Jandel 4-Point Probe 헤드

Jandel 4-Point Probe 헤드

1. 전자부품
   1. 4-Point Probe
      1. Jandel 4-Point Probe 헤드 - 이 페이지
   2. 참조
2. KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서.
   1. 2017/07/07 촬영
   2. Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC( 탄화텅스텐)
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   3. 헤드 외관
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        피치 1.575mm

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        팁 반지름이 커질수록 간격이 가까워져 측정값이 계속 작아지는 큰 문제.

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        핀 하나가 마모됨. 뒤로 후퇴하지 않아

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        탄화텅스텐 재질이 마모될 정도면 무척 많이, 오랫동안 사용한 듯

   4. 헤드 분해
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   5. 보석인 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
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   6. 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
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   7. 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
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        핀 압력 조절

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   8. TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
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        신호선으로 사용되는 헤어스프링(hairspring)

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        헤어스프링과 TC 바늘은 직접 납땜되어 연결된다.

   9. 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
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3. 창민 SR2000 면저항측정기에서 발견
   1. 라벨
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        영국제조

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        1.00mm, 100g, 재질 TC, 팁반경 100um

   2. 외부와 신호 연결 방법
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        연결은 D-sub 9핀 커넥터를 사용한다.

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   3. 바늘
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        간격 1mm

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   4. Z축
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        포토인터럽터를 사용한 Z limit 스위치

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