QCM 온도특성

전자부품
1. 석영 수정 마이크로저울;quartz crystal microbalance
  1. QCM 온도특성 - 이 페이지
2. 참조
  1. 주파수온도계수 TCF
    1. 수정공진기 온도특성
실험 방법
1. Espec SU-222 오븐으로 0.1'C 분해능으로 온도 측정하고
2. OCXO가 장착된 HP E5100A 네트워크분석기로 통과 이득특성을 측정한다.
실험-1
1. TASCO TAN05UG 5MHz Gold Quartz Crystals
  - 3시 방향에 블랭크를 하나씩 꺼낼 수 있는 큰 구멍이 있다.
2. 실험 사진
3. 측정 데이터 엑셀 파일
  1. 1차 실험
  2. 2차 실험
  3. 3차 실험
4. 40도씨, 10도씨에서 공진주파수에서 특성 그래프
  - 40'C fc=4.999 563 MHz
  - 10'C fc=4.999 620 MHz
5. 1차 실험에서
  1. 그래프
    - 온도프로파일
    - 중심주파수 변화
  2. 의견
    1. 온도가 내려간 후, 상승할 때 공진기 표면에 물방울이 맺혀 주파수가 낮아지고, 35도씨 이상 온도에서 모두 증발하였다.
6. 2차 실험에서. 온도를 천천히 변환시켰다.
  1. 그래프-1
    - 온도프로파일
    - 중심주파수 변화
    - 피크이득 변화
    - 대역폭 변화
  2. (더 자세한) 그래프-2,
    - 온도프로파일
    - 중심주파수 변화 상대값
    - 상온 부근(20-35도)에서 중심주파수 변화 상대값.
  3. 의견
    1. 30'C에서 온도계수를 0에 맞췄다.(우연일까? 의도된 설계일까?)
    2. 상온부근에서 온도계수 -0.5ppm/C 이다.
    3. 패키징된 보통 수정 공진기는 -20도씨에서 +80도씨 사이에서 3차원을 보인다. 15도에서 45도 사이는 약 -0.2ppm/'C를 갖는다.
7. 3차 실험에서
  1. 그래프
    - 온도프로파일
    - 중심주파수 변화. 오븐 문을 여니 즉시 고주파쪽으로 이동
    - 피크이득 변화
    - 대역폭 변화
  2. 의견
    1. 물방울이 맺히는 현상이 관찰된다.
8. 의견
  1. 상온-저온-고온 싸이클 실험: 상온-저온 때 물방울에 맺힐 수 있다.
  2. 고객 진공증착기 사용온도를 알 필요가 있다.
    1. 냉각수를 사용하는 약 25도씨 근처에서 사용하는가?
    2. 증착온도가 올라가 평형상태인 90도씨 근처에서 사용하는가?