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정밀 저항
 
정밀 저항
 
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<li>박막저항 기술자료
 
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<li>selectively laser trimming
 
<li>selectively laser trimming
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<li><gallery>
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image:resistladder.gif
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<li>image:i_resistors_4.jpg
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</gallery>
 
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<li>ladder laser trimming
 
<li>ladder laser trimming
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<li>Keithley 2612B에서
 
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<ol>
 
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<li>17/10/28
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<li>17/10/28  
 
<ol>750k 저항 TCR이 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
 
<ol>750k 저항 TCR이 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
 
</ol>
 
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image:2612b2main_029.jpg
 
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image:2612b2main_030.jpg
 
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image:2612b2main_033.jpg|22.5K 40.0K
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</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
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<li>Advantest R6551 5+1/2 DMM
 
<li>Advantest R6551 5+1/2 DMM
 
<gallery>
 
<gallery>
image:r6551_009.jpg|80k오옴
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image:r6551_009.jpg | 80k오옴
 
</gallery>
 
</gallery>
 
<li>HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)
 
<li>HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)
 
<gallery>
 
<gallery>
image:hp85097_60002_009.jpg|측정하니 1.000k오옴
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image:hp85097_60002_009.jpg | 측정하니 1.000k오옴
 
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</ol>
 
</ol>
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<li>Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
 
<li>Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
 
<ol>
 
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<li>- 2p
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<li> - 2p
 
<li>사진1
 
<li>사진1
 
<gallery>
 
<gallery>
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image:r_hv01_003.jpg
 
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</gallery>
 
</gallery>
<li>측정 - 17/10/30계측기에 문제가 없다.
+
<li>측정 - 17/10/30 계측기에 문제가 없다.
 
<gallery>
 
<gallery>
 
image:4339b02_001.jpg
 
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<li>MRP 시리즈
 
<li>MRP 시리즈
 
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<li>- 2p
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<li> - 2p
 
<li>Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
 
<li>Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
 
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<gallery>
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<li>(마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits), 메인보드에서
 
<li>(마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits), 메인보드에서
 
<ol>
 
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<li>17/11/15+30ppm/'C 나온다.
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<li>17/11/15 +30ppm/'C 나온다.
 
<li>사진
 
<li>사진
 
<gallery>
 
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image:voac7513_03_013.jpg|어레이저항 RA5 GF5183
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image:voac7513_03_013.jpg | 어레이저항 RA5 GF5183
 
image:r_precision02_001.jpg
 
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image:r_precision02_002.jpg
 
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<li>메인보드에서
 
<li>메인보드에서
 
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image:voac7513_03_017.jpg|듀얼저항
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image:voac7513_03_017.jpg | 듀얼저항
 
</gallery>
 
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<li>A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
 
<li>A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
 
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<li>17/11/13
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<li>17/11/13  
 
<li>보드에서
 
<li>보드에서
 
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<gallery>
 
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image:voac7513_04_003.jpg
 
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image:voac7513_04_004.jpg|저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록
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image:voac7513_04_004.jpg | 저항비로 전압이 결정되므로, 온도계수 때문에 같은 온도를 갖도록
 
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<li>#1 내부구조
 
<li>#1 내부구조
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<li>Caddock
 
<li>Caddock
 
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 +
<li>Caddock 1776 데이터시트 - 2p
 
<li>Iwatsu VOAC 7513 멀티미터
 
<li>Iwatsu VOAC 7513 멀티미터
 
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<li>메인보드에서
 
<li>메인보드에서
 
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image:voac7513_03_004.jpg
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image:voac7513_03_004.jpg | Caddock 1776-105
image:voac7513_03_004_001.jpg|에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음
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image:voac7513_03_004_001.jpg | 에폭시로 알루미나 뚜껑을 덮음
image:voac7513_03_004_002.jpg|1차레이저-보호막-2차레이저
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image:voac7513_03_004_002.jpg | 1차레이저-보호막-2차레이저
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 +
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 +
<li>Solartron Schlumberger 7060 DMM에서
 +
<ol>
 +
<li>Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers
 +
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 +
image:7060a01_055.jpg
 +
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 +
<li>외관
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image:7060a01_055_001.jpg
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image:7060a01_055_002.jpg | 레이저 천공
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 +
<li>패턴
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 +
image:7060a01_055_003.jpg | 이 상태에서 측정하니, 8.98M, 897k, 89.8k, 9.97k
 +
image:7060a01_055_004.jpg
 +
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 +
<li>저항체 대충 레이저 트리밍 후, 유리보호막 코팅, 보호막 코팅후 정밀 레이저 트리밍
 +
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 +
image:7060a01_055_008.jpg | 9M
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image:7060a01_055_007.jpg | 900k
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image:7060a01_055_006.jpg | 90k
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image:7060a01_055_005.jpg | 10k
 
</gallery>
 
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</ol>
 
</ol>
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<li>Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서
 
<li>Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서
 
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image:tr8652_01_019.jpg|LM10CH, 96년산
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image:tr8652_01_019.jpg | LM10CH, 96년산
image:tr8652_01_020.jpg|9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산
+
image:tr8652_01_020.jpg | 9.0000k 1.0000k 오옴 저항, Alpha 회사 98년산
 
</gallery>
 
</gallery>
 
<li>Advantest R6551 5+1/2 DMM
 
<li>Advantest R6551 5+1/2 DMM
 
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image:r6551_007.jpg|, Ultra Precision Resistor (Hermetically Sealed), 40k-ohm,
+
image:r6551_007.jpg | , Ultra Precision Resistor (Hermetically Sealed), 40k-ohm,
 
