Togotech: 새 문서: Fukuta 에어리크에서 주 차압센서

전자부품

Fukuta 에어리크 검사기
압력센서

Fukuta 에어리크에서 보조...

2024-11-22T13:34:49Z

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Fukuta 에어리크에서 주 차압센서
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<li> [[전자부품]]
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<li> [[Fukuta 에어리크 검사기]]
<li> [[압력센서]]
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<li> [[Fukuta 에어리크에서 보조 차압센서]]
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</ol>
<li>2016/04/13 압축공기 차압센서(검출기) 분해
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<li>외관
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image:leak1_004.jpg
image:leak1_005.jpg | 커넥터 TMW R03-PB6F
</gallery>
<li>앰프 보드
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image:leak3_001.jpg
image:leak3_002.jpg | OP200 op-amp, 2043D pre-amp
image:leak3_003.jpg
</gallery>
<li>센서부
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image:leak3_004.jpg
image:leak3_005.jpg | 샘플과 마스터를 넣는 빈공간과 연결되는, 공기구멍 2개
image:leak3_006.jpg | 공기구멍 철망 필터
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<li>밸브 분해
<ol>
<li>밸브 분리
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image:leak3_007.jpg
image:leak3_008.jpg
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image:leak3_011.jpg
image:leak3_012.jpg | O-링용 홈 가공
</gallery>
<li>[[자석]]으로 움직이는 밸브 분해
<gallery>
image:leak4_001.jpg
image:leak4_002.jpg
image:leak4_003.jpg
image:leak4_004.jpg
image:leak4_005.jpg | 구멍이 작으면 작은 힘으로도 구멍을 막을 수 있다.
image:leak4_006.jpg
</gallery>
</ol>
<li>차압센서 분해
<ol>
<li>외관
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image:leak3_013.jpg
image:leak3_014.jpg
image:leak3_015.jpg
</gallery>
<li>양쪽을 벌리면
<gallery>
image:leak3_016.jpg
image:leak3_017.jpg
image:leak3_018.jpg | [[오링]] 사이에 얇은 금속 멤브레인이 있다.
</gallery>
<li>E코어 코일이 들어있다.
<gallery>
image:leak3_019.jpg
image:leak3_020.jpg
image:leak3_021.jpg
image:leak3_022.jpg
image:leak3_023.jpg
</gallery>
</ol>
<li>동작원리
<ol>
<li>그림
<gallery>
image:leak3_024.jpg | SW2에 연결된 부품은 조그만 공기탱크이다.
</gallery>
<li>설명
<ol>
<li>이 센서의 특징
<ol>
<li>검사하고자 하는 제품의 체적이 매우 작은 경우를 위해 만들어졌다.
<li>검사 시료가 들어가는 챔버, 밸브 및 센서의 빈공간이 상대적으로 크면, 압력 차이가 작아져 검출이 안된다.
<li>그러므로, 최대한 검사 챔버 가까이 밸브 및 센서를 설치해야 한다.
<li>완전대칭인 차압센서를 사용해야 압력차이만 검출하고, 잡음(특히 온도계수)은 제거된다.
</ol>
<li>test, master
<ol>
<li>test: 내부에 빈공간이 있고 기밀이 되어야 하는 제품을 말한다.
<li>master: test 샘플과 체적이 똑같은, 기밀이 완벽한 제품(즉, 내부 공간이 없는, 그냥 쇠덩어리)을 말한다.
</ol>
<li>소리크 small leak
<ol>
<li>SW2를 닫는다.
<li>SW1을 열면 압축공기가 test, master 공간에 각각 들어가고, 곧이어 압력이 일정해진다.
<li>SW1을 바로 닫는다.
<li>양쪽(test, master) 상대적인 압력값을 측정하는 차압센서에서 압력은 0을 보인다.
<li>만약 미세한 구멍이 뚫린 빈공간이 있는 test라면, 시간이 지나면서 압력은 줄어든다. (PV=일정, V가 커지므로 P는 낮아진다.)
<li>압력차이가 없으면 누설 구멍도 없다.
<li>이 시간에 따라 줄어드는 압력을 측정해서 리크속도(leak rate)를 구한다.
</ol>
<li>대리크 large leak
<ol>
<li>만약 구멍이 크면, 앞 small leak에서 시간에 따른 차압이 검출되지 않는다.
<li>test에 구멍이 존재하면 체적이 크다. Ptest=Pmaster이지만 Vtest>Vmaster가 된다.
<li>앞 small leak를 측정한 후, SW2를 연다.
<li>빈 공기탱크로 동일한 압력을 갖는 Ptest와 Pmaster가 들어간다.
<li>large leak가 존재하면, Vtest가 Vmaster보다 크기 때문에 Ptest가 Pmaster보다 크게 측정된다.
<li>large leak는 리크속도 개념이 없이 순식간에 측정되므로, 시간에 따라 측정할 필요가 없다.
</ol>
</ol>
<li>차압센서 동작 원리
<ol>
<li>사진, 그래프
<gallery>
image:leak3_025.jpg | 센서선 연결방식 (공통, 왼쪽, 오른쪽)
image:leak3_026.jpg | [[자석]]을 대면
image:leak3_027.jpg | [[자석]]을 대고 측정
image:leak3_028.png | 왼쪽센서에만 [[자석]]을 대면
image:leak3_029.png | 오른쪽 센서에만 [[자석]]을 대면
image:leak3_030.png | 각각 코일에 가해지는 신호 2kHz 8Vp-p
</gallery>
<li>설명 - 더 자세히 조사할 것.
<ol>
<li>유도성 근접센서(inductive proximity sensor)인듯
<li>금속을 검출한다. ferrous metal(철,강철 등)은 검출 거리가 길다.
<li>non ferrous metal(알루미늄,구리 경우)는 검출 거리가 60%로 줄어든다.
<li>inductive loop를 형성시킨다. 도로 자동차 검출과 같다.
<li>금속이 자계필드에 들어오면 진폭을 떨어뜨린다. "Eddy Current Killed Oscillator”or ECKO principle이라고 한다.
<li>얇은 금속 membrane이 압력에 따라 휘면, 양쪽 코일에서 휘는 정도에 비례하는 신호"만"을 검출할 수 있다.
</ol>
</ol>
</ol>
</ol>
</ol>

Fukuta 에어리크에서 주 차압센서 - 편집 역사

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