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프루브카드 기판 - 편집 역사
2026-04-26T10:09:27Z
이 문서의 편집 역사
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2024년 12월 16일 (월) 11:00에 Togotech님의 편집
2024-12-16T11:00:18Z
<p></p>
<a href="//www.togotech.co.kr/index.php?title=%ED%94%84%EB%A3%A8%EB%B8%8C%EC%B9%B4%EB%93%9C_%EA%B8%B0%ED%8C%90&diff=80790&oldid=80789">차이 보기</a>
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2024년 12월 16일 (월) 08:55에 Togotech님의 편집
2024-12-16T08:55:18Z
<p></p>
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<tr class="diff-title" lang="ko">
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #222; text-align: center;">← 이전 판</td>
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #222; text-align: center;">2024년 12월 16일 (월) 08:55 판</td>
</tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l13" >13번째 줄:</td>
<td colspan="2" class="diff-lineno">13번째 줄:</td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>세미나 발표자료</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>세미나 발표자료</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>2010년 6월 <del class="diffchange diffchange-inline">SWTEST</del>, Fine Instrument 회사 - 33p</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline"><li>Semiconductor Wafer Test Conference(SWTest), https://www.swtest.org/</ins></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>2023년 6월 <del class="diffchange diffchange-inline">SWTEST</del>, SEMCNS 회사 - 2p</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins class="diffchange diffchange-inline"><ol></ins></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'>−</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #ffe49c; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>2022년 6월 <del class="diffchange diffchange-inline">SWTEST</del>, DIT, Tae-Hyung Noh - 20p</div></td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>2010년 6월, Fine Instrument 회사 - 33p</div></td></tr>
<tr><td colspan="2"> </td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>2023년 6월, SEMCNS 회사 - 2p</div></td></tr>
<tr><td colspan="2"> </td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>2022년 6월, DIT, Tae-Hyung Noh - 20p</div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>위 발표 내용에서 공정기술</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>위 발표 내용에서 공정기술</div></td></tr>
<tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l39" >39번째 줄:</td>
<td colspan="2" class="diff-lineno">41번째 줄:</td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>소성된 세라믹 시트를 어떻게 운반하는가? - 전체를 테이프에 붙여서? 아니면 금속 프레임에 4변만 붙여서?</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li>소성된 세라믹 시트를 어떻게 운반하는가? - 전체를 테이프에 붙여서? 아니면 금속 프레임에 4변만 붙여서?</div></td></tr>
<tr><td colspan="2"> </td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"></ol></ins></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td></tr>
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</table>
Togotech
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2024년 12월 16일 (월) 08:20에 Togotech님의 편집
2024-12-16T08:20:28Z
<p></p>
<table class="diff diff-contentalign-left" data-mw="interface">
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<tr class="diff-title" lang="ko">
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #222; text-align: center;">← 이전 판</td>
<td colspan="2" style="background-color: #fff; color: #222; text-align: center;">2024년 12월 16일 (월) 08:20 판</td>
</tr><tr><td colspan="2" class="diff-lineno" id="mw-diff-left-l6" >6번째 줄:</td>
<td colspan="2" class="diff-lineno">6번째 줄:</td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ol></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li> [[프루브카드 기판]] - 이 페이지</div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><li> [[프루브카드 기판]] - 이 페이지</div></td></tr>
<tr><td colspan="2"> </td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><ol></ins></div></td></tr>
<tr><td colspan="2"> </td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"><li> 프루브카드 기판(비공개)</ins></div></td></tr>
<tr><td colspan="2"> </td><td class='diff-marker'>+</td><td style="color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #a3d3ff; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div><ins style="font-weight: bold; text-decoration: none;"></ol></ins></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td></tr>
<tr><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td><td class='diff-marker'> </td><td style="background-color: #f8f9fa; color: #222; font-size: 88%; border-style: solid; border-width: 1px 1px 1px 4px; border-radius: 0.33em; border-color: #eaecf0; vertical-align: top; white-space: pre-wrap;"><div></ol></div></td></tr>
</table>
Togotech
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2024년 12월 16일 (월) 06:46에 Togotech님의 편집
2024-12-16T06:46:04Z
<p></p>
<a href="//www.togotech.co.kr/index.php?title=%ED%94%84%EB%A3%A8%EB%B8%8C%EC%B9%B4%EB%93%9C_%EA%B8%B0%ED%8C%90&diff=80787&oldid=79942">차이 보기</a>
Togotech
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Togotech: 새 문서: 프루브카드 기판 <ol> <li> 전자부품 <ol> <li> 프루브카드 <ol> <li> 프루브카드 기판 - 이 페이지 </ol> </ol> <li>세미나 발표자료 <ol> <li>20...
