니콘 i넥시브 VMA-2520 이력 - 편집 역사

Togotech: 새 문서: 니콘 i넥시브 VMA-2520

전자부품

치수측정 현미경

니콘넥시브 VM-150N
니콘 i넥시브 VMA-2520 - 이 페이지
2025-08-13T01:20:14Z

새 문서: 니콘 i넥시브 VMA-2520 <ol> <li> 전자부품 <ol> <li> 치수측정 현미경 <ol> <li> 니콘넥시브 VM-150N <li> 니콘 i넥시브 VMA-2520 - 이 페이지 <o...

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니콘 i넥시브 VMA-2520
<ol>
<li> [[전자부품]]
<ol>
<li> [[치수측정 현미경]]
<ol>
<li> [[니콘넥시브 VM-150N]]
<li> [[니콘 i넥시브 VMA-2520]] - 이 페이지
<ol>
<li> [[니콘 i넥시브 VMA-2520 이력]]
<li> [[AutoMeasure 소프트웨어]]
<li> [[MaintenanceA 소프트웨어]]
<li> [[시트 기판 측정]]
</ol>
</ol>
<li>참고
<ol>
<li> [[니콘 i넥시브 VMA-2520용 PC]]
</ol>
</ol>
<li>세라믹 기판 측정을 위한, 투고기술 넥시브 소개 자료 ,
<li>니콘 iNexiv, CNC video measuring system
<ol>
<li>iNexiv VMA-시리즈 카탈로그, 2023/06 - 5p
<ol>
<li>카탈로그에서 출시년도는 2009년 7월 1일
</ol>
<li>VMA-2520
<ol>
<li>브로셔 2006/12 - 7p
<li>정보
<ol>
<li>가장 작은 모델, 스트로크 250(X) x 200(Y) x 200(Z)mm
<li>테이블 포함 메인 바디 크기 및 무게: 650 x 700 x 1557mm, 100kg
<li>17인치 SXGA 모니터인 경우, 12 20 34 62 120배 (실제 길이는 13.3x10mm에서 1.33x1mm 크기)
<li>LWD: 73.5mm, long working distance
<li>반사조명인 경우, flyeye lens = integrator lens(파리눈렌즈, 적분 렌즈) [[광학렌즈]]를 사용했다.
</ol>
<li>옵션: 레이저 AF는 직경이 작은 쪽(앞쪽?)이 발광부, 직경이 큰 쪽이 수광부
</ol>
</ol>
<li> [[니콘 i넥시브 VMA-2520 이력]]
<li>청소 2025/06/16
<ol>
<li>콘트롤러, 모델 VMA-LAF35
<ol>
<li>외관
<gallery>
image:vma2520_01_008.jpg | 2006.12.8 제조, S/N 1402108
image:vma2520_01_009.jpg | 뒷면
</gallery>
<li>내부
<ol>
<li>전체
<gallery>
image:vma2520_01_011.jpg
</gallery>
<li>모터 드라이브
<gallery>
image:vma2520_01_011_001.jpg | 아래쪽이 모터와 연결되는 출력
image:vma2520_01_011_002.jpg | 왼쪽에서부터 X, Y, Z 회로
</gallery>
<li>엔코더 및 헤드 보드에서, 통신보드를 뽑은 후 그 밑
<gallery>
image:vma2520_01_010.jpg
</gallery>
<li>[[판매용 표준 산업용 SMPS]], Cosel ACE650F AC6-WCO02H-00
<gallery>
image:vma2520_01_012.jpg
</gallery>
</ol>
<li>이 본체만 소비전력. 상단 LED P쪽만 켜진다.
<gallery>
image:vma2520_01_013.jpg | 56W
</gallery>
</ol>
<li> [[조이스틱]]
<ol>
<li>참고: [[니콘넥시브 VM-150N 조이스틱]]
<ol>
<li>두 조이스틱 구조가 거의 같다.
