스크라이버

스크라이버 scriber

1. 반도체 웨이퍼 절단용 Diamond Scribe Tool
   1. 텍다이어 , http://www.tecdia.com/kr/products/diamond/scribe_selection.php
   2. 다이아몬드 스크라이버 툴 꼽는 치구
      1. 외관
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           피봇 베어링 좌우 이동으로 중심을 맞춘다. theta 틀어짐 회전은 불가능하다.

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           판스프링

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           tool을 꼽는 홈

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           압력조절용 마이크로미터

      2. 피봇 pivit 용 베어링
         1. 인터넷에서 찾은 제조회사 , https://www.nskmicro.co.jp/
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              이 회사 제품을 사용했다는 것은 아님

         2. 사진
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      3. 툴이 웨이퍼 표면에 닿았는지 검사하는 스위치. 불이 켜지거나 소리가 나는 지점을 0으로 놓고 마이크로미터를 돌려 압력을 결정한다.
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   3. Scribe Tool
      1. 외형 - 눈으로 오목홈을 보고 장착한 후, 스크라이빙 자국을 현미경을 보고, 툴을 조금씩 회전시켜 결정한다.
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           3각형 다이아몬드 칼 방향을 알려주는 3군데 오목홈

      2. 각도는 70도 +- 2도로 꼽는다.
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           Tecdia 2A11431

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      3. 3각형(다이아몬드 결정방향을 고려하여 가장 단단한 방향이다. 120도 돌려서 3번 사용할 수 있다. 4각형 팁도 있다.)
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           삼각형변 길이 20um