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펠리클 - 편집 역사
2026-04-26T20:13:32Z
이 문서의 편집 역사
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2023년 12월 28일 (목) 14:20에 Togotech님의 편집
2023-12-28T14:20:11Z
<p></p>
<table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface">
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<tr class="diff-title" lang="ko">
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #222; text-align: center;">← 이전 판</td>
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #222; text-align: center;">2023년 12월 28일 (목) 14:20 판</td>
</tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l12" >12번째 줄:</td>
<td colspan="2" class="diff-lineno">12번째 줄:</td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>참조</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>참조</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td></tr>
<tr><td colspan="2"> </td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><li> [[UV]]</ins></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li> [[먼지]]</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li> [[먼지]]</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li> [[광학필터]]</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li> [[광학필터]]</div></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l62" >62번째 줄:</td>
<td colspan="2" class="diff-lineno">63번째 줄:</td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>검정색 아노다이징 처리한 [[알루미늄]](7075 재질)</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>검정색 아노다이징 처리한 [[알루미늄]](7075 재질)</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>높이: 1.2mm~6.8mm</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>높이: 1.2mm~6.8mm</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>마스크와는 hot melt SEBS(Styrene-Ethylene-Butylene-Styrene) 수지로 접착한다. <del class="diffchange diffchange-inline">자외선에 </del>잘 견디고 고무처럼 유연하다.</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>마스크와는 hot melt SEBS(Styrene-Ethylene-Butylene-Styrene) 수지로 접착한다. <ins class="diffchange diffchange-inline">[[UV]]에 </ins>잘 견디고 고무처럼 유연하다.</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>152mm (6인치) 정사각형, 두께 10mm 어떤 포토마스크에서 6mm</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>152mm (6인치) 정사각형, 두께 10mm 어떤 포토마스크에서 6mm</div></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l69" >69번째 줄:</td>
<td colspan="2" class="diff-lineno">70번째 줄:</td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>image:mask4_002.jpg | 투고기술 이름으로 레이저마킹</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>image:mask4_002.jpg | 투고기술 이름으로 레이저마킹</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>image:mask4_007.jpg | 펠리클 제조업체는 FST. 펠리클 두께는 0.7um</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>image:mask4_007.jpg | 펠리클 제조업체는 FST. 펠리클 두께는 0.7um</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>image:mask4_008.jpg | 기압조절용 <del class="diffchange diffchange-inline">바람 구멍</del>(vent hole). 먼지는 들어가지 않도록 한다.</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div>image:mask4_008.jpg | 기압조절용 <ins class="diffchange diffchange-inline">[[배출구]]</ins>(vent hole). 먼지는 들어가지 않도록 한다.</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></gallery></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></gallery></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td></tr>
</table>
Togotech
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Togotech: 새 문서: 펠리클 <ol> <li> 전자부품 <ol> <li>광관련 <ol> <li> 포토마스크 <ol> <li> 펠리클 - 이 페이지 </ol> </ol> <li>참조 <ol> <li> 먼지 <li> 광학...
