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2024-04-24T02:02:39Z

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정전용량 프루빙
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<li>기술
<ol>
<li>주로, interdigitated electrode capacitor에 대해서 측정한다.
<ol>
<li>대표적인 예가 [[IDT C]] 이다.
</ol>
<li>웨이퍼 척에 형성된 진공구멍이 측정값에 영향을 준다.
<ol>
<li>웨이퍼 밑에 [[천공]]된 금속판을 놓고
<gallery>
image:eg2001_chuck00_001.jpg | 척 표면 사진
image:hole_grid_vacuum_plate01_009.jpg | 100mm 웨이퍼 밑에 평탄한 금속 접지판을 올려놓은 효과를 갖는다.
</gallery>
<li>금속판을 올려놓기 전과 후
<gallery>
image:x063y079_01c_001.png | 전
image:x063y079_01c_002.png | 후
</gallery>
</ol>
</ol>
<li>측정
<ol>
<li>2022/04/30, 4인치, 8965개, 1.0x0.8mm 다이
<ol>
<li>Cp//Rp 측정 동영상
<ol>
</ol>
<li> [[LCR-4284A]] 계측기(1MHz 1Vosc)에서 Cp/Rp 측정 데이터
<gallery>
image:probing_c01_001.png | Cp
image:probing_c01_002.png | Rp
</gallery>
<li>참고: [[Agilent 4339B]] 계측기로 측정한, IR 측정 데이터
<gallery>
image:probing_ir01_001.png | 10GΩ근처값을 보인다.
</gallery>
</ol>
</ol>
</ol>

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