 GPIB 주소: 702
      2. 프로그램 소스
         1. 파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 prober01-ibw.txt
         2. 파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 + 2420 소스미터 추가 prober02-ibw.txt
         3. 칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 prober03-ibw.txt
         4. 다이 단위로 움직이면서, 특성값이 나올 때까지 8방향 이동. prober04-ibw.txt
      3. Message Completion(MC)와 failure(MF) 응답
         1. X-Y 이동 및 Z 이동이 끝날 때마다 이 메시지를 출력한다. 그러므로 반드시 이 메시지를 받아야 한다.
         2. X-Y 이동에 관한 명령어는 FM, GF, HO, MD, MF, MM, MO, MP
         3. Z 이동 명령어는 MT, ZD, ZM, ZR, ZU
      4. 주요 action 명령어
         1. FMXxYx :x,y는 -32768~32768 범위. 다이 내에서 절대 마이크로 좌표단위로 이동
         2. HO :홈 위치로 이동. 척 Z높이를 200으로 낮추고, forcer를 platen 우하 코너로 이동시킴
            1. MF :First die로 이동
            2. FD :현재 위치를 First die로 지정함.
         3. LA0, LA1 :조명장치 ON/OFF
         4. MO :절대 다이 스텝으로 이동, MOXnYn (n=-999999~999999)
            1. MDXnYn :상대(first 다이 기준으로) 다이 스텝
         5. MM :현재 위치에서 상대적인 기계 스텝으로 이동, MMXnYn (n=-999999~999999) 1이면 2.5um
            1. MAXnYn :forcer를 platen 면적에 해당하는 절대위치로 이동
         6. MTn :현재 각도에서 theta 상대 이동 (n=-7603~7604 모터스텝)
         7. PA :프루빙 임시정지(Z down)/계속(pause/continue) PA 한 번에 정지, 다음 수행 때 계속. 키보드에 있는 PAUSE/CONT와 동일
         8. SA :현재 프로세스를 멈추고 버저 울림. PAUSE 키 누르면 버저 종료, 다시 누르면 프로세스 수행
         9. ZU 및 ZD :척 업 및 다운, ZM :지정 높이로 Z 이동
            1. ZMn :Z를 지정된 높이까지 이동. n=2000~Z Up limit까지. 2000이면 200mil이다. 기계마다 Z 스테이즈 분해능에 의존함. 1/2, 1, 1/4, 1/8min 중 하나임.
            2. ZRn :Z를 현재높이에서 상대적인 위치로 이동. n=-2000~2000 음수는 낮춘다.
         10. VAn :척 진공 n=0/1 on/off
      5. 주요 query 명령어
         1. ?A0 :Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨
            1. ?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.
         2. ?F :마이크로 위치좌료. XnYnSn X,Y는 1um 단위
         3. ?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 2.54um단위 기계좌표단위. platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.
         4. ?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨.
         5. ?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
         6. ?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.
         7. ?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1단위이다. 그러므로 1/10해야 한다.
   4. 프루버 본체 등
      1. 14/05/02 투고사무실에 정위치로 이동한 프루버
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      2. 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
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      3. 14/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능)
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      4. 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
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   5. 프루빙 장면
      1. 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
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      2. 14/06/25 1GHz 공진기 측정중
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      3. 16/09/11, 6인치 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 마이크로히터 ,
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           6인치 웨이퍼 로딩

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           척 이물질 때문에 웨이퍼 깨짐. 이물 제거

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           프루빙 준비

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           프루빙

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           6인치 웨이퍼 스캐닝

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           좌표 .XY 입력

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           사분면 각 다른 패턴-저항 측정

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           4분면 저항

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           각 분면 평균에 대한 %

      4. 20/04/19 문제없이 돌아감
3. 압전 연구실 2017/04/20
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4. Tokyo Seimitsu, A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
   1. 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
      1. 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
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           EM-20, Semiconductor Tester

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           A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine

      2. 좌측 장치 - Tokyo Seimitsu, EM-20A, Semiconductor Tester (모니터, 키보드, FDD, 그리고 밑에 빽빽한 보드 캐비넷)
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           EM-20A, Semiconductor Tester

5. 포지셔너
   1. 10/05/27 인계동사무실에서
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   2. 15/08/17
      • 

        ,

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   3. 15/09/14
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      • 
   4. 20/04/28 - 끝이 뭉툭한 직선 바늘
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   5. 20/05/20 - 0.2x0.2mm LED를 측정하기 위해서 뾰족한 구부러진 바늘 8개를 입수하여, 새롭게 장착함.
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6. 간이 프루버
   1. • 

        16/02/05

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        포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정

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        빨강 도면 제작할 것.

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        6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.