</ol>
<li>외형
<gallery>
image:vma2520_01_014.jpg
</gallery>
<li>가변저항식, S30JBK-ZT-30R3G-8519A, 저항: 10kΩL, 선형성: +-3%
<gallery>
image:vma2520_01_014_001.jpg | 무라타 PKM34EW, 발진회로가 업는 [[피에조버저]]
</gallery>
</ol>
<li>케이블
<gallery>
image:vma2520_01_015.jpg | [[IEEE 1394]] 6-선
image:vma2520_01_016.jpg | [[USB 커넥터]] USB type B
image:vma2520_01_017.jpg | 모터용. 보완하기 전
image:vma2520_01_018.jpg | 모터용, 보완한 후
</gallery>
<li>XY 스테이지
<ol>
<li> [[DC서보모터]]용 브러시모터, Sanyo Denki T406-011E
<ol>
<li>Z축 모터와 달리 모델명 마지막에 E가 붙어 있다.
<li>손잡이용(?) 원반이 달려 있다.
</ol>
<li>2025/06/16
<gallery>
image:vma2520_01_029.jpg | 국책과제구입설비: 과제책임자 김명기상무
image:vma2520_01_035.jpg | S/N 1402108 콘트롤러 S/N와 같다.
image:vma2520_01_036.jpg
</gallery>
<li>2025/06/24
<gallery>
image:vma2520_01_040.jpg | 앞쪽, 좌측에 각각 있는, [[커플링]]으로 연결된 [[볼 스크루]]
image:vma2520_01_044.jpg | 뒤쪽에 있는 X축 리니어 [[광학식엔코더]]
image:vma2520_01_041.jpg | 오른쪽에 있는 Y축 리니어 [[광학식엔코더]]
image:vma2520_01_042.jpg | 뒷쪽 X축 [[리니어 가이드]]에 있는 철사줄([[백래시]]제거용 preload용?)
image:vma2520_01_043.jpg | 앞쪽 X축 [[리니어 가이드]]에는 철사줄이 끊어져 제거되어 있다.
</gallery>
<li>2025/08/06 Y축 모터, Z축 모터의 외형 비교
<gallery>
image:vma2520_01_040_001.jpg | Z축 모터 모델: T406-011, Y축 모터 모델: T406-011E(뒤쪽에 고무 댐퍼와 연결된 플라이휠;flywheel이 붙어 있다. 왜?)
</gallery>
</ol>
<li>Z 스테이지
<ol>
<li>사진
<gallery>
image:vma2520_01_032_011.jpg
image:vma2520_01_032_000.jpg
image:vma2520_01_032.jpg | LED 조명 원통, 맨 밑에 laser, 뒤쪽 원통은 카메라
</gallery>
<li>동영상, 스크로크 전범위(0-200mm)에서 상하반복 동영상. 무거운 헤드 전체가 '균형추(counterweight)'없이 이동시킨다.
<ol> 왕복 동영상
</ol>
<li> [[DC서보모터]]용 브러시모터, Sanyo Denki T406-011, 엔코더 및 브레이크가 없는 단순 모델이다.
<ol>
<li>외형
<gallery>
image:vma2520_01_032_001.jpg
</gallery>
<li> [[브러시 점검]] 참조.
<li>Y축 모터와 교체했으나
<ol>
<li>교체한 사진(2025/08/07)
<gallery>
image:vma2520_01_032_006.jpg | Y축 모터에는 프라이휠이 붙어 있어 높이가 맞지 않는다. 그래서 포스트를 덧대야 했다.
</gallery>
<li>교체한 후에도 문제가 있어, 원래대로 되돌림
</ol>
</ol>
<li>0.1um 정밀도를 위한 리니어 [[광학식엔코더]]
<gallery>
image:vma2520_01_030.jpg
image:vma2520_01_031.jpg | 이동 파트 한쪽면에 롤러 3개가 있다.(하나는 PCB U자 홈에 있는데 전선 때문에 안보인다.)
</gallery>
<li>cos 및 sine 신호를 1Vp-p 신호로 변경시키는 아날로그 앰프 보드. 2S701-669
<ol>
<li>설명
<ol>
<li>[[커버있는 가변 저항기]]로 cos-sine 신호를 교정한다.
<li>보드 하나에 두 축을 제어한다.
