정밀R

전자부품
1. RLC
  1. 저항
    1. 정밀R - 이 페이지
박막저항 기술자료
1. 질화 탄탈(TaN;Tantalum Nitride) 저항체
  1. 기판: Polished AlN(Aluminum Nitride), Ra<0.08um
  2. 저항체: 질소공급하면서 탄탈을 스퍼터링
    1. 기판위에 가장 먼저 입힌다. 약 50오옴/sq
  3. 배선층
    1. 2층: Ti 0.1um
    2. 3층: Pt 0.2um
    3. 4층: Au 2~6um, type3 gold(1:99.7%, 2:99.0%, 3:99.9%)
  4. 성막 후, 공기중에서 450+-10도 핫플레이트에 올려놓고 부풀어오르면 안된다.
  5. 뚜껑/리드선 납땜은 0.5um Pt에 0.04um Au flash 도금면에 73%wt Au/27%wt Sn 솔더 사용
레이저 트리밍 방법
1. selectively laser trimming
2. - resistladder.gif
3. ladder laser trimming
각형 몰딩(트랜스퍼/conformal), 포일 저항
1. Keithley 2612B에서
  1. 750k
    1. 사진
      - 앞면
      - 뒷면
    2. 17/10/28 TCR 측정 데이터 엑셀 파일
      - 오븐 온도 프로파일
      - 온도-저항
      - 온도계수. 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
  2. 30k, 30k, 150k 3개
    - 앞면
    - 뒷면
  3. 파랑 axial lead 타입 - 22.5K 및 40.0K 두 개
2. HP3458A DMM에서
  1. Voltage Reference에서
3. R6551 DMM에서
  - AE(Alpha Electronics 회사 로고) XF 22C80K000
4. Agilent 85093 2port E-Cal, HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)
  - 측정하니 1.000k오옴
5. Agilent 4339B 고저항측정기에서
  1. 5개(100, 1k, 10k, 50k, 100k) 정밀 저항 주변
    - 선택 스위치, Sanyu, reed relay
    - 100, 1k, 10k, 100k 표준 저항 - 제조회사 현재 알 수 없음.
    - 50k, MC-series, XB(X:5ppm, B:0.1%), Alpha Electronics Corporation
conformal coating 제품
1. Dale 고압용 고저항
  1. Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
    1. TR 시리즈 데이터 시트 - 2p
    2. 사진1
    3. 측정 - 17/10/30 측정 엑셀 데이터
      - 4339B 계측기에서 잘 측정됨.
      - 주변에 사람이 어슬렁거리면 측정값이 변동이 발생된다.
2. Takeda Riken TR6150 DC전압/전류 소스에서
  - 정밀저항 199.98k 704.76k
3. Koa
  1. MRP 시리즈
    1. datasheet - 2p
    2. Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
    3. Yokogawa 2533 RMS board에서
    4. Yokogawa 2533 RMS board에서
    5. (마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits),
      1. 17/11/15 +30ppm/'C 나온다.
        
        오븐 온도 프로파일
        
        90오옴 TCR = 0.00237/90 = +26ppm/'C
        
        9오옴 TCR = 0.000279/9 = +31ppm/'C
        
        90/9 저항비의 온도계수는 -5ppm/'C, 0~50도에서 최대 30ppm
      2. 메인보드에서
        
        어레이저항 RA5 GF5183
      3. 레이저 트리밍 방법
        
        double plunge cut, serpentine cut, plunge cut-ladder resistor
      4. 레이저 트리밍 확대
4. AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입
  1. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits)
    1. 메인보드에서
      - 듀얼저항
    2. A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
      1. 보드에서
      2. 외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k
        
        10k-10k 제품과 1.5k-11.5k 제품
        
        저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록
      3. 17/11/13 10k-10k 제품의 온도특성 측정 엑셀 데이터
        
        오븐 온도 프로파일
        
        TCR=-0.9ppm/'C, -0.4ppm/C
        
        저항비 = 0.5ppm/'C, 0~50도 범위에서 30ppm 이내
      4. #1 내부구조
      5. #2 - 발연질산에 넣어 녹여서 관찰. 금속포일을 붙여서 레이저 트리밍.
5. Fluke
  1. 8840A
    - 정밀R Fluke 2385, 655811 voltage divider, precision resistors networks
6. Vishay
  1. Agilent E1301B VXI용 DMM E1326B에서, Conformally Coated Precision Resistor Network
    - Vishay 1346-1
    - 0.156M:9.84M으로 약 1:63비율. 10MΩ도 이런 패턴으로 만들 수 있다.
    - Vishay 157
    - Vishay 1347-1
명확하게 알루미나 기판에
1. Caddock
  1. Caddock 1776 데이터시트 - 2p
  2. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터
    1. 메인보드에서
      - Caddock 1776-105
      - 에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음
      - 1차레이저-보호막-2차레이저
  3. Solartron Schlumberger 7060 DMM 에서
    1. Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers
    2. 외관
      - 레이저 천공
    3. 패턴
      - 이 상태에서 측정하니, 8.989M, 896.8k, 89.82k, 9.964k
    4. 저항체 대충 레이저 트리밍 후, 유리보호막 코팅, 보호막 코팅후 정밀 레이저 트리밍
      - 9M
      - 900k
      - 90k
      - 10k
    5. 900:90:9:1 저항비를 면적비로 측정함
      - 녹색 유리 보호막을 벗기고
      - 저항값과 면적비 계산
      - 9M 저항체 면적비 계산
      - 900k,90k,10k 저항체 면적비 계산
    6. 참고로, 1000:1 전압비 추출을 위해서, Kikusui AVM13 decibel meter 에서
      - 1000:1 voltage divider, 100x10=1k(실측 1.000k), 999x1000=999k(실측 996.4k)
  4. Keithley 195A DMM
    - Caddock model 1776-6411 TF-149
    - Caddock model 1776-14
    - Caddock T912
  5. Keithley 220 전류소스에서
    - R - CADDOCK TF050N-series, 4.85M 0.5% 15ppm
    - 고저항. 위 3개는 나선컷R
    - 뜯기 전 4.851M오옴
    - 수지를 모두 제거한 후, 초록색 유리가 남아있다. 왼쪽 두 줄이 최종 트리밍
    - 초록색 보호막 유리를 제거하면
    - 4.9341M 오옴
    - 알루미나 페이스트 연마제로 연마하니 4.9421M(0.16% 증가) 한 번 더 하니 4.9508M오옴(0.18% 증가)
2. Fluke
  1. 8842A DMM에서
    - 정밀R, 투명 유리창을 사용하여 패키징 완료 후 레이저 트리밍하기 위함인 듯
  2. 8840A
    - 정밀R 1.11M, 222k, 2.245k
Metal Can에서
1. Alpha Electronics(AE 마킹), Ultra Precision Resistor(Hermetically Sealed)으로 HC 또는 HD 시리즈
  1. Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서
    - LM10CH, 96년산
    - 9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산
  2. R6551, 5+1/2 DMM에서
    - YF, Ultra Precision Resistor(Hermetically Sealed), 40K000, 40kohm 정밀R
  3. TR6878 DMM에서
    - ZB Z:TCR 1ppm B:+-0.1%
2. Vishay, ultra-high precision 데이터시트 - 4p
  1. HP3458A DMM에서
    - ultra-high precision
  2. 100오옴 - 백금저항 온도계용
    1. Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer
      - Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리
3. axial
  1. DMM, HP 3456A
    - 30k +-0.02%, TC +-1ppm