프루버

링크
1. 전자부품
  1. 프루버
투고기술 보유, EG2001X 프루버
1. 메뉴얼
  4. EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
2. 분석 엑셀
  1. 반지름 특성 분석 엑셀 파일
3. 동작 프로그램
  1. 본체 GPIB 주소: 702
  2. 기본 prober01.ibw prober01-ibw.txt
  3. 칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 prober02.ibw prober03-ibw.txt
  4. 주요 명령어
    1. ?P 다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)
    2. ?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1단위이다. 그러므로 1/10해야 한다.
4. 프루버 본체 등
  1. 14/05/02 투고사무실에 정위치로 이동한 프루버
  2. 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
  3. 14/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능)
  4. 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
5. 프루빙 장면
  1. 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
  2. 14/06/25 1GHz 공진기 측정중
  3. 16/09/11, 6인치 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 마이크로히터 ,
    - 6인치 웨이퍼 로딩
    - 척 이물질 때문에 웨이퍼 깨짐. 이물 제거
    - 프루빙 준비
    - 프루빙
    - 6인치 웨이퍼 스캐닝
    - 좌표 .XY 입력
    - 사분면 각 다른 패턴-저항 측정
    - 4분면 저항
    - 각 분면 평균에 대한 %
  4. 20/04/19 문제없이 돌아감
압전 연구실 2017/04/20
Tokyo Seimitsu, A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
1. 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
  1. 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
    - EM-20, Semiconductor Tester
    - A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
  2. 좌측 장치 - Tokyo Seimitsu, EM-20A, Semiconductor Tester (모니터, 키보드, FDD, 그리고 밑에 빽빽한 보드 캐비넷)
    - EM-20A, Semiconductor Tester
포지셔너
1. 10/05/27 인계동사무실에서
2. 15/08/17
  - ,
3. 15/09/14
4. 20/04/28 - 끝이 뭉툭한 직선 바늘
5. 20/05/20 - 0.2x0.2mm LED를 측정하기 위해서 뾰족한 구부러진 바늘 8개를 입수하여, 새롭게 장착함.
간이 프루버
1. - 16/02/05
  - 포지셔너 어댑터 추가를 위한 높이 측정
  - 빨강 도면 제작할 것.
  - 6인치 안 들어감. 현미경 문제없음.