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image:da60d01_012.jpg | 다시 정교하게 잘라서 조립하니 소음이 확실히 줄어들었음. | image:da60d01_012.jpg | 다시 정교하게 잘라서 조립하니 소음이 확실히 줄어들었음. | ||
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+ | <li>인장스프링 50mm @3,000원 x 4ea 구입하여 | ||
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image:da60d02_002.jpg | outlet(공기가 배출되므로 소음기를 꼽는다.), inlet | image:da60d02_002.jpg | outlet(공기가 배출되므로 소음기를 꼽는다.), inlet | ||
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− | image:da60d02_011.jpg | + | image:da60d02_011.jpg | 금속 마개에 방향성이 있다. 움푹파인 구멍이 좌우 배치이어야 한다. (위 뚜껑에 나사 머리가 있기 때문에) |
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image:da60d02_013.jpg | 왕복운동으로 찢어지므로 소모품이다. | image:da60d02_013.jpg | 왕복운동으로 찢어지므로 소모품이다. | ||
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image:da60d02_020.jpg | 커넥팅 로드 안쪽에 스크류 2개가 있다. (총 3개 고정 스크류를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.) | image:da60d02_020.jpg | 커넥팅 로드 안쪽에 스크류 2개가 있다. (총 3개 고정 스크류를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.) | ||
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+ | <li>가열해야 뺄 수 있음. - 한 쪽은 빼지 못함. | ||
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+ | image:da60d02_020.jpg | 커넥팅 로드 안쪽에 스크류 2개가 있다. (총 3개 고정 스크류를 펌프 밑에서 실링을 찢고 풀어야 한다.) | ||
+ | image:da60d02_029.jpg | 가스 토치로 가열한 후 | ||
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<li>단상 유도 모터 | <li>단상 유도 모터 |
2022년 10월 31일 (월) 09:43 판
진공펌프 DA-60D
- 링크
- ULVAC DA-60D - 투고기술에서는 프루버에서 진공척(웨이퍼 고정용)을 위해 사용한다.
- - 36p, 14/01/21 100V 얻음
- 1호기 - S/N 98612
- 2014/01/12 100V용
- 2014/01/26 분해, 청소, 수리
- 분해 시작
- 관이 NO에 연결되어 있다. OFF면 다이아프램이 있는 공간은 외부 공기와 통하고 ON이면 닫겠다는 뜻인데… 왜? 다이아프램에 진공에 계속 걸려 있으면 휘어 있는 상태이므로 스트레스를 받기 때문인가?
솔레노이드 valve와 연결되는 orifice 내경 Ø1.0관
- 다이아프램
- 청소
- 분해 시작
- 2014/02/03 다이아프램 절단시 외경과 내경 중심을 잘 맞추지 않고 절단 후, 조립하면, 운전시 커넥팅로드 진동이 심하다.
- 2014/05/07 진공펌프 진동소음을 막기 위해서 허공에 띄우다.
- 구입품
- 인장스프링 50mm @3,000원 x 4ea 구입하여
- 턴버클 3/16인치 @2,100원 x 4ea 구입하여
- 사진
- 구입품
- 2020/01/25 2호기에서 뜯어낸 Diaphragm 을 여기에 장착함.
- 기존 폴리우레탄 판은 찢어지지 않고 그대로 임. 멀쩡하므로 보관함.
- 2014/01/12 100V용
- 2호기 - S/N 98629
- 20/01/22 분해하여 Diaphragm만 보관하고 나머지는 모두 버림
- 동작 원리 동영상
- ULVAC DA-60D, 72L/min, 3.32kPa, 7~40'C, single phase, 200W, 4pole capacitor run
- 토글스위치와 TCO스위치 가 상단에 배치되어 있다.
- 체크 밸브
솔레노이드로 가는 구멍
- rubber diaphragm
- 측면
AC팬 NMB 4710PS-10T-B30 100VAC
- 좌우에 있는 eccenter sleeve(편심슬리브) 및 connecting rod
- 가열해야 뺄 수 있음. - 한 쪽은 빼지 못함.
- 단상 유도 모터