2024-12-13T04:47:10Z
<p>새 문서: 프루브카드 기판 <ol> <li> <a href="/index.php/%EC%A0%84%EC%9E%90%EB%B6%80%ED%92%88" title="전자부품" data-bs-title="전자부품">전자부품</a> <ol> <li> <a href="/index.php/%ED%94%84%EB%A3%A8%EB%B8%8C%EC%B9%B4%EB%93%9C" title="프루브카드" data-bs-title="프루브카드">프루브카드</a> <ol> <li> <a href="/index.php/%ED%94%84%EB%A3%A8%EB%B8%8C%EC%B9%B4%EB%93%9C_%EA%B8%B0%ED%8C%90" title="프루브카드 기판" data-bs-title="프루브카드_기판">프루브카드 기판</a> - 이 페이지 </ol> </ol> <li>세미나 발표자료 <ol> <li>20...</p>
<p><b>새 문서</b></p><div>프루브카드 기판<br />
<ol><br />
<li> [[전자부품]]<br />
<ol><br />
<li> [[프루브카드]]<br />
<ol><br />
<li> [[프루브카드 기판]] - 이 페이지<br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>세미나 발표자료<br />
<ol><br />
<li>2010년 6월, Fine Instrument 회사 - 33p<br />
<li>2023년 6월, SEMCNS 회사 - 2p<br />
<li>2022년 6월, DIT, Tae-Hyung Noh - 20p<br />
</ol><br />
<li>기술<br />
<ol><br />
<li>재료에 따라<br />
<ol><br />
<li>유기물기판<br />
<li>세라믹기판<br />
<ol><br />
<li>알루미나 적층<br />
<li> [[동시소성 세라믹]]<br />
<ol><br />
<li> [[HTCC]]<br />
<li> [[LTCC]]<br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>의문<br />
<ol><br />
<li>카드 크기(직경)<br />
<ol><br />
<li>웨이퍼 크기와 1:1 같이 핀을 배치하는가?<br />
<li>다이에 맞춰 핀을 배열해서 X-Y로 이동하는가?<br />
</ol><br />
<li>몇 층인가?<br />
<ol><br />
<li>50~100층으로 구성된다.<br />
<li>경로가 복잡해서 그런가? 아니면 휨 강도를 위해 기판은 두꺼워야 하는가?<br />
<ol><br />
<li>감각적으로 8~12층이면 경로가 확보될 것 같은데...<br />
<li>세라믹 기판은 해상도가 떨어진 스크린 인쇄로 경로를 확보하기 때문에 PCB보다 훨씬 많은 층을 사용하는가?<br />
<li>아니면 세라믹 기판에서는, 두꺼운 기판에서 비아를 깊게 만들지 못하기 때문인가?<br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>총 비아 갯수는?<br />
<li>열팽창율은?<br />
<li>MEMS 프루브카드는, 이 기판 위에 바로 MEMS 프로세싱을 하는가?<br />
<ol><br />
<li>아니면 별도로 MEMS 프루브팁을 벌크로 만들어 하나씩 기판에 부착하는가?<br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>세라믹 기판을 제조하는 회사<br />
<ol><br />
<li>MEMS 바늘을 붙이기 위한 위치 정확도를 catch pad 크기 따라주어야 한다.<br />
<ol><br />
<li>무수축 LTCC로는 catch pad 정확도가 400um(?) 인데, 현재 반도체에서는 훨씬 낮은 수준을 요구한다.<br />
<li>RDL로 극복한다.<br />
</ol><br />
<li>일본<br />
<ol><br />
<li>Kyocera, https://global.kyocera.com/prdct/semicon/semi/probecard/<br />
<ol><br />
<li>Multilayer Ceramic Substrate + '''Single-Layer''' Thin-Film Metallization<br />
<ol><br />
<li>RDL 이 없다.<br />
</ol><br />
<li>Multilayer Ceramic Substrate + '''Multilayer''' Thin-Film Metallization<br />
<ol><br />
<li>RDL 이 있다. 핀을 설치하는 면에 여러 층의 Cu/Pi로 만든 RDL 이 있다.<br />
</ol><br />
</ol><br />
<li>NTK<br />
</ol><br />
<li>국내 시장에서 경쟁하는 5개회사(2023.07.05 아이엠텍 홈 페이지 사업분야 설명에서)<br />
<ol><br />
<li>한국<br />
<ol><br />
<li>SEMCNS 수원시 영통구 삼성전기 2단지내<br />
<ol><br />
<li>LTCC<br />
<li>2022년(?) 년간 매출액 약 500억<br />
</ol><br />
<li>IMTECH(아이엠텍) 파주시,<br />
<ol><br />
<li>HTCC<br />
<li>2022년(?) 년간 매출액 약 100억<br />
</ol><br />
<li>FCT(화인세라텍) 화성시 동탄<br />
<ol><br />
<li>메모리용은 12인치급 원형으로 mullite(3Al2O3.2SiO2) 재질, CTE~5.3ppm/'C<br />
<li>비메모리용은 사각형 9인치급으로 alumina 또는 mullite 재질<br />
<li>무수측 LTCC로는 12인치 원형<br />
<li>2022년(?) 년간 매출액 약 50~60억<br />
</ol><br />
<li>DIT<br />
<ol><br />
<li>대표적인 특허 <br />
<ol><br />
<li>발명자: 노태형, 이노칩스테크놀로지(=모다이노칩) 근무<br />
</ol><br />
<li>12인치 원형에 맞게 0.1~0.2t 두께의 얇은 알루미나 기판에 회로를 형성해서 재주껏 적층한다.<br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol><br />
</ol></div>
Togotech