"Jandel 4-Point Probe 헤드"의 두 판 사이의 차이
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| − | <li>핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지 | + | <li>핀 압력용 판 [[스프링]] - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지 |
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<li> [[창민 SR2000 면저항측정기]]에서 발견 | <li> [[창민 SR2000 면저항측정기]]에서 발견 | ||
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| + | image:4pp2_010.jpg | 영국제조 | ||
| + | image:4pp2_011.jpg | 1.00mm, 100g, 재질 TC, 팁반경 100um | ||
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| + | <li>외부와 신호 연결 방법 | ||
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image:4pp2_007.jpg | 연결은 [[D-sub]] 9핀 커넥터를 사용한다. | image:4pp2_007.jpg | 연결은 [[D-sub]] 9핀 커넥터를 사용한다. | ||
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| + | </gallery> | ||
| + | <li>바늘 | ||
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image:4pp2_008.jpg | 간격 1mm | image:4pp2_008.jpg | 간격 1mm | ||
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| − | + | <li>Z축 | |
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image:4pp2_013.jpg | [[포토인터럽터]]를 사용한 Z limit 스위치 | image:4pp2_013.jpg | [[포토인터럽터]]를 사용한 Z limit 스위치 | ||
image:4pp2_014.jpg | image:4pp2_014.jpg | ||
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2026년 2월 10일 (화) 11:08 기준 최신판
Jandel 4-Point Probe 헤드
- 전자부품
- 4-Point Probe
- Jandel 4-Point Probe 헤드 - 이 페이지
- 참조
- 4-Point Probe
- KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서.
- 2017/07/07 촬영
- Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC( 탄화텅스텐)
- 헤드 외관
피치 1.575mm
팁 반지름이 커질수록 간격이 가까워져 측정값이 계속 작아지는 큰 문제.
핀 하나가 마모됨. 뒤로 후퇴하지 않아
탄화텅스텐 재질이 마모될 정도면 무척 많이, 오랫동안 사용한 듯
- 헤드 분해
- 보석인 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
- 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
- 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
핀 압력 조절
- TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
신호선으로 사용되는 헤어스프링(hairspring)
헤어스프링과 TC 바늘은 직접 납땜되어 연결된다.
- 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
- 창민 SR2000 면저항측정기에서 발견
