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Togotech: 새 문서: EG 2001X 프루버

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EG2001X 프루버 - 이 페이지

프루버 동작

프루버...

2024-07-10T00:31:55Z

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새 문서

EG 2001X 프루버
<ol>
<li> [[전자부품]]
<ol>
<li>기구
<ol>
<li> [[프루버]]
<ol>
<li> [[EG2001X 프루버]] - 이 페이지
</ol>
<li>프루버 동작
<ol>
<li> [[프루버 프로그래밍]]
<li> [[이동 좌표 생성]]
</ol>
</ol>
</ol>
<li>투고기술 보유, EG 2001X 프루버
<ol>
<li>메뉴얼
<ol>
<li>A: EG 2001/2010/3001/4085 Prober Information - 6p
<li>대략 어떤 그림들 - 13p
<li>GPIB 명령어 - 14p
<li>EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
<li>2001X Basic Maintenance Training - 244p
<li>보유 3권
<ol>
<li>2020/06/04 촬영
<gallery>
image:eg_manual01_001.jpg
</gallery>
<li>Mechanical Interface Reference Drawing
<gallery>
image:eg_manual02_001.jpg
image:eg_manual02_002.jpg
</gallery>
<li>Reference Drawing, Vol.1
<gallery>
image:eg_manual03_001.jpg
image:eg_manual03_002.jpg
</gallery>
<li>Reference Drawing, Vol.2
<gallery>
image:eg_manual04_001.jpg
image:eg_manual04_002.jpg
</gallery>
</ol>
</ol>
<li>수식
<ol>
<li>3점 원의 방정식 [[circle-ibw.txt]]
</ol>
<li>분석 엑셀
<ol>
<li>반지름 특성 분석 엑셀 파일
</ol>
<li>주변 유틸리티
<ol>
<li>100V 트랜스포머
<ol>
<li>220V로 결선을 바꿔서 사용할 수 있을 것 같은데... 현재 100V를 사용하고 있다.(??? - 정확히 확인 필요)
</ol>
<li>진공펌프
<ol>
<li> [[DA-60D]] 진공펌프를 사용하고 있다.
<li>진공펌프에서 외경 10mm 튜브, 본체는 외경 5/16"(=7.94mm 약8mmm) 사용중
</ol>
<li>공기압축펌프
<ol>
<li>냉동식 수분 제거기
<li>필터(main filter + mist separator)
</ol>
</ol>
<li>프루버 본체 등
<ol>
<li>투고사무실에서
<gallery>
image:140507_140730.jpg | 2014/05/02 투고기술에 설치.
image:140616_162020.jpg | 2014/06/16
</gallery>
<li>Platen Base Assembly 도면 - 11p
<gallery>
image:eg_manual05_001.jpg
image:eg_manual05_002.jpg
image:eg_manual05_003.jpg
</gallery>
<li>ring carrier - 주황색 판을 말한다.
<ol>
<li>3군데 기둥으로 [[평행 평면]]을 맞추는 방법.
<gallery>
image:eg2001_ringcarrier01_001.jpg
image:eg2001_ringcarrier01_002.jpg
image:eg2001_ringcarrier01_003.jpg | 왼손이 잡고 있는 원통을 돌려서 높이를 조절한다.
</gallery>
</ol>
<li>Forcer - 이 회사가 linear motor를 일컫는 말이다.
<ol>
<li>설명
<ol>
<li>2차원평면에서 이동한다. 영구자석과 전자석으로 이루어져 있다.
<li>알루미늄 덩어리속에 금속코어와 감싸고 있는 코일로 만들어 NS극이 존재한다.
<li>platen은 20mil 간격으로 와플 패턴이 에칭되어 그려져 있다. forcer 또한 20mil 간격이지만 이빨 형태로 잘라진 형태이다.
<li>palten과 forcer 사이는 air bearing 을 유지해서 마찰이 없으면서 1um 이동간격을 같는다.
</ol>
<li>사진
<gallery>
image:eg2001_forcer01_001.jpg
</gallery>
</ol>
<li>Chuck - hot 척이다.
<ol>
<li>6인치(=150mm) 척 표면
<ol>
<li>형태
<gallery>
image:eg2001_chuck00_001.jpg
</gallery>
<li>진공구멍이 어떤 측정값에 영향을 준다.
<ol>
<li> [[정전용량 프루빙]]
</ol>
</ol>
<li>콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
<li>접지와 연결
<gallery>
image:eg2001_chuck01_001.jpg | M4, 척 표면 위로 올라오지 않게 나사 머리 직경을 줄임.
image:eg2001_chuck01_002.jpg
image:eg2001_chuck01_003.jpg
</gallery>
<li>높이
<ol>
<li>척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
<li>척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
<gallery>
image:eg2001_chuck03_001.jpg | X,Y 단위계를 인치 또는 미터로 선택할 수 있는데, Z축 높이는 항상 인치단위인 mil(25.4um)로 나타난다.
image:eg2001_chuck03_002.jpg | Z축 모터에 있는 [[기어]]비에 따라 Z SCALE을 선택해야 한다. 이 기계는 1mil = 4기계유닛으로 되어 있다. 즉, 기계단위 4당 1mil 상승/하강한다.
</gallery>
<li>높이 정확도 측정
<ol>
<li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
<gallery>
image:eg2001_chuck03_003.jpg | Z up 과 down 차이를 35mil(=889um)을 지정하면
image:eg2001_chuck03_004.jpg | 원점
image:eg2001_chuck03_005.jpg | 886um
</gallery>
<li>2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
