21일, 18시간, 1분 - Togotech

"프루버"의 두 판 사이의 차이
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<li>주요 query 명령어
 
<li>주요 query 명령어
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>?A0 :Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨
+
<li>?A0 (EG척일 때만 사용가능):Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨
 
<ol>
 
<ol>
 
<li>?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.
 
<li>?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.
 
</ol>
 
</ol>
−
<li>?F :마이크로 위치좌료. XnYnSn X,Y는 1um 단위
+
<li>?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 0.1mil = 2.54um.
−
<li>?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 2.54um단위 기계좌표단위. platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.
+
<ol>
 +
<li>platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.
 +
<li>현재 투고기술 프루버는 좌상단은 115000, 81249 로 나타남. 11500mil x 8125mil = 292mm x 206mm
 +
<li>Y축 이동거리가 206mm이므로 8인치 웨이퍼 이동 가능하다.
 +
</ol>
 
<li>?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨.
 
<li>?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨.
 +
<ol>
 +
<li>Xx1Yy1 : first die 지정하지 않으면 X0Y0,
 +
<li>Xx2Yy2 : 프로파일러가 설치되었을 경우 값이 나온다. 그렇지 않으면 지정한 척 중심이 나온다.
 +
<li>Dd : 프로파일러가 있을 때 나온다. 그렇지 않으면 지정한 웨이퍼 직경이 나온다.
 +
</ol>
 
<li>?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
 
<li>?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
 
<li>?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.
 
<li>?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.
−
<li>?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1단위이다. 그러므로 1/10해야 한다.
+
<ol>
 +
<li>읽어보니, +7430~-7603이 나온다.
 +
</ol>
 +
<li>?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1mil단위이다.
 +
<ol>
 +
<li>200mil = Z2000으로, 400mil은 Z4000으로 나온다.
 +
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
153번째 줄: 168번째 줄:
 
image:eg2001_chuck01_003.jpg
 
image:eg2001_chuck01_003.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
 +
<li>높이
 +
<ol>
 +
<li>척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
 
<li>척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
 
<li>척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
 
<gallery>
 
<gallery>
158번째 줄: 176번째 줄:
 
image:eg2001_chuck03_002.jpg | Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.
 
image:eg2001_chuck03_002.jpg | Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>높이 정밀도 측정
+
<li>높이 정확도 측정
 
<ol>
 
<ol>
 
<li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
 
<li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
166번째 줄: 184번째 줄:
 
image:eg2001_chuck03_005.jpg | 886um
 
image:eg2001_chuck03_005.jpg | 886um
 
</gallery>
 
</gallery>
 +
<li>2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
 +
</ol>
 
</ol>
 
</ol>
 
<li>수평 측정
 
<li>수평 측정
200번째 줄: 220번째 줄:
 
image:eg2001_chuck02_003_001.png | 수평잡기 전
 
image:eg2001_chuck02_003_001.png | 수평잡기 전
 
image:eg2001_chuck03_008.png | 수평잡은 후
 
image:eg2001_chuck03_008.png | 수평잡은 후
 +
</gallery>
 +
<li>2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤
 +
<gallery>
 +
image:eg2001_chuck03_010.png | 출근해서 다시 측정하니
 +
image:eg2001_chuck03_011.png | 시간에 따라 척이 높아지고 있다. (센서에서 멀수록 +이므로)
 +
image:eg2001_chuck03_012.png | 높이 전압이 0.005% 이내로 연속 5회 들어오는 시간 - 어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.
 +
image:eg2001_chuck03_013.png | 두 번째 측정하니, 평탄해졌다. (리니어모터는 사용함에 따라 뜨거워지나?, 압축공기 온도에 의존하는가?)
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>