<li>[[커버있는 가변 저항기]] 4개가 한 축의 신호를 교정한다.
<li>cos-sine 신호 각각에 대해서 gain 조정, offset 조정한다.
<li> [[MaintenanceA 소프트웨어]]에서 나온 파형으로 조정해봤다.
</ol>
<li>사진
<gallery>
image:vma2520_01_031_001.jpg
image:vma2520_01_031_002.jpg
</gallery>
</ol>
<li> [[백래시]] 현상
<ol>
<li>동영상, 손으로 헤드를 들어올리고, 들어올리지 않고를 반복하면, 2025/08/08 촬영
<ol> 멀리서 촬영 가까이에서 촬영
</ol>
</ol>
<li>vision AF를 수행될 때 떨림현상, 두 번 반복
<ol>
<li>동영상
<ol>
</ol>
</ol>
</ol>
<li>Laser AF
<ol>
<li> [[LD]] 레이저 다이오드, 보드 이름 2S701-680
<gallery>
image:vma2520_01_050.jpg
image:vma2520_01_051.jpg
</gallery>
<li> [[PD-IC]], 보드 이름 2S701-679
<gallery>
image:vma2520_01_052.jpg
</gallery>
</ol>
<li>모두 연결하고 전원을 켜니
<gallery>
image:vma2520_01_034.jpg | 청소를 마치고 모두 조립한 후. 왼쪽이 [[Olympus LG-PS2 할로겐조명 콘트롤러]]
image:vma2520_01_033.jpg | 소비전력 74W
</gallery>
<li> [[Olympus LG-PS2 할로겐조명 콘트롤러]]
</ol>
<li>의견 2025/06/16
<ol>
<li>USB-A to USB-B 케이블이 있는 것으로 볼 때, PC의 USB-A포트로 콘트롤된다.
<ol>
<li>본체 영상은 콘트롤러의 [[IEEE 1394]]를 통해 PC에서 받는 듯.
<li>즉, PC에는 [[IEEE 1394]]가 있어야 한다.
</ol>
<li>이전 사용자가 이 장치가 유휴된 사유는 조이스틱이 고장이라고 한다.
<ol>
<li>내부를 살펴보니, 내부가 매우 간단하고, 회로보드가 없는 아주 단순한 구조이므로 고장이 아닌 듯하다.
</ol>
</ol>
<li>2025/06/19 전화통화
<ol>
<li>니콘인스트먼트코리아(NIK) 본사에 문의한 결과, 신규 판매는 본사가 담당하고, 서비스는 각 지역 대리점에서 담당한다고 한다.
<li>이에 따라 용인시 수지구에 위치한 nitech 엔아이텍(02-6925-1048) 유기봉차장을 소개받음.
<li>제논 CPU를 사용하는 서버와 소프트웨어의 가격은 약 900만 원 정도이며, 일반적으로 정상적으로 작동할 것으로 보인다.
<li>만약 본체와 컨트롤러 부품에 문제가 있다면, 부품이 있을 경우 추가로 구매하면 해결할 수 있어 다행이지만, 부품이 없다면 작동시킬 수 없다고 한다.
</ol>
<li>2025/06/19
<ol>
<li>회사 보조 PC에서 사용해보기 위해 'NEXT-1394VT EX' PCI-E 확장 카드를 13,300원에 구매 의뢰함.
</ol>
<li>2025/06/23 [[니콘 i넥시브 VMA-2520용 PC]] 설치완료함.
<gallery>
image:vma2520_01_037.jpg | LAN 연결됨.
image:vma2520_01_038.jpg
image:vma2520_01_039.jpg
</gallery>
<li>2025/06/25 엔아이텍 회사 담당자가 출장 수리
<ol>
<li>셋업 사진
<ol>
<li>X축 [[광학식엔코더]] 청소
<gallery>
image:vma2520_01_045.jpg
image:vma2520_01_046.jpg
</gallery>
<li>Z축 리미트 검출용 [[포토인터럽터]] 인식 못해 수리함. 실행 프로그램 초기에서 XYZ각각 원점을 결정하는 OK가 자동수행에서 나타나지 않아서
<li>1394포트가 있는 [[Sony VGN-Z45LD 노트북]]에 프로그램을 설치
<gallery>
image:vma2520_01_047.jpg | 하드웨어를 인식하지 못해서 실패
</gallery>
<li>스테이지 마이크로미터(Stage Micrometer)에 해당하는 표준 패턴이 그려진 [[자]]를 통해 (임시)교정
<gallery>
image:vma2520_01_048.jpg | 교정 데이터가 있어야 프로그램이 실행된다.
