Togotech: 새 문서: Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서

전자부품

Fukuta 에어리크 검사기
압력센서

Fukuta 에어리크에서 보조...

2024-11-22T13:30:56Z

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Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서
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<li>차압센서2
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<li>신호 전처리 보드
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<li>Merit Sensor, 이 회사 고유의 Sentium 기술을 사용한다. OEM 판매한다.
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<li>데이터시트 - 2p
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<li>제품1에서
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<li>이렇게 생긴 공압부품, 황동 가공품 속에서 사용된다.
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image:leak05_001.jpg
image:leak05_002.jpg | 양쪽으로 구멍이 뚫려있는 대칭형 가공품 속에 있다.
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<li>센서 외형
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image:leak05_003.jpg
image:leak05_004.jpg | 4개 전선이 연결된다.
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<li>[[가스토치]]로 가열해, 단단한 에폭시 접착제로 4군데 밀봉된 부분을 뜯어내면
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image:leak05_005.jpg | 센서에서 공기가 통하는 뒤쪽 구멍이 보인다.
image:leak05_006.jpg | 센서면 표면이 보이는 앞쪽을 다시 뜯으면
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<li>제품2에서
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<li>뜯으면
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<li>레이저 [[천공]]된 알루미나 기판에 센서다이가 다이본딩, Bump Over Stitch [[Au 볼 와이어본딩]]되어 있다.
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<li>계속해서 알루미나 기판을 뜯으면
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<li>다이 접착 방법
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image:leak05_013.jpg
image:leak05_015.jpg | 실리콘 센서 다이와 구멍이 있는 [[유리]] 다이([[하프 커팅후 절단]]되었다.)를 서로 붙였다.
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<li>다이 구조
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image:leak05_014.jpg | SENTIUM 3000
image:leak05_016.jpg | MEMS 가공된 실리콘 센서 멤브레인이 깨진 후 사진. 트위저로 뒤면 유리 구멍을 잡고 [[가스토치]]로 가열하니 유리가 녹아 찌그러졌다.
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Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서 - 편집 역사

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