M-gage

Togotech (토론 | 기여)님의 2022년 4월 16일 (토) 22:29 판
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m-gage

  1. 전자부품
    1. 계측기-측정기
      1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
        1. m-gage - 이 페이지
    2. 참고
      1. 금속검출
  2. Tencor M-gage 300 (텐코 엠게이지 300)
    1. 기술
      1. sheet resistance measurement probe 중에서, Eddy Current Method 로 측정한다.
    2. 15/02/24 사진촬영
    3. 외관
    4. 윗면 아랫면 분리
    5. 웨이퍼 이송 벨트에서 베어링 - Torrington Company, radial and thrust needle roller bearing을 전문으로 만듬.
    6. 윗면
      1. 모터 제어부
      2. 웨이퍼 X 모터
        1. 어셈블리
        2. 9지점 엔코더
        3. 모터 escap 22N28, DC motor, 3.8W, -213E 9V 7000rpm 0.62A max / K24 0.17Nm
          1. 참조단어: (escap dc motor back-emf Tachometer Output Signal)
          2. 모터 및 감속기(Reduction gearboxes escap®using spur gears - 토크가 낮고 작은 마찰을 갖는다.) 반면에 Planetary gearbox는 큰 토크가 필요할 때 사용한다.
          3. 감속기를 통해 역으로 돌리면, 모터에서 출력되는 전압
        4. 웨이퍼 Z (웨이퍼 X 모터와 동일하다.)
        5. 센서부
          1. 전체
          2. 센서 헤드
            1. 외관
            2. 전면 마개 벗기고
            3. 내부 코일
            4. 권선 관찰
          3. OP amp
          4. J-FET
          5. 트랜스포머 ?
      3. 밑 몸체
        1. 전체
        2. 전면 버튼 및 표시부
          1. 전체
          2. 전면 버튼부
          3. 표시부
        3. 외부 인터페이스 부
        4. 아날로그 - 디지털 처리부
        5. 전원부
          1. 전체
          2. AC전원용 노이즈필터 단품
          3. AC트랜스를 위한 100/115/220V 전원선택 방법
          4. 100Vac에서 +-15V 리니어 레귤레이터
          5. AC트랜스
          6. 릴레이 Genicom Corporation -> CII Technologies 1997년 --> Tyco Electronics Corp. 2012년 --> TE Connectivity로 이름 변경
          7. 크리스탈 유닛, Xtal금속
          8. 리니어 레귤레이터
          9. 덧붙인 Tr
          10. 직진이동 다회전 가변R potentiometer
      4. 디지털 데이터 변환기
        1. 전체
        2. 슬라이드 스위치 - 쉽게 녹는다. 아마 PC 재질인듯
        3. 코드 스위치에서, thumbwheel switch, EECO, STRIPSWITCH, 2700 SERIES
        4. Xtal금속 (CTS, MP061, 6.144MHz, 20pF, Fundamental) 고정 방법 - 양면 테이프로. 48kHz x 128 = 6.144MHz DAT에서 고품질 오디오 샘플링 주파수의 표준주파수. 또는 UART baud rates를 38400까지 사용하기 위해 정수 나눗셈용
        5. LM340TS, 7805, 1.5A +5V 리니어 레귤레이터