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"QCM"의 두 판 사이의 차이

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2025년 11월 25일 (화) 11:33 판

석영 수정 마이크로저울;quartz crystal microbalance

  1. 전자부품
    1. 수정부품
      1. 수정 공진기
        1. 석영 수정 마이크로저울;quartz crystal microbalance - 이 페이지
    2. 참조
      1. 저울
  2. quartz crystal microbalance(QCM)
    1. 보고서
      1. 2025/10/22
      2. Stonics 스토닉스(주), 성용안 Sung yong-an 대표이사
        1. 2014/06/25 설립
        2. 2015/07/09 기사: 김포 양촌산업단지(=김포골드밸리) 메카존 305호, 희망특례보증 제도로 재창업한 전자부품회사 스토닉스(주)’
        3. 2022/08/22 어느 주소록: 김포시 양촌읍 황금로 117, 이젠지식산업센터 나동 357호, 070-4193-7116
          1. 메카존이 나동이다.
          2. 2025/11/14, 이젠지식산업센터에 입주업체 현황에서 조사되지 않는다.
    2. 링크
      1. 위키페디아
        1. 석영 수정 마이크로저울 https://en.wikipedia.org/wiki/Quartz_crystal_microbalance
        2. 박막 두께 모니터, Thin-film thickness monitors https://en.wikipedia.org/wiki/Thin-film_thickness_monitor
      2. https://www.nanoscience.com/techniques/quartz-crystal-microbalance/
    3. 상식
      1. 박막 성막 장치에서, 증착기(evaporator)에서만 사용한다. 스퍼터(sputter)에서는 사용하지 않는다.
        1. 스퍼터는 증착기에 비해 성막속도가 일정하다.
        2. 증착기는 작업할 때마다 성막속도가 일정하지 않기 때문에 이 QCM을 사용한다.
      2. 2025/10/12 6MHz를 가장 많이 사용하고, 5MHz 공진주파수 제품도 있다.
    4. 모니터(thin-film thickness monitors) 장치 사용 메뉴얼
      1. Inficon - 72p
        1. 시스템 구성도
          • xtal t monitor02 002.png
      2. SPI Supplies - 21p
        1. 전극이 형성된 블랭크의 장착방법

          • crystal holder assembly

  3. 양면에 금 전극이 형성된 블랭크
    1. TASCO TAN05UG 5MHz Gold Quartz Crystals
      1. 포장

        • 3시 방향에 블랭크를 하나씩 꺼낼 수 있는 큰 구멍이 있다.

        • 투명 뚜껑을 회전시킬 수 있도록 중심축이 있다.

      2. (소모품인) 블랭크

        • 앞면 및 뒷면이 거의 대칭 금패턴이다.

      3. 측정
        1. LCR SMD타입 측정치구를 사용하여
          • xtal t monitor01 004.jpg
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          • xtal t monitor01 006.jpg
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