Tencor m-gage 300 표면저항 측정기

Tencor m-gage 300 표면저항 측정기

1. 전자부품
   1. 계측기-측정기
      1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
         1. Tencor m-gage 300 표면저항 측정기 - 이 페이지
   2. 참고
      1. 금속검출
2. Tencor m-gage 300 표면저항 측정기 (텐코 엠게이지 300)
   1. 기술
      1. sheet resistance measurement probe 중에서, Eddy Current Method 로 측정한다.
   2. 15/02/24 사진촬영
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        웨이퍼에서 여러군데 측정하려고 웨이퍼를 들어올린 후 회전 후 다시 내려놓고 측정

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        1-5-9 측정 지점 수로 추측

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        실제 측정. 카트리지와 무관하게 측정

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        Y2K 라벨

   3. 외관
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   4. 윗면 아랫면 분리
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   5. 웨이퍼 이송 벨트에서 베어링 - Torrington Company, radial and thrust needle roller bearing을 전문으로 만듬.
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   6. 윗면
      1. 모터 제어부
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           빛 통과 조합으로 파워 OP앰프출력으로 DC 모터를 돌리는 듯

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           LM759, Power Operational Amplifiers, 325 mA

      2. 웨이퍼 X 모터
         1. 어셈블리
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         2. 9지점 엔코더
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              슬롯을 보면, 3인치 수평 5군데 측정, 수직 4군데 측정, 총 9포인트

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              Z축 올리고 90도 돌리기 위해 하나 더

         3. 모터 escap 22N28, DC motor, 3.8W, -213E 9V 7000rpm 0.62A max / K24 0.17Nm
            1. 참조단어: (escap dc motor back-emf Tachometer Output Signal)
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            3. 모터 및 감속기(Reduction gearboxes escap®using spur gears - 토크가 낮고 작은 마찰을 갖는다.) 반면에 Planetary gearbox는 큰 토크가 필요할 때 사용한다.
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            4. 감속기를 통해 역으로 돌리면, 모터에서 출력되는 전압
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                 +전압은 시계방향, -는 반시계방향, 전압크기는 회전속도, 손으로 돌려서 오르락 내리락

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                 리플 전압, 1회전에 9파형(모터 구조가 9-segment), 서서히 증가 전압은 회전속도 증가

         4. 웨이퍼 Z (웨이퍼 X 모터와 동일하다.)
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         5. 센서부
            1. 전체
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            2. 센서 헤드
               1. 외관
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               2. 전면 마개 벗기고
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               3. 내부 코일
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               4. 권선 관찰
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                    굵은선 10회전

                  • 

                    가는선 10회전

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                    리쯔 전선

            3. OP amp
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            4. J-FET
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            5. 트랜스포머 ?
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      3. 밑 몸체
         1. 전체
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         2. 전면 버튼 및 표시부
            1. 전체
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            2. 전면 버튼부
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                 C&K Digitast Micro-miniature SPDT keyswitches

            3. 표시부
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         3. 외부 인터페이스 부
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              LM309HP+, National Semiconductor, 5 Voltage regulator

         4. 아날로그 - 디지털 처리부
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              CA3140 : BiMOS Operational Amplifier

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              LH0094CD, Multifunction Converter

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              릴레이

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              LM336H-2.5 2.5V voltage reference

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              절연저항을 높이기 위해서, 고의로 허공에서 연결

         5. 전원부
            1. 전체
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            2. AC전원용 노이즈필터 단품
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            3. AC트랜스를 위한 100/115/220V 전원선택 방법
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            4. 100Vac에서 +-15V 리니어 레귤레이터
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                 100V 전용 레귤레이터가 있어 220V 변경이 어렵다.

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            5. AC트랜스
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                 LASELCO PACIFIC

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                 E, I 모양, 바깥은 별도의 모양 - 풀칠 때문에 분해 거의 불가

            6. 릴레이 Genicom Corporation -> CII Technologies 1997년 --> Tyco Electronics Corp. 2012년 --> TE Connectivity로 이름 변경
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                 1A L로드 2A R로드, 115VAC 28VDC, 700오옴 코일

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                 GENICOM Corp, 3SAV5004H1 / 3SAV1001A1

            7. 크리스탈 유닛, 금속 패키지 수정 공진기
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                 Statek, SX-1H-100kHz(9452), TO-5

            8. 리니어 레귤레이터
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                 SCC LAS1508, TO-3, 1.5A Positive Voltage Regulator // SCC LAS1808, TO-3, 1.5A Negative Voltage Regulator

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            9. 덧붙인 Tr
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            10. 직진이동 다회전 가변 저항기 potentiometer
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                  그리스

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                  실링방법

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      4. 디지털 데이터 변환기
         1. 전체
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         2. 슬라이드 스위치 - 쉽게 녹는다. 아마 PC 재질인듯
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         3. 코드 스위치에서, thumbwheel switch, EECO, STRIPSWITCH, 2700 SERIES
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         4. 금속 패키지 수정 공진기 (CTS, MP061, 6.144MHz, 20pF, Fundamental) 고정 방법 - 양면 테이프로. 48kHz x 128 = 6.144MHz DAT에서 고품질 오디오 샘플링 주파수의 표준주파수. 또는 UART baud rates를 38400까지 사용하기 위해 정수 나눗셈용
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         5. LM340TS, 7805, 1.5A +5V 리니어 레귤레이터
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