포토마스크를 Miyachi ML-7110B로 레이저마킹

포토마스크를 Miyachi ML-7110B로 레이저마킹

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   3. 참고
      1. 포토마스크
2. 6인치 5x 포토마스크에 레이저 마킹
   1. 불투명 막 구조
      1. 크롬 0.09um + 산화크롬 0.01um
   2. 2016/10/06 실험
   3. 전체
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        마킹 글자: TOGO TECHNOLOGY

   4. GO 글자, 조건 4가지
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        1: 35A 100mm/s 1kHz

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        2: 30A 100mm/s 2kHz

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        3: 20A 100mm/s 2kHz

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        4: 15A 100mm/s 2kHz

   5. 조건 4(15A 100mm/s 2kHz)에서 G 글자 확대
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   6. 조건 1(35A 100mm/s 1kHz)에서 G 글자 확대
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   7. 레이저 spot 간격 측정. 100m/sec 1kHz 작업조건이므로 간격은 100um 측정되었다.
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