400MHz RF SAW 필터

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1. 웨이퍼: 36YX LT(White LT로 추정, 현재의 Pyrofree LT에 비해 약 1만배 비저항이 높을 것으로 추정)
2. 다이크기: 2.0x1.5mm
3. L: 285um, λ=9.714um 1/2λ=4.857, t=0.2um, N=51, DF=0.5라면 전극폭=2.4um
관련 자료 출처
S422PA
1. 기본 패턴 형태
  1. 외관
    - 7:1997년 N:11월 제작
  2. 다이본딩 와이어본딩
    - UV 접착제
    - 알루미늄 웨지 본딩
  3. 다이 패턴
    - 다이싱선(접지선)과 만나는 전극이 없다.
    - 2742x1828 해상도
    - IDT
  4. TEG중에서 해상도 챠트
    - 해상도챠트
2. SAW 패턴이 더러우면
3. 절연저항(IR;Insulation resistance)
  1. 참고: 이론값은 IDT 저항에서 설명한다.
  2. (High Resistance Meter) 고저항측정기로 측정한다.
  3. 측정 엑셀파일
    1. 인가전압에 따른 전류 및 저항 그래프
      - 3~4V에서 다이폴이 도는 듯
      - 절연파괴는 200V 이상에서
    2. 의견, 도메인 스위칭을 하려면 LT인 경우 20kV/mm(=20MV/m) 이상 전압이 필요하다.
      1. 다이폴이 도는 전계는 4V/2.4um = 170kV/m
      2. 절연파괴 전계는 250V/2.4um = 100MV/m
    3. 절연파괴 후 사진
      - 전압을 먼저 인가했던, 포트-1
    4. 먼저 측정한 포트-1이 절연파괴가 되어, 이물질 파편들이 뿌려져 port-2 측정에 영향을 주었을 수 있다.
    5. 샘플 #2 - 재현
      1. 그래프
      2. 먼저 실험한 포트에 의해 나중에 실험하는 포트가 영향을 크게 받지 않는다.
    6. 샘플 #3 - 측정시간을 32배 더 길게 소요(계측기에서 평균을 32회 실시)
      1. 그래프
      2. 측정시간이 1분 이내이든, 25분 소요되든 큰 차이가 없다.
    7. 샘플 #4 - 역전압
      1. 그래프
      2. 패키지와 신호선 포트간 전압이 반대이니, 다른 특성을 보인다.
    8. 샘플 #5 - 순전압,역전압 (전압 방향에 따른 재현성 시험)
      1. 그래프
      2. 인가 전압 방향에 따라 확실히 다른 경향을 보인다.
  4. 100V를 12시간 이상 인가하면, 측정 엑셀파일
    1. 주파수특성 - 인가전후로 차이점이 없다.(없는 것 같다.)
    2. 시험 후 패턴
      - 위쪽전극이 +100V이다. 가늘게 보인다.
      - 이 사진으로 측정한 주기λ는 9.72um(이론 9.714um)이다.
내전압(DC permissive voltage)
1. 조사한다.
최대전력
1. 방법
  1. 신호발생기 또는 네트워크분석기로 주파수를 발생시키고
  2. RF 전력 앰프로 전력을 증폭하고
  3. 아래 3가지 중 하나로 검출한다.
정전용량
1. 참고: 이론값은 IDT C에서 설명한다.
2. 정전용량과 중심주파수 상관관계 분석
온도계수
1. 참조: Xtal 온도특성
2. 네트워크분석기와 Espec SU-222을 사용한다.
정전기 파괴
1. 참고: 이론은 SAW필터에서 초전성에서 설명한다.
2. 실험 방법
매칭하는 법
1. SAW측정치구에 제품을 꼽고 네트워크분석기를 사용한다.