DA-60D

Togotech (토론 | 기여)님의 2023년 10월 22일 (일) 19:55 판
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진공펌프 DA-60D

  1. 링크
    1. 전자부품
      1. 진공
        1. 진공펌프
          1. DA-60D 진공펌프 - 이 페이지
          2. DAL-10S 진공펌프
    2. 참고
      1. 진공용기
  2. ULVAC DA-60D - 투고기술에서는 프루버에서 진공척(웨이퍼 고정용)을 위해 사용한다.
    1. - 36p, 14/01/21 100V 얻음
      1. ultimate pressure(최저 압력)은 3.32kPa 이다.
      2. pump speed(펌프 용량) 72L/min @60Hz 이다.
    2. 1호기 - S/N 98612
      1. 2014/01/12 100V용
      2. 2014/01/26 분해, 청소, 수리
        1. 분해 시작
        2. 관이 NO에 연결되어 있다. OFF면 다이아프램이 있는 공간은 외부 공기와 통하고 ON이면 닫겠다는 뜻인데… 왜? 다이아프램에 진공에 계속 걸려 있으면 휘어 있는 상태이므로 스트레스를 받기 때문인가?
        3. 다이아프램
        4. 청소
      3. 2014/02/03 다이아프램 절단시 외경과 내경 중심을 잘 맞추지 않고 절단 후, 조립하면, 운전시 커넥팅로드 진동이 심하다.
      4. 2014/05/07 진공펌프 진동소음을 막기 위해서 허공에 띄우다.
        1. 고무를 사용하는 진동방지마운트는 큰 효과가 없다.
        2. 구입품
          1. 인장 스프링 50mm @3,000원 x 4ea 구입하여
          2. 턴버클 3/16인치 @2,100원 x 4ea 구입하여
        3. 사진
      5. 2020/01/25 2호기에서 뜯어낸 Diaphragm 을 여기에 장착함.
          기존 폴리우레탄 판은 찢어지지 않고 그대로 임. 멀쩡하므로 보관함.
      6. 2023/10/22 경과시간에 따른, Yokogawa MT210F 767337 절대압력계로 압력 측정데이터
        1. 길이 약10m, 외경 10mm 튜브가 연결된 상태에서(즉, 체적이 작다.)
        2. 이 펌프 규격서 ultimate pressure(최저 압력)은 3.32kPa이다. 현재 6.1kPa을 보인다.
    3. 2호기 - S/N 98629
      1. 20/01/22 분해하여 Diaphragm만 보관하고 나머지는 모두 버림
      2. 동작 원리 동영상
          https://youtu.be/Q_eVeCTTmjQ
      3. ULVAC DA-60D, 72L/min, 3.32kPa, 7~40'C, single phase, 200W, 4pole capacitor run
      4. 토글스위치와 TCO스위치 가 상단에 배치되어 있다.
      5. 체크밸브
      6. rubber diaphragm
      7. 측면
      8. 좌우에 있는 eccenter sleeve(편심슬리브) 및 connecting rod
      9. 가열해야 뺄 수 있음. - 한 쪽은 빼지 못함.
      10. 단상 유도, AC모터