2020년 6월 9일 (화) 15:40 판

프루버

  1. 링크
    1. 전자부품
      1. 프루버 - 이 페이지
      2. LED 프루빙
  2. 투고기술 보유, EG2001X 프루버
    1. 메뉴얼
      4. EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
      5. - 244p
      6. 보유 3권
        1. 2020/06/04 촬영
          • eg manual01 001.jpg
        2. Mechanical Interface Reference Drawing
          • eg manual02 001.jpg
          • eg manual02 002.jpg
        3. Reference Drawing, Vol.1
          • eg manual03 001.jpg
          • eg manual03 002.jpg
        4. Reference Drawing, Vol.2
          • eg manual04 001.jpg
          • eg manual04 002.jpg
    2. 수식
      1. 3점 원의 방정식 circle-ibw.txt
      2. 이동 좌표발생 프로그램 xy-ibw.txt
        • xy01 001.png
        • xy01 002.png
    3. 분석 엑셀
      1. 반지름 특성 분석 엑셀 파일
    4. 동작 프로그램
      1. 본체 GPIB 주소: 402 (연결된 CAT2 PC에 꼽힌 GPIB 보드는 400번이므로. 반면에 일반적으로 700번이다.)
      2. 프로그램 소스
        1. 파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 prober01-ibw.txt
        2. 파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 + 2420 소스미터 추가 prober02-ibw.txt
        3. 칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 prober03-ibw.txt
        4. 다이 단위로 움직이면서, 특성값이 나올 때까지 8방향 이동. prober04-ibw.txt
      3. Message Completion(MC)와 failure(MF) 응답
        1. X-Y 이동 및 Z 이동이 끝날 때마다 이 메시지를 출력한다. 그러므로 반드시 이 메시지를 받아야 한다.
        2. X-Y 이동에 관한 명령어는 FM, GF, HO, MD, MF, MM, MO, MP
        3. Z 이동 명령어는 MT, ZD, ZM, ZR, ZU
      4. 주요 action 명령어
        1. FMXxYx :x,y는 -32768~32768 범위. 다이 내에서 절대 마이크로 좌표단위로 이동
        2. HO :홈 위치로 이동. 척 Z높이를 200으로 낮추고, forcer를 platen 우하 코너로 이동시킴
          1. MF :First die로 이동
          2. FD :현재 위치를 First die로 지정함.
        3. LA0, LA1 :조명장치 ON/OFF
        4. MO :절대 다이 스텝으로 이동, MOXnYn (n=-999999~999999)
          1. MDXnYn :상대(first 다이 기준으로) 다이 스텝
        5. MM :현재 위치에서 상대적인 기계 스텝으로 이동, MMXnYn (n=-999999~999999) 1이면 2.5um
          1. MAXnYn :forcer를 platen 면적에 해당하는 절대위치로 이동
        6. MTn :현재 각도에서 theta 상대 이동 (n=-7603~7604 모터스텝)
        7. PA :프루빙 임시정지(Z down)/계속(pause/continue) PA 한 번에 정지, 다음 수행 때 계속. 키보드에 있는 PAUSE/CONT와 동일
        8. SA :현재 프로세스를 멈추고 버저 울림. PAUSE 키 누르면 버저 종료, 다시 누르면 프로세스 수행
        9. ZU 및 ZD :척 업 및 다운, ZM :지정 높이로 Z 이동
          1. ZMn :Z를 지정된 높이까지 이동. n=2000~Z Up limit까지. 2000이면 200mil이다. 기계마다 Z 스테이즈 분해능에 의존함. 1/2, 1, 1/4, 1/8min 중 하나임.
          2. ZRn :Z를 현재높이에서 상대적인 위치로 이동. n=-2000~2000 음수는 낮춘다.
        10. VAn :척 진공 n=0/1 on/off
      5. 주요 query 명령어
        1. ?A0 (EG척일 때만 사용가능):Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨
          1. ?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.
        2. ?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 0.1mil = 2.54um.
          1. platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.
          2. 현재 투고기술 프루버는 좌상단은 115000, 81249 로 나타남. 11500mil x 8125mil = 292mm x 206mm
          3. Y축 이동거리가 206mm이므로 8인치 웨이퍼 이동 가능하다.
        3. ?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨.
          1. Xx1Yy1 : first die 지정하지 않으면 X0Y0,
          2. Xx2Yy2 : 프로파일러가 설치되었을 경우 값이 나온다. 그렇지 않으면 지정한 척 중심이 나온다.
          3. Dd : 프로파일러가 있을 때 나온다. 그렇지 않으면 지정한 웨이퍼 직경이 나온다.
        4. ?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
        5. ?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.
          1. 읽어보니, +7430~-7603이 나온다.
        6. ?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1mil단위이다.
          1. 200mil = Z2000으로, 400mil은 Z4000으로 나온다.
    5. 주변 유틸리티
      1. 100V 트랜스포머
        1. 220V로 결선을 바꿔서 사용할 수 있을 것 같은데... 현재 100V를 사용하고 있다.(??? - 정확히 확인 필요)
      2. 진공펌프
        1. DA-60D 진공펌프를 사용하고 있다.
      3. 공기압축펌프
        1. 냉동식 수분 제거기
        2. 필터(main filter + mist separator)
    6. 프루버 본체 등
      1. Platen Base Assembly 도면 - 11p
        • eg manual05 001.jpg
        • eg manual05 002.jpg
        • eg manual05 003.jpg
      2. 14/05/02 투고사무실에 정위치로 이동한 프루버
        • 140507 140730.jpg
      3. ring carrier - 주황색 판을 말한다.
      4. Chuck - hot 척이다.
        1. 6인치(=150mm) 척 표면
          • eg2001 chuck00 001.jpg
        2. 콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
        3. 접지와 연결

          • M4, 척 표면 위로 올라오지 않게 나사 머리 직경을 줄임.

          • eg2001 chuck01 002.jpg
          • eg2001 chuck01 003.jpg
        4. 높이
          1. 척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
          2. 척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.