</ol>
<li>현재 척이 너무 높다. 낮춰야 한다.
<ol>
<li>왜냐면, semi rigid coaxial cable로 만든 probe 핀의 외부도체가 바늘 높이와 비슷하여 웨이퍼와 닿아 문제를 일으킬 수 있다.
</ol>
</ol>
<li>수평 측정
<ol>
<li>개요
<gallery>
image:eg2001_chuck02_004.png | 링 케리어 평행도는 프루브 카드를 사용하지 않는다면 맞출 필요가 없다.
</gallery>
<li>2020/06/06 [[레이저변위]] 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
<ol>
<li>측정 사진
<gallery>
image:eg2001_chuck02_001.jpg
</gallery>
<li>진공구멍이 있는 척 상태로
<gallery>
image:eg2001_chuck02_002.jpg
image:eg2001_chuck02_002_001.png
</gallery>
<li>150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
<gallery>
image:eg2001_chuck02_003.jpg
image:eg2001_chuck02_003_001.png
</gallery>
</ol>
<li>2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.
<gallery>
image:eg2001_chuck03_006.jpg | 척 1시방향 가장자리 높이 = 865um
image:eg2001_chuck03_007.jpg | 척 7시방향 가장자리 높이 = 891um
</gallery>
<li>2020/06/07 [[평행 평면]]을 만들기 위한 방법
<ol>
<li>수평조절용 볼트 3군데
<ol>
<li>그림
<gallery>
image:eg2001_chuck03_009.jpg
</gallery>
<li>설명
<ol>
<li>풀면, 척 전체를 위로 올리는 (강력한 스프링)이 없기 때문에 올릴 수는 없다.
<li>접촉부위 사이에 있는, 고무 [[오링]]으로 누르면서 수평을 잡는다.
<li>그러므로 너무 조이면 [[오링]]이 탄성을 잃어버려 수평 조절이 안된다. [[오링]]을 교환해야 한다.
<li>수평을 결정하는 또 다른 곳이 맨 위 척을 고정하는 4개의 볼트이다.
<ol>
<li>4개 볼트는 수평 조정용으로 사용하지 않고, 고정용이다.
<li>적당한 토크로 4개 볼트를 모두 고정시키고 난 후, 아래 3개로 수평조절을 한다.
</ol>
</ol>
</ol>
<li>교정 전후
<gallery>
image:eg2001_chuck02_003_001.png | 수평잡기 전
image:eg2001_chuck03_008.png | 수평잡은 후
</gallery>
</ol>
<li>2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤에 다시 측정하니,
<ol>
<li>출근해서 측정하니
<gallery>
image:eg2001_chuck03_010.png | 이틀 사이에 높낮이 차이가 발생되었다.
image:eg2001_chuck03_011.png | 시간에 따라 척이 높아지고 있다. (센서에서 멀수록 +이므로)
</gallery>
<li>두 번째 측정하니, 평탄해졌다.
<gallery>
image:eg2001_chuck03_013.png | 리니어모터는 사용함에 따라 뜨거워지나? - 그렇다 리니어모터의 가장 큰 단점이다. 또, 압축공기로 forcer를 부양시키므로 압축공기 온도에 의존하는가?
</gallery>
<li>어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.
<gallery>
image:eg2001_chuck03_012.png | 높이 전압이 0.005% 이내로 연속 5회 들어오는 시간
</gallery>
</ol>
</ol>
<li>hot chuck 분해
<ol>
<li>2020/06/07 첫 분해
<gallery>
image:eg2001_chuck04_001.jpg
image:eg2001_chuck04_002.jpg | 3개에서 한 곳에 세라믹 단열링이 없다.
image:eg2001_chuck04_003.jpg | 온도센서가 부착된 곳
</gallery>
</ol>
</ol>
<li>링(ring)
<ol>
<li>"프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
<gallery>
image:eg2001_ring01_001.jpg
image:eg2001_ring01_002.jpg
</gallery>
<li>2014/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
<gallery>
image:eg2001_ring02_001.jpg
image:140912_172756.jpg
</gallery>
<li>2015/03/03, 링을 고정시키기 위해, mm 나사구멍을 몇 개 뚫는 가공비 21하이테크에서 80,000원 지불함.
</ol>
<li>모니터
<ol>
<li>20/04/20 [[CRT]] 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
<gallery>
image:eg2001x_003.jpg
</gallery>
</ol>
<li>바퀴 관련
<ol>
<li>14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
<gallery>
image:eg2001x_001.jpg
image:eg2001x_002.jpg
</gallery>
<li>20/05/26 바퀴 방향을 돌림
<ol>
<li>캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
<gallery>
image:eg2001x_004.jpg
image:eg2001x_005.jpg
</gallery>
<li>가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
<gallery>
image:furniture_mover01_004.jpg
image:eg2001x_006.jpg | 바퀴 방향 조정 후. 자동차용 가위 잭은 높이가 높아 들어가지 못함. 빈 공간 높이 10cm
</gallery>
</ol>
</ol>
</ol>
</ol>
</ol>

@@ 7번째 줄: / 7번째 줄: @@
 <li> [[프루버]]
 <ol>
-<li> [[EG2001X 프루버]] - 이 페이지
+<li> [[EG 2001X 프루버]] - 이 페이지
 </ol>
 <li>프루버 동작

EG 2001X 프루버 - 편집 역사

2024년 7월 10일 (수) 00:32에 Togotech님의 편집

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