실리콘 다이오드 웨이퍼 - 편집 역사

2024년 7월 10일 (수) 00:30에 Togotech님의 편집

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Togotech: 새 문서: 실리콘 다이오드 웨이퍼

전자부품

다이오드

웨이퍼

실리콘 다이오드 웨이퍼 - 이 페이지

2024-04-26T06:37:32Z

새 문서: 실리콘 다이오드 웨이퍼 <ol> <li> 전자부품 <ol> <li> 다이오드 <ol> <li> 웨이퍼 <ol> <li> 실리콘 다이오드 웨이퍼 - 이 페이지 </ol> </o...

새 문서
실리콘 다이오드 웨이퍼
<ol>
<li> [[전자부품]]
<ol>
<li> [[다이오드]]
<ol>
<li> [[웨이퍼]]
<ol>
<li> [[실리콘 다이오드 웨이퍼]] - 이 페이지
</ol>
</ol>
<li>참고
<ol>
<li> [[프루버]]
</ol>
<li>참고
<ol>
<li> [[다이오드 V-I 커브]]
<li> [[다이오드 V-C 커브]]
</ol>
</ol>
<li>AliExpress The Spare Part Depot Store, 실리콘 다이오드
<ol>
<li>2024/03/29 단가 28,742원 총 34,851원에 발주, 2024/04/12 도착
<gallery>
image:125wafer01_001.jpg | 포장 방법
image:125wafer01_002.jpg
image:125wafer01_003.jpg
</gallery>
<li>125mm(5인치) 웨이퍼
<ol>
<li>(추정) 직경 125.0+-0.5mm, flat 42.5+-2.5mm, 두께 0.5mm
</ol>
<li>외관
<ol>
<li>외관 및 라벨, CB = Common Base(?), ICBO = Collector Current, Base Open(?)
<gallery>
image:125wafer01_004.jpg
image:125wafer01_004_001.jpg
image:125wafer01_005.jpg
</gallery>
<li>공정 표시 다이
<gallery>
image:125wafer01_006.jpg | 웨이퍼에서 오른쪽
image:125wafer01_008.jpg | 웨이퍼에서 왼쪽
image:125wafer01_009.jpg | 공정진행 표시. 7레이어인듯
</gallery>
<li>다이오드 다이, 2.1x1.05mm
<gallery>
image:125wafer01_007.jpg | 노랑 사각형 프레임이 [[폴리이미드]] 코팅 영역이다.
</gallery>
</ol>
<li>프루빙
<ol>
<li> [[이동 좌표 생성]]
<ol>
<li>프로그램이 표준으로 생성시킨 다이 좌표
<gallery>
image:xy02_001.png | 웨이퍼 중심이 0,0일 때, 5360 다이/웨이퍼
</gallery>
<li>이후 정확히 다이 위치 계산
<gallery>
image:xy02_003.jpg | 가장자리 다이 위치 파악
image:xy02_002.png | 웨이퍼를 보고, 유효다이 5085 다이만 카운팅하여, 0,0을 쉽게 찾기 위해서는 맨 아래, 좌측을 0,0으로 직교이동시킨다.
</gallery>
<li>이후 좌우 TEG 패턴, 4개 다이를 제거하였다. 그러므로 총 5081개다이/웨이퍼로 수량을 결정함.
</ol>
<li>프루빙 동영상
<ol>
</ol>
<li>Vf 측정
<ol>
<li> [[3457A]] DMM에서, 저항 측정 범위 4가지에 따른 저항값 프루빙 데이터
<ol>
<li>저항 측정시 출력되는 전류
<gallery>
image:3457a_00_001.png
</gallery>
<li>저항값을 Vf로 변환
<gallery>
image:125wafer01_011_001.png | 1uA에서 Vf
image:125wafer01_011_002.png | 10uA에서 Vf
image:125wafer01_011_003.png | 100uA에서 Vf
image:125wafer01_011_004.png | 1mA에서 Vf
</gallery>
</ol>
</ol>
<li>C 측정
<ol>
<li> [[LCR-4284A]] LCR미터에서, -1V -10V DC bias에서 C값 프루빙 데이터
<ol>
<li>역방향 DC바이어스에 따른 depletion region의 capacitance를 측정했다.
<li>척을 LCR 미터 측정포트 low로 연결하고 측정
<li>DC bias -1V, -10V에서 Cp 1MHz 1Vosc로 측정
<gallery>
image:125wafer01_012_001.png | -1Vdc bias, 평균 ~185pF 나온다.
image:125wafer01_012_002.png | -10Vdc bias, 평균 ~65pF 나온다.
</gallery>
</ol>
</ol>
<li>Z 측정-1
<ol>
<li>잉크 제거 전 - [[LCR-4284A]] LCR미터에서, -10, -1, 0, 0.25, 0.5, 1V 등 6가지 DC bias에서 Z-deg 값 프루빙 데이터
<gallery>
image:125wafer01_013_001.png | DC bias = -10V
image:125wafer01_013_002.png | DC bias = -1V
image:125wafer01_013_003.png | DC bias = 0V
image:125wafer01_013_004.png | DC bias = +0.25V
image:125wafer01_013_005.png | DC bias = +0.5V
image:125wafer01_013_006.png | DC bias = +1V
</gallery>
<li>잉크제거 후 -
<gallery>
image:125wafer01_015_001.png | DC bias = -10V
image:125wafer01_015_002.png | DC bias = -1V
image:125wafer01_015_003.png | DC bias = 0V
image:125wafer01_015_004.png | DC bias = +0.25V
image:125wafer01_015_005.png | DC bias = +0.5V
image:125wafer01_015_006.png | DC bias = +1V
</gallery>
</ol>
<li>모든 다이를 정확히 측정하기 위해서, 도팅된 잉크 제거
<ol>
<li> [[발연질산]]을 발라
<gallery>
image:125wafer01_014_001.jpg
image:125wafer01_014_002.jpg | 노랑 이물질은 [[폴리이미드]]
</gallery>
<li>비누 세척후
<gallery>
image:125wafer01_014_003.jpg | 천장에 흰반사판
image:125wafer01_014_004.jpg | 천장에 검정반사판
</gallery>
<li>불량 다이에 발라진 잉크 제거 전후
<gallery>
image:125wafer01_008.jpg | 잉크 제거 전
image:125wafer01_014_005.jpg | 잉크 제거 후. 가장자리에 발라진 [[폴리이미드]]가 제거되었다.
</gallery>
<li>웨이퍼 중심에 있는, 불량으로 측정된 두 개 다이의 표면 전극을 제거해보니
<gallery>
image:125wafer01_014_006.jpg
</gallery>
</ol>
</ol>
</ol>
</ol>