2022-12-08T03:03:26Z
<p>새 문서: 펠리클 <ol> <li> <a href="/index.php/%EC%A0%84%EC%9E%90%EB%B6%80%ED%92%88" title="전자부품" data-bs-title="전자부품">전자부품</a> <ol> <li>광관련 <ol> <li> <a href="/index.php/%ED%8F%AC%ED%86%A0%EB%A7%88%EC%8A%A4%ED%81%AC" title="포토마스크" data-bs-title="포토마스크">포토마스크</a> <ol> <li> <a href="/index.php/%ED%8E%A0%EB%A6%AC%ED%81%B4" title="펠리클" data-bs-title="펠리클">펠리클</a> - 이 페이지 </ol> </ol> <li>참조 <ol> <li> <a href="/index.php/%EB%A8%BC%EC%A7%80" title="먼지" data-bs-title="먼지">먼지</a> <li> 광학...</p>
<p><b>새 문서</b></p><div>펠리클<br />
<ol><br />
<li> [[전자부품]]<br />
<ol><br />
<li>광관련<br />
<ol><br />
<li> [[포토마스크]]<br />
<ol><br />
<li> [[펠리클]] - 이 페이지<br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>참조<br />
<ol><br />
<li> [[먼지]]<br />
<li> [[광학필터]]<br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>펠리클 pellicle<br />
<ol><br />
<li>사용목적<br />
<ol><br />
<li>마스크 패턴에 먼지가 묻지 않도록 하는 목적으로 사용되는 very thin membrane을 말한다.<br />
<li>마스크로부터 일정거리 떨어진 지점에 위치하여 오염물질이 마스크에 직접적으로 부착되는 것을 막는 역할을 하는 동시에, 펠리클 상에 위치한 오염물질이 웨이퍼 상에 전사되지 않도록 탈초점(out of focus) 시키는 역할을 한다.<br />
<li>stand-off distance: 펠리클과 마스크 패턴 사이 거리<br />
</ol><br />
<li>재질<br />
<ol><br />
<li>mylar: 1.2um 두께. 350um 이상 파장에서 사용. 200nm 부근에서는 투과율이 급격히 저하된다. 반사index가 1.65로 반사율은 12%. 에너지손실이 4%~10%. 내부산란 등으로 사용하지 않는다.<br />
<li>cellulose 재질로 약 0.72um, 99% 이상 투과율. i-line 이상 파장에서 사용. reflective index는 1.5로 light reflection은 8%, 에너지손실은 약 2%<br />
<li>ArF, KrF 파장에서는, perfluoropolmer 재질로 약 0.84um(ArF) 0.92um(KrF) 두께, 투과율은 99.3, 99.5% 이상 보인다.<br />
<li>EUV 13.5nm 파장에서는 현재 없다.<br />
<ol><br />
<li>80W 노광에너지 입사광을 흡수하면 750K 온도까지 도달한다.<br />
<ol><br />
<li>매우 얇은 막(열용량이 매우 작다.)이 진공상태에서 넓게 허공에 떠 있다.([[열전도율]]이 매우 낮은 상태가 된다.)<br />
<li>투과율이 낮다면 (반사가 없다면, 손실되는 에너지는 펠리클 내부로 흡수되어) 펠리클은 매우 뜨거워진다.<br />
</ol><br />
<li>ASML이 개발한 82% 투과율을 보이는 두께 70nm polysilicon 펠리클을 사용해도 바로 망가졌다.<br />
<li>SiNx 재료는 82W 에너지에 고장났다.<br />
<li>현실적으로 250W 노광에너지가 사용되어야 하는데, 이 정도이면 670도씨에 도달될 것이다.<br />
<li>녹는점이 높은 graphite, graphene 등 other carbon nanomaterials 은 (전기가 통해서?) EUV에 의해 전자 방출로 손상당하고 장치 내부에 설치될 것으로 예상되는 수소 크리닝 플라즈마에 쉽게 (Si도 마찬가지로 쉽게)에칭되는 문제가 있다.<br />
<li>수소 플라스마에 견디는 코팅을 할 수 있으나, 투과도를 떨어뜨리고 기계적 안정성(일부 부풀어 오르거나 쭈글거리는 문제)을 저해한다.<br />
<li>2019년 TSMC는 자체 펠리클로 제한된 생산을 시작했으며, 삼성은 2022년 적용 계획을 가지고 있다.<br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>(EUV 노광기처럼) 펠리클이 없으면<br />
<ol><br />
<li>작업전에 테스트 웨이퍼를 사용하여 노광한 후, 결점을 확인한다.<br />
<li>결점이 없어질 때까지 마스크를 세척한다. 그 사이 작업된 웨이퍼는 재작업한다.<br />
</ol><br />
<li>두께: 두께에 따른 optical interference 때문에 노광에너지 편차를 보이므로 파장별로 두께를 정확히 결정해야 한다.<br />
<ol><br />
<li>두께는 1/2nλ이다.<br />
<li>그래도 단일 색상 조명(monochromatic illumination)을 사용하면 원치않은 standing wave가 발생되어 생각치 못한 변화나 disturbance가 발생되므로, polychromatic illumination 시스템을 사용하는 것이 좋다.<br />
</ol><br />
<li>효과: i-라인용 포토마스크에서는 약 50um 이물질까지 허용한다.<br />
</ol><br />
<li>펠리클이 부착되어 있는 어느 (i-라인용)포토마스크<br />
<ol><br />
<li>펠리클 프레임<br />
<ol><br />
<li>검정색 아노다이징 처리한 [[알루미늄]](7075 재질)<br />
<li>높이: 1.2mm~6.8mm<br />
<li>마스크와는 hot melt SEBS(Styrene-Ethylene-Butylene-Styrene) 수지로 접착한다. 자외선에 잘 견디고 고무처럼 유연하다.<br />
</ol><br />
<li>152mm (6인치) 정사각형, 두께 10mm 어떤 포토마스크에서 6mm<br />
<gallery><br />
image:mask4_001.jpg | 펠리클을 위에 두고 촬영<br />
image:mask4_002.jpg | 투고기술 이름으로 레이저마킹<br />
image:mask4_007.jpg | 펠리클 제조업체는 FST. 펠리클 두께는 0.7um<br />
image:mask4_008.jpg | 기압조절용 바람 구멍(vent hole). 먼지는 들어가지 않도록 한다.<br />
</gallery><br />
</ol><br />
</ol></div>
Togotech