M-gage

m-gage

1. Tencor M-gage 300, sheet resistance measurement probe, Eddy Current Method
   1. 15/02/24 사진촬영
      • 
      • 

        웨이퍼에서 여러군데 측정하려고 웨이퍼를 들어올린 후 회전 후 다시 내려놓고 측정

      • 

        1-5-9 측정 지점 수로 추측

      • 
      • 
      • 
      • 

        실제 측정. 카트리지와 무관하게 측정

      • 

        라벨

   2. 외관
      • 
      • 
      • 
      • 
      • 
   3. 윗면 아랫면 분리
      • 
   4. 웨이퍼 이송 벨트에서 베어링 - Torrington Company, radial and thrust needle roller bearing을 전문으로 만듬.
      • 
      • 
   5. 윗면
      1. 모터 제어부
         • 
         • 
         • 

           빛 통과 조합으로 파워 OP앰프출력으로 DC 모터를 돌리는 듯

         • 
         • 

           LM759, Power Operational Amplifiers, 325 mA

      2. 웨이퍼 X 모터
         1. 어셈블리
            • 
            • 
            • 
         2. 9지점 엔코더
            • 
            • 

              슬롯을 보면, 3인치 수평 5군데 측정, 수직 4군데 측정, 총 9포인트

            • 

              Z축 올리고 90도 돌리기 위해 하나 더

         3. 모터 escap 22N28, DC motor, 3.8W, -213E 9V 7000rpm 0.62A max / K24 0.17Nm
            1. 참조단어: (escap dc motor back-emf Tachometer Output Signal)
            2. • 
               • 
            3. 모터 및 감속기(Reduction gearboxes escap®using spur gears - 토크가 낮고 작은 마찰을 갖는다.) 반면에 Planetary gearbox는 큰 토크가 필요할 때 사용한다.
               • 
               • 
               • 
            4. 감속기를 통해 역으로 돌리면, 모터에서 출력되는 전압
               • 

                 +전압은 시계방향, -는 반시계방향, 전압크기는 회전속도, 손으로 돌려서 오르락 내리락

               • 

                 리플 전압, 1회전에 9파형(모터 구조가 9-segment), 서서히 증가 전압은 회전속도 증가

         4. 웨이퍼 Z (웨이퍼 X 모터와 동일하다.)
            • 
            • 
            • 
            • 
            • 
         5. 센서부
            1. 전체
               • 
               • 
            2. 센서
               • 
               • 
               • 
            3. OP amp
               • 
               • 
            4. J-FET
               • 
            5. 트랜스포머 ?
               • 
               • 
      3. 밑 몸체
         1. 전체
            • 
         2. 전면 버튼 및 표시부
            1. 전체
               • 
            2. 전면 버튼부
               • 
               • 
               • 

                 C&K Digitast Micro-miniature SPDT keyswitches

            3. 표시부
               • 
               • 
               • 
               • 
               • 
         3. 외부 인터페이스 부
            • 
            • 
            • 

              LM309HP+, National Semiconductor, 5 Voltage regulator

         4. 아날로그 - 디지털 처리부
            • 

              CA3140 : BiMOS Operational Amplifier

            • 

              LH0094CD, Multifunction Converter

            • 
            • 

              릴레이

            • 
            • 

              LM336H-2.5 2.5V voltage reference

            • 
            • 

              허공에서 연결

         5. 전원부
            1. 전체
               • 
            2. EMI 필터
               • 
               • 
               • 
            3. 100/115/220V 전원선택 방법
               • 
            4. 100Vac에서 +-15V 리니어 레귤레이터
               • 

                 100V 전용 레귤레이터 있어...

               • 
            5. 트랜스포머
               • 
               • 
               • 
            6. 릴레이
               • 
               • 

                 GENICOM, 3SAV5004H1

            7. 크리스탈 발진기
               • 
               • 
            8. 리니어 레귤레이터
               • 

                 SCC LAS1508, TO-3, 1.5A Positive Voltage Regulator // SCC LAS1808, TO-3, 1.5A Negative Voltage Regulator

               • 
            9. 트랜지스터
               • 
            10. potentiometer
                • 
                • 
                • 
                • 
                • 

                  그리스

                • 
                • 
                • 
                • 
                • 

                  실링방법

                • 
      4. 디지털 데이터 변환기
         1. 전체
            • 
            • 
            • 
            • 
         2. 슬라이드 스위치 - 쉽게 녹는다. 아마 PC 재질인듯
            • 
            • 
            • 
         3. thumbwheel switch, EECO, STRIPSWITCH, 2700 SERIES
            • 
            • 
            • 
            • 
            • 
         4. X-Tal(CTS, MP061, 6.144MHz, 20pF, Fundamental) 고정 방법 - 양면 테이프로. 48kHz x 128 = 6.144MHz DAT에서 고품질 오디오 샘플링 주파수의 표준주파수. 또는 UART baud rates를 38400까지 사용하기 위해 정수 나눗셈용
            • 
         5. LM340TS, 7805, 1.5A +5V Voltage Regulators
            •