레이저변위

전자부품
1. 센서
  1. 거리
    1. 레이저변위 - 이 페이지
기술문서
1. Keyence
  1. laser displacement sensor, technology book, 2008 - 14p
  2. scanning laser confocal displacement meter, 사용자 설명서 - 176p
장치
1. Laser Height Measurement SWB-CB69 - M.G 엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/
  2. 높이 측정기 간단 설명서 - 2p
  3. 표시 및 제어신호 출력장치로로 오토닉스 MT4W-DA-40 패널 전류계 사용함.
  4. 사용센서 CD22-100AM12: 100+-50mm,4-20mA, M12 connector, class 1 Laser
  5. 측정 시스템 사진
    - 사용레이저센서 CD22-100AM12
Keyence
1. LK-G10/15 및 G30 시리즈 장착방법
Optex FA Co. Ltd. 회사의 CD22 시리즈
1. 회사 홈 페이지 https://www.optex-fa.com/
2. 기술자료
  1. 취급설명서 - 4p
  2. 데이터시트 - 5p
    1. 센서에서 멀리 있을수록 +수치가 높게 나온다.
    2. Diffuse 타입이다. 그러므로 정반사를 일으키는 거울면 측정에는 문제가 있다.
      - 길이방향으로 기울어져 장착하면 측정높이가 달라진다.
    3. 3가지 모델, CD22-15: 15+-5mm 1um, CD22-35: 35+-15mm 6um, CD22-100: 100+-50mm 20um
    4. 3가지 출력, V: 0~10V, A: 4~20mA(max 300오옴), 485: RS-485
    5. spot size, 0.5x0.7mm, 0.45x0.8mm, 0.6x0.7mm
    6. 샘플링 주기: 0.5ms, 1ms, 2ms, 4ms, auto
    7. 온도계수: +-0.02%/'C of F.S., +-0.02%/'C of F.S., +-0.05%/'C of F.S.
    8. 650nm red laser diode, 4자리표시
3. CD22-100AM12, 100mm 거리에서 +-50mm 범위(즉 50~150mm)에서 반복정밀도 20um 측정할 수 있다. A:전류 4-20mA(최대 300오옴부하) 출력, M12: 커넥터, 전원전압 12~24V
  1. 제품 사진
  2. 프루버에 설치하여 척 기울기를 평가함.
    1. 사진
      - 150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)
    2. 평가 결과-1
      - 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
      - 수평잡은 후
    3. 평가 결과-2, 두 측정결과 동일 위치 경향성이 있기 때문에 충분히 정확히 측정되었다고 말 할 수 있다.
      - 출근 첫 측정 - 높낮이 차이가 발생되었다.
      - 두번째 측정 - 가열되어 높낮이 차이가 없어졌다.
    4. 사용소감
      1. 50um 이내 평탄도가 필요한 경우에는 반복정밀도 20um 이 모델로 측정 가능하다.
      2. 더 높은 정밀도를 위해서는, 반복정밀도 1um인 CD22-15 모델이 필요하다.