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</ol>
<li>Vishay,
+
<li>Vishay,  
 
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<li>HP3458A DMM에서
 
<li>HP3458A DMM에서
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image:3458a01_014.jpg
 
image:3458a01_014.jpg
 
image:3458a01_015.jpg
 
image:3458a01_015.jpg
image:3458a01_016.jpg|ultra-high precision
+
image:3458a01_016.jpg | ultra-high precision
 
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<li>100오옴 - 백금저항 온도계용
 
<li>100오옴 - 백금저항 온도계용
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<li>Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer
 
<li>Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer
 
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image:guildline9540_019.jpg|Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리
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image:guildline9540_019.jpg | Vishay HP202C 108ohm 0.1% 1ppm/'C 2만원짜리
 
image:guildline9540_027.png
 
image:guildline9540_027.png
 
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 +
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 +
<li>axial
 +
<ol>
 +
<li>DMM, HP 3456A
 +
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 +
image:3456a01_052.jpg | 30k +-0.02%, TC +-1ppm
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</ol>
 
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image:ad574a_006.jpg
 
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image:ad574a_007.jpg
 
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image:ad574a_008.jpg|레이저 트리밍
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image:ad574a_008.jpg | 레이저 트리밍
 
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2019년 11월 2일 (토) 17:58 판

정밀 저항

  1. 링크
    1. 전자부품
      1. 나선컷R
  2. 박막저항 기술자료
    1. 질화 탄탈(TaN;Tantalum Nitride) 저항체
      1. 기판: Polished AlN(Aluminum Nitride), Ra<0.08um
      2. 저항체: 질소공급하면서 탄탈을 스퍼터링
        1. 기판위에 가장 먼저 입힌다. 약 50오옴/sq
      3. 배선층
        1. 2층: Ti 0.1um
        2. 3층: Pt 0.2um
        3. 4층: Au 2~6um, type3 gold(1:99.7%, 2:99.0%, 3:99.9%)
      4. 성막 후, 공기중에서 450+-10도 핫플레이트에 올려놓고 부풀어오르면 안된다.
      5. 뚜껑/리드선 납땜은 0.5um Pt에 0.04um Au flash 도금면에 73%wt Au/27%wt Sn 솔더 사용
  3. 레이저 트리밍 방법
    1. selectively laser trimming
    2. ladder laser trimming
  4. 각형 몰딩(트랜스퍼/conformal), 포일 저항
    1. Keithley 2612B에서
      1. 17/10/28
          750k 저항 TCR이 0~50도 사이에서 +-2ppm 이내이다.
      2. 사진
    2. HP3458A DMM에서
      1. Voltage Reference에서
    3. Advantest R6551 5+1/2 DMM
    4. HP 85097A Electronic Calibration System, 5V parallel interface에 사용됨. (왜 이런 정밀저항을 사용하지?)
  5. conformal coating 제품
    1. Dale 고압용 고저항
      1. Keithley 2612B에서, 형명 tr10f1g00gke3 - TR10F(TR 시리즈-thick film planar, 10F:1W), 1G00 (1.0G오옴) G(+-2%) K(100ppm) E3(package)
        1. - 2p
        2. 사진1
        3. 측정 - 17/10/30 계측기에 문제가 없다.
    2. Takeda Riken(Advantest) TR-6150 - DC Voltage/Current Source
    3. Koa
      1. MRP 시리즈
        1. - 2p
        2. Iwatsu VOAC 7513 DMM, AC 보드에서
        3. Yokogawa 2533 RMS board에서
        4. Yokogawa 2533 RMS board에서
        5. (마킹이 흐려서, 이 시리즈로 추측)Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits), 메인보드에서
          1. 17/11/15 +30ppm/'C 나온다.
          2. 사진
    4. AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입
      1. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터(409999 5+1/2digits)
        1. 메인보드에서
        2. A/D컨버터 보드, voltaga reference에서
          1. 17/11/13
          2. 보드에서
          3. 외관 (Conformally Coated 형태), AE(Alpha Electronics 회사 로고) SLD 타입, X tcr(5ppm), D tol.(0.5%) 1.5k//11.5k
          4. #1 내부구조
          5. #2 - 발연질산에 넣어 녹여서 관찰. 금속포일을 붙여서 레이저 트리밍.
  6. 명확하게 알루미나 기판에
    1. Caddock
      1. Caddock 1776 데이터시트 - 2p
      2. Iwatsu VOAC 7513 멀티미터
        1. 메인보드에서
      3. Solartron Schlumberger 7060 DMM에서
        1. Caddock 1776-1052, Type 1776 Precision Decade Resistor Voltage Dividers
        2. 외관
        3. 패턴
        4. 저항체 대충 레이저 트리밍 후, 유리보호막 코팅, 보호막 코팅후 정밀 레이저 트리밍
      4. Keithley 195A DMM
    2. DMM Fluke 8842에서,
  7. Metal Can에서
    1. Alpha Electronics(AE 마킹)
      1. Advantest TR8652 Electrometer, voltage reference에서
      2. Advantest R6551 5+1/2 DMM
    2. Vishay,
      1. HP3458A DMM에서
      2. 100오옴 - 백금저항 온도계용
        1. Guildline 9540 Digital Platinum Resistance Thermometer
    3. axial
      1. DMM, HP 3456A
  8. 반도체 IC 에서
    1. A/D Converter 에서
      1. multi-chip
        1. Yokogawa LR4110 펜레코더 입력보드 A/D 컨버터 칩에서
      2. 실리콘 one-chip에서
        1. AD574A, Complete 12-Bit A/D Converter with Reference and Clock, 35us Maximum Conversion Time
          1. 외관
          2. 내부