</gallery>
<li>Vision AF 동작하지 않음. 동작함, 동작하지 않음.
<ol>
<li>Laser AF에서 붉은색 레이저 나오지 않음.
</ol>
<li>현재는, AF 동작에 문제가 있다.
<gallery>
image:vma2520_01_049.jpg
</gallery>
</ol>
<li>비용처리 자료
<ol>
<li>소프트웨어 셋업 견적서
<li>사업자등록증
<li>통장사본
</ol>
</ol>
<li>2025/07/07 콘트롤러 보드 교체 비용은 680만원이다.
<li>2025/07/23 가동상태에서 모터 드라이브 보드를 열화상 카메라로 촬영
<ol>
<li>사진
<gallery>
image:vma2520_01_053.jpg
image:vma2520_01_054.jpg | Sp1, Sp2, Sp3은 각각 Z,Y,X 모터 회로
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<li>특별한 과열 부품이 없다.
</ol>
<li>2025/07/29 엔아이텍 회사 담당자가 출장 수리
<ol>
<li>PC 변경 - 동일한 고장
<li>콘트롤러 변경 - 동일한 고장
<li>케이블(모터,엔코더,헤드) 변경 - 동일한 고장
<li>본체 뒷면
<ol>
<li>사진
<gallery>
image:vma2520_01_055.jpg
</gallery>
<li>설명
<ol>
<li>[[DIP 스위치]] S1은 모두 OFF, S2에서는 7bit만 ON(만약 OFF로 하면 PC프로그램 실행이 되지 않는다. 2025/08/04 확인)
<li>[[코드 스위치]] 3개는 X,Y,Z용, 모두 명확하게 0 위치
<ol>
<li>2025/08/06, 모터 이득(gain) 조정용: 0-7까지는 +이득, 8-F는 -이득이다.
<li>현재 0이므로 2씩 증가시켜 가동해보자.
<li>8:x0.2, 9, A, B, C, D, E, F:x0.9
</ol>
<li>[[7-segment LED]]는 전원을 켜면 16진수 표시가 반복된다.
</ol>
</ol>
<li>레이저 AF 중심과 화면 중심을 맞추고, 레이저 AF가 고정한 Z와 카메라 비전 초점 Z와 일치시킴
<li>동영상
<ol> 2배속
</ol>
</ol>
<li>2025/07/30 94mmSQ 기판 4장을 측정을 시도했으나, 정상적으로 동작하지 않는다.
<ol>
<li>측정 전체 범위에서 Z축 최고 및 최저를 파악해서, vision AF를 위한 scan range 및 minimum step을 결정해야 한다.
<li>사진
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image:vma2520_01_057.jpg
image:vma2520_01_058.jpg | 촛점을 잡지 못하고 Z축 모터가 회전,역회전을 반복한다.(발발거린다.)
</gallery>
<li>참고, 시료를 110mm 위로 올려놓고 측정하는 사진
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image:vma2520_01_057_001.jpg
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</ol>
<li>2025/08/04 움직이지 않고, 패턴의 어느 한 점을 측정하면,
<ol>
<li>1000번 측정한 X,Y,Z 데이터 에서 Z 값 편차
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image:vma2520_01_059.png | 측정에 15초 소요된다면, 0.5초 주기로 Z축 모터가 발발거린다.
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<li> [[브러시 점검]] 한 후,
<ol>
<li>1411 기판 3740셀을 측정한 후
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image:vma2520_01_060.png | 마킹된 불량 셀에 대한 패턴 매칭 오류 이외에 아무런 문제가 없다.
</gallery>
<li>반복 측정하면 여전히 모터 에러가 발생된다.
</ol>
</ol>
</ol>