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저항 프루빙 - 편집 역사
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이 문서의 편집 역사
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Togotech: 새 문서: 저항 프루빙 <ol> <li>링크 <ol> <li> 전자부품 <ol> <li> 프루버 <ol> <li> 저항 프루빙 - 이 페이지 </ol> </ol> </ol> <li>DMM으로 저항 측정 <ol> <...
2024-07-10T00:28:27Z
<p>새 문서: 저항 프루빙 <ol> <li>링크 <ol> <li> <a href="/index.php/%EC%A0%84%EC%9E%90%EB%B6%80%ED%92%88" title="전자부품" data-bs-title="전자부품">전자부품</a> <ol> <li> <a href="/index.php/%ED%94%84%EB%A3%A8%EB%B2%84" title="프루버" data-bs-title="프루버">프루버</a> <ol> <li> <a href="/index.php/%EC%A0%80%ED%95%AD_%ED%94%84%EB%A3%A8%EB%B9%99" title="저항 프루빙" data-bs-title="저항_프루빙">저항 프루빙</a> - 이 페이지 </ol> </ol> </ol> <li>DMM으로 저항 측정 <ol> <...</p>
<p><b>새 문서</b></p><div>저항 프루빙<br />
<ol><br />
<li>링크<br />
<ol><br />
<li> [[전자부품]]<br />
<ol><br />
<li> [[프루버]]<br />
<ol><br />
<li> [[저항 프루빙]] - 이 페이지<br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>DMM으로 저항 측정<br />
<ol><br />
<li>2016/09/11, 지멕 http://www.gmek.co.kr/ 실리콘웨이퍼, 6인치, MEMS 마이크로히터<br />
<ol><br />
<li>동영상<br />
<ol> , https://youtu.be/LPVN0rBMwXQ<br />
</ol><br />
<li>6인치 웨이퍼 로딩<br />
<gallery><br />
image:6inch01_001.jpg<br />
image:6inch01_002.jpg | 척 이물질 때문에 [[웨이퍼]] 깨짐. 척 표면을 산업용 커팅 [[칼]]로 깍아 이물 제거<br />
</gallery><br />
<li>프루빙 바늘<br />
<gallery><br />
image:6inch01_003.jpg | 프루빙 준비<br />
image:6inch01_004.jpg | 4-wire ohm<br />
</gallery><br />
<li>이동 좌표를 입력하기 위해<br />
<gallery><br />
image:6inch01_005.jpg | 6인치 웨이퍼 스캐닝<br />
image:6inch01_006.jpg | 좌표 .XY 입력<br />
</gallery><br />
<li>저항 측정 결과<br />
<gallery><br />
image:6inch01_007.jpg | 사분면 각각 다른 패턴이다.<br />
image:6inch01_008.jpg | 4분면 저항<br />
image:6inch01_009.jpg | 각 분면 평균에 대한 %<br />
</gallery><br />
</ol><br />
<li>웨이퍼 막 저항 측정<br />
<ol><br />
<li>웨이퍼<br />
<gallery><br />
image:100wafer02_001.jpg | Ti 3nm/Pt 50nm 코팅함<br />
image:100wafer02_002.jpg<br />
image:100wafer02_003.jpg | d=100mm, t=0.64mm<br />
</gallery><br />
<li>202/05/24 2.5um씩 밖으로 시계방향으로 퍼지면서 측정<br />
<gallery><br />
image:probe02_001.png | 2-wire 오옴 +-40% @11오옴<br />
image:probe02_002.png | 4-wire 오옴 +-5% @2.2오옴<br />
</gallery><br />
<li>202/05/24 <br />
<gallery><br />
image:probe02_003.png | X축 상단으로 이동하면서 측정. 바늘에 문제가 있다.<br />
</gallery><br />
</ol><br />
</ol><br />
<li> [[Agilent 4339B]] 계측기로 측정한 절연저항(IR) 측정<br />
<ol><br />
<li>IR 측정 동영상<br />
<ol> <br />
</ol><br />
<li> [[정전용량 프루빙]]을 하면서<br />
<gallery><br />
image:probing_ir01_001.png | 10GΩ근처값을 보인다.<br />
</gallery><br />
</ol><br />
</ol></div>
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