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프루버 프로그래밍 - 편집 역사
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2024-04-24T02:00:52Z
<p>새 문서: 프루버 프로그래밍 <ol> <li> <a href="/index.php/%EC%A0%84%EC%9E%90%EB%B6%80%ED%92%88" title="전자부품" data-bs-title="전자부품">전자부품</a> <ol> <li>기구 <ol> <li> <a href="/index.php/%ED%94%84%EB%A3%A8%EB%B2%84" title="프루버" data-bs-title="프루버">프루버</a> <ol> <li> <a href="/index.php/%ED%94%84%EB%A3%A8%EB%B2%84_%ED%94%84%EB%A1%9C%EA%B7%B8%EB%9E%98%EB%B0%8D" title="프루버 프로그래밍" data-bs-title="프루버_프로그래밍">프루버 프로그래밍</a> - 이 페이지 </ol> </ol> </ol> <li>동작 프...</p>
<p><b>새 문서</b></p><div>프루버 프로그래밍<br />
<ol><br />
<li> [[전자부품]]<br />
<ol><br />
<li>기구<br />
<ol><br />
<li> [[프루버]]<br />
<ol><br />
<li> [[프루버 프로그래밍]] - 이 페이지<br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>동작 프로그램<br />
<ol><br />
<li>본체 GPIB 주소<br />
<ol><br />
<li>402 또는<br />
<ol><br />
<li>연결된 CAT2 PC에 꼽힌 GPIB 보드는 400번라면<br />
</ol><br />
<li>702<br />
<ol><br />
<li>연결된 CAT2 PC에 꼽힌 GPIB 보드는 700번이라면<br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>프로그램 소스<br />
<ol><br />
<li>파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 [[prober01-ibw.txt]]<br />
<li>파일로 입력하는 XY좌표대로 특성값을 측정 + 2420 소스미터 추가 [[prober02-ibw.txt]]<br />
<li>칩 위치를 눈으로 보면서 조정하면서, 해당 위치를 추출하여 프루빙하는 방법 [[prober03-ibw.txt]]<br />
<li>다이 단위로 움직이면서, 특성값이 나올 때까지 8방향 이동. [[prober04-ibw.txt]]<br />
<li>직각사각형 배열 [[prober06-ibw.txt]]<br />
</ol><br />
<li>Message Completion(MC)와 failure(MF) 응답<br />
<ol><br />
<li>X-Y 이동 및 Z 이동이 끝날 때마다 이 메시지를 출력한다. 그러므로 반드시 이 메시지를 받아야 한다.<br />
<li>X-Y 이동에 관한 명령어는 FM, GF, HO, MD, MF, MM, MO, MP<br />
<li>Z 이동 명령어는 MT, ZD, ZM, ZR, ZU<br />
</ol><br />
<li>주요 action 명령어<br />
<ol><br />
<li>FMXxYx :x,y는 -32768~32768 범위. 다이 내에서 절대 마이크로 좌표단위로 이동<br />
<li>HO :홈 위치로 이동. 척 Z높이를 200으로 낮추고, forcer를 platen 우하 코너로 이동시킴<br />
<ol><br />
<li>MF :First die로 이동<br />
<li>FD :현재 위치를 First die로 지정함.<br />
</ol><br />
<li>LA0, LA1 :조명장치 ON/OFF<br />
<li>MO :절대 다이 스텝으로 이동, MOXnYn (n=-999999~999999)<br />
<ol><br />
<li>MDXnYn :상대(first 다이 기준으로) 다이 스텝<br />
</ol><br />
<li>MM :현재 위치에서 상대적인 기계 스텝으로 이동, MMXnYn (n=-999999~999999) 1이면 2.5um<br />
<ol><br />
<li>MAXnYn :forcer를 platen 면적에 해당하는 절대위치로 이동 - 투고기술 프루버에서는 인식할 수 없는 명령어라고 나옴.<br />
</ol><br />
<li>MTn :현재 각도에서 theta 상대 이동 (n=-7603~7604 모터스텝)<br />
<li>PA :프루빙 임시정지(Z down)/계속(pause/continue) PA 한 번에 정지, 다음 수행 때 계속. 키보드에 있는 PAUSE/CONT와 동일<br />
<li>SA :현재 프로세스를 멈추고 버저 울림. PAUSE 키 누르면 버저 종료, 다시 누르면 프로세스 수행<br />
<li>ZU 및 ZD :척 업 및 다운, ZM :지정 높이로 Z 이동<br />
<ol><br />
<li>ZMn :Z를 지정된 높이까지 이동. n=2000~Z Up limit까지. 2000이면 200mil이다. 기계마다 Z 스테이즈 분해능에 의존함. 1/2, 1, 1/4, 1/8min 중 하나임.<br />
<li>ZRn :Z를 현재높이에서 상대적인 위치로 이동. n=-2000~2000 음수는 낮춘다.<br />
</ol><br />
<li>VAn :척 진공 n=0/1 on/off<br />
</ol><br />
<li>주요 query 명령어<br />
<ol><br />
<li>?A0 (EG척일 때만 사용가능):Hot chuck 온도. AT123.4 는 123.4섭씨<br />
<ol><br />
<li>?A1 :지정 온도. AS111 111도로 세팅됨.<br />
</ol><br />
<li>?H :절대 모터 위치. HXxYy x,y는 -999999~999999 1단위는 0.1mil = 2.54um.<br />
<ol><br />
<li>platen 우하단코너(항구지점)가 0,0이다.<br />
<li>현재 투고기술 프루버는 좌상단은 115000, 81249 로 나타남. 11500mil x 8125mil = 292mm x 206mm<br />
<li>Y축 이동거리가 206mm이므로 8인치 웨이퍼 이동 가능하다.<br />
</ol><br />
<li>?I :First 다이위치, 웨이퍼 중심위치, 웨이퍼 직경. IXx1Yy1Xx2Yy2Dd 로 출력됨.<br />
<ol><br />
<li>Xx1Yy1 : first die 지정하지 않으면 X0Y0,<br />
<li>Xx2Yy2 : 프로파일러가 설치되었을 경우 값이 나온다. 그렇지 않으면 지정한 척 중심이 나온다.<br />
<li>Dd : 프로파일러가 있을 때 나온다. 그렇지 않으면 지정한 웨이퍼 직경이 나온다.<br />
</ol><br />
<li>?P :다이절대좌표출력(first die 기준으로) : XnYn (n=-999999~999999)<br />
<li>?T :theta 위치. Tn으로 응답한다. n은 현재 각도 위치 -7603~7603.<br />
<ol><br />
<li>읽어보니, +7430~-7603이 나온다.<br />
</ol><br />
<li>?Z0 현재 척높이 : Zn (n=0~4000), 0.1mil단위이다.<br />
<ol><br />
<li>200mil = Z2000으로, 400mil은 Z4000으로 나온다.<br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol></div>
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