정밀R

정밀 저항

링크
1. 전자부품
  1. 나선컷R
박막저항 기술자료
1. 질화 탄탈(TaN;Tantalum Nitride) 저항체
  1. 기판: Polished AlN(Aluminum Nitride), Ra<0.08um
  2. 저항체: 질소공급하면서 탄탈을 스퍼터링
    1. 기판위에 가장 먼저 입힌다. 약 50오옴/sq
  3. 배선층
    1. 2층: Ti 0.1um
    2. 3층: Pt 0.2um
    3. 4층: Au 2~6um, type3 gold(1:99.7%, 2:99.0%, 3:99.9%)
  4. 성막 후, 공기중에서 450+-10도 핫플레이트에 올려놓고 부풀어오르면 안된다.
  5. 뚜껑/리드선 납땜은 0.5um Pt에 0.04um Au flash 도금면에 73%wt Au/27%wt Sn 솔더 사용
레이저 트리밍 방법
1. selectively laser trimming
2. - resistladder.gif
3. ladder laser trimming
각형 몰딩(트랜스퍼/conformal), 포일 저항
1. Keithley 2612B에서
  1. 750k
    1. 사진
      - 앞면
      - 뒷면
    2. 17/10/28 TCR 측정 데이터 엑셀 파일
      - 오븐 온도 프로파일
      - 온도-저항
      - 온도계수. 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
  2. 30k, 30k, 150k 3개
    - 앞면
    - 뒷면
  3. 파랑 axial lead 타입 - 22.5K 및 40.0K 두 개
2. HP3458A DMM에서
  1. Voltage Reference에서
3. Advantest R6551 5+1/2 DMM
  - 80k오옴
4. HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)
  - 측정하니 1.000k오옴
conformal coating 제품
1. Dale 고압용 고저항
  1. Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
    1. TR 시리즈 데이터 시트 - 2p
    2. 사진1
    3. 측정 - 17/10/30 측정 엑셀 데이터
      - 4339B 계측기에서 잘 측정됨.
      - 주변에 사람이 어슬렁거리면 측정값이 변동이 발생된다.
2. Takeda Riken(Advantest) TR-6150 - DC Voltage/Current Source
3. Koa
  1. MRP 시리즈
    1. datasheet - 2p
    2. Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
    3. Yokogawa 2533 RMS board에서
    4. Yokogawa 2533 RMS board에서
    5. (마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits),
      1. 17/11/15 +30ppm/'C 나온다.
        
        오븐 온도 프로파일
        
        90오옴 TCR = 0.00237/90 = +26ppm/'C
        
        9오옴 TCR = 0.000279/9 = +31ppm/'C
        
        90/9 저항비의 온도계수는 -5ppm/'C, 0~50도에서 최대 30ppm
      2. 메인보드에서
        
        어레이저항 RA5 GF5183
      3. 레이저 트리밍 방법
        
        double plunge cut, serpentine cut, plunge cut-ladder resistor
      4. 레이저 트리밍 확대
4. AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입
  1. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits)
    1. 메인보드에서
      - 듀얼저항
    2. A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
      1. 보드에서
      2. 외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k
        
        10k-10k 제품과 1.5k-11.5k 제품
        
        저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록
      3. 17/11/13 10k-10k 제품의 온도특성 측정 엑셀 데이터
        
        오븐 온도 프로파일
        
        TCR=-0.9ppm/'C, -0.4ppm/C
        
        저항비 = 0.5ppm/'C, 0~50도 범위에서 30ppm 이내
      4. #1 내부구조
      5. #2 - 발연질산에 넣어 녹여서 관찰. 금속포일을 붙여서 레이저 트리밍.
명확하게 알루미나 기판에
1. Caddock
  1. Caddock 1776 데이터시트 - 2p
  2. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터
    1. 메인보드에서
      - Caddock 1776-105
      - 에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음
      - 1차레이저-보호막-2차레이저
  3. Solartron Schlumberger 7060 DMM에서
    1. Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers
    2. 외관
      - 레이저 천공
    3. 패턴
      - 이 상태에서 측정하니, 8.989M, 896.8k, 89.82k, 9.964k
    4. 저항체 대충 레이저 트리밍 후, 유리보호막 코팅, 보호막 코팅후 정밀 레이저 트리밍
      - 9M
      - 900k
      - 90k
      - 10k
    5. 900:90:9:1 저항비를 면적비로 측정함
      - 녹색 유리 보호막을 벗기고
      - 저항값과 면적비 계산
      - 9M 저항체 면적비 계산
      - 900k,90k,10k 저항체 면적비 계산
  4. Keithley 195A DMM
2. DMM Fluke 8842에서,
Metal Can에서
1. Alpha Electronics(AE 마킹)
  1. Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서
    - LM10CH, 96년산
    - 9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산
  2. Advantest R6551 5+1/2 DMM
    - , Ultra Precision Resistor (Hermetically Sealed), 40k-ohm,
2. Vishay, ultra-high precision 데이터시트 - 4p
  1. HP3458A DMM에서
    - ultra-high precision
  2. 100오옴 - 백금저항 온도계용
    1. Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer
      - Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리
3. axial
  1. DMM, HP 3456A
    - 30k +-0.02%, TC +-1ppm
반도체 IC 에서
1. A/D Converter 에서
  1. multi-chip
    1. Yokogawa LR4110 펜레코더 입력보드 A/D 컨버터 칩에서
  2. 실리콘 one-chip에서
    1. AD574A, Complete 12-Bit A/D Converter with Reference and Clock, 35us Maximum Conversion Time
      1. 외관
      2. 내부
      3. 칩
        
        레이저 트리밍