            • X,Y 단위계를 인치 또는 미터로 선택할 수 있는데, Z축 높이는 항상 인치단위인 mil(25.4um)로 나타난다.

            • Z축 모터에 있는 기어비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.

          3. 높이 정확도 측정
            1. 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니

              • Z up 과 down 차이를 35mil(=889um)을 지정하면

              • 원점

              • 886um

            2. 2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
        5. 수평 측정
          1. 개요

            • 링 케리어 평행도는 프루브 카드를 사용하지 않는다면 맞출 필요가 없다.

          2. 2020/06/06 레이저변위 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
            1. 측정 사진
              • eg2001 chuck02 001.jpg
            2. 진공구멍이 있는 척 상태로
              • eg2001 chuck02 002.jpg
              • eg2001 chuck02 002 001.png
            3. 150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
              • eg2001 chuck02 003.jpg
              • eg2001 chuck02 003 001.png
          3. 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.

            • 척 1시방향 가장자리 높이 = 865um

            • 척 7시방향 가장자리 높이 = 891um

          4. 2020/06/07 수평교정

            • 수평조절용 볼트 3군데

            • 수평잡기 전

            • 수평잡은 후

          5. 2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤

            • 출근해서 다시 측정하니

            • 시간에 따라 척이 높아지고 있다. (센서에서 멀수록 +이므로)

            • 높이 전압이 0.005% 이내로 연속 5회 들어오는 시간 - 어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.

            • 두 번째 측정하니, 평탄해졌다. (리니어모터는 사용함에 따라 뜨거워지나?, 압축공기 온도에 의존하는가?)

        6. hot chuck 분해
          1. 2020/06/07 첫 분해
            • eg2001 chuck04 001.jpg

            • 3개에서 한 곳에 세라믹 단열링이 없다.

            • 온도센서가 부착된 곳

      5. 링(ring)
        1. "프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
          • eg2001 ring01 001.jpg
          • eg2001 ring01 002.jpg
        2. 14/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
          • eg2001 ring02 001.jpg
          • 140912 172756.jpg
      6. 모니터
        1. 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
          • eg2001x 003.jpg
      7. 바퀴 관련
        1. 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
          • eg2001x 001.jpg
          • eg2001x 002.jpg
        2. 20/05/26 바퀴 방향을 돌림
          1. 캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
            • eg2001x 004.jpg
            • eg2001x 005.jpg
          2. 가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
            • furniture mover01 004.jpg

            • 바퀴 방향 조정 후. 자동차용 가위 잭은 높이가 높아 들어가지 못함. 빈 공간 높이 10cm

    7. 프루빙 장면
      1. 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
        • 140512 153814.jpg
        • 140512 175648.jpg
      2. 14/06/25 1GHz 공진기 측정중
        • 140625 161014.jpg
      3. 16/09/11, 6인치 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 마이크로히터 ,

        • 6인치 웨이퍼 로딩

        • 척 이물질 때문에 웨이퍼 깨짐. 이물 제거

        • 프루빙 준비

        • 프루빙

        • 6인치 웨이퍼 스캐닝

        • 좌표 .XY 입력

        • 사분면 각 다른 패턴-저항 측정

        • 4분면 저항

        • 각 분면 평균에 대한 %

      4. 20/04/19 문제없이 돌아감
    8. 웨이퍼 막 저항 측정
      1. 웨이퍼

        • Ti 3nm/Pt 50nm 코팅함

        • 100wafer02 002.jpg

        • d=100mm, t=0.64mm

      2. 202/05/24 2.5um씩 밖으로 시계방향으로 퍼지면서 측정

        • 2-wire 오옴 +-40% @11오옴

        • 4-wire 오옴 +-5% @2.2오옴

      3. 202/05/24

        • X축 상단으로 이동하면서 측정. 바늘에 문제가 있다.

  3. 압전 연구실 2017/04/20
    • eg2001x02 001.jpg
  4. Tokyo Seimitsu, A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
    1. 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
      1. 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
        • tokyo seimitsu01 001.jpg

        • EM-20, Semiconductor Tester

        • tokyo seimitsu01 003.jpg

        • A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine

      2. 좌측 장치 - Tokyo Seimitsu, EM-20A, Semiconductor Tester (모니터, 키보드, FDD, 그리고 밑에 빽빽한 보드 캐비넷)
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        • EM-20A, Semiconductor Tester

  5. 포지셔너
    1. 10/05/27 인계동사무실에서
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    2. 15/08/17

      • ,

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    3. 15/09/14
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    4. 20/04/28 - 끝이 뭉툭한 직선 바늘
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    5. 20/05/20 - 0.2x0.2mm LED를 측정하기 위해서 뾰족한 구부러진 바늘 8개를 입수하여, 새롭게 장착함.
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  6. 간이 프루버

      • 16/02/05

      • 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정

      • 빨강 도면 제작할 것.

      • 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.

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