레이저변위

전자부품
1. 거리센서
  1. 레이저변위 - 이 페이지
2. 참고
  1. 레이저
기술문서
1. Keyence
  1. laser displacement sensor, technology book, 2008 - 14p
  2. scanning laser confocal displacement meter, 사용자 설명서 - 176p
장치
1. Laser Height Measurement SWB-CB69 - M.G 엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/
  2. 높이 측정기 간단 설명서 - 2p
  3. 표시 및 제어신호 출력장치로로 오토닉스 MT4W-DA-40 패널 전류계 사용함.
  4. 사용센서 CD22-100AM12: 100+-50mm,4-20mA, M12 connector, class 1 Laser
  5. 측정 시스템 사진
    - 사용레이저센서 CD22-100AM12
2. 니콘넥시브 VM-150N 기구부에서
  1. 레이저변위 측정방식의 Z 센서
    - 수광부와 발광부가 각각 45도로 설치되어 있다.
    - 왼쪽 수광부, 오른쪽 발광부
    - 오른쪽 레이저 발광부는 빛을 막을 수 있다.
Keyence
1. LK-G10/15 및 G30 시리즈 장착방법
2. CL-3000 시리즈, coaxial laser, multi-color confocal displacement sensor
  1. 카탈로그 - 24p
    1. 유리, 플라스틱, 필름, 접착제 등에서 표면 반사. 필름은 양면 반사를 통해 15um 두께부터 측정가능하다.
    2. LPD(Laser Phosphor Display) light source - 여러 개의 자외선 레이저를 형광체 줄무늬로 코팅된 스크린에 투사하여 색상을 얻는다.
    3. Red는 가까운 곳에서 반사, Blue는 가장 먼곳에서 반사를 일으키게 만든 후, 분광기 spectrometer로 가장 색상을 분석하여 반사된 거리를 계산한다.
    4. 180도 정반사 성질을 사용한다.
  2. 센서 CL-L015 Ultra High-Accuracy Model
    1. 측정범위 15+-1.3mm 즉, 15mm 떨어진 곳에서 +-1.3mm 범위를 측정할 수 있다. 선형성 0.5um
    2. spot 직경은 0.3mm
  3. 유휴 장치 사진 2025/07/29
    - 콘트롤러 CL-3000, 광학유닛 CL-L015N
    - 센서헤드 CL-L015
Optex FA Co. Ltd. 회사의 CD22 시리즈
1. 회사 홈 페이지 https://www.optex-fa.com/
2. 기술자료
  1. 취급설명서 - 4p
  2. 데이터시트 - 5p
    1. 센서에서 멀리 있을수록 +수치가 높게 나온다.
    2. Diffuse 타입이다. 그러므로 정반사를 일으키는 거울면 측정에는 문제가 있다.
      - 길이방향으로 기울어져 장착하면 측정높이가 달라진다.
    3. 3가지 모델, CD22-15: 15+-5mm 1um, CD22-35: 35+-15mm 6um, CD22-100: 100+-50mm 20um
    4. 3가지 출력, V: 0~10V, A: 4~20mA(max 300오옴), 485: RS-485
    5. spot size, 0.5x0.7mm, 0.45x0.8mm, 0.6x0.7mm
    6. 샘플링 주기: 0.5ms, 1ms, 2ms, 4ms, auto
    7. 온도계수: +-0.02%/'C of F.S., +-0.02%/'C of F.S., +-0.05%/'C of F.S.
    8. 650nm red laser diode, 4자리표시
3. CD22-100AM12, 100mm 거리에서 +-50mm 범위(즉 50~150mm)에서 반복정밀도 20um 측정할 수 있다. A:전류 4-20mA(최대 300오옴부하) 출력, M12: 커넥터, 전원전압 12~24V
  1. 제품 사진
  2. 프루버에 설치하여 척 기울기를 평가함.
    1. 사진
      - 150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)
    2. 평가 결과-1
      - 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
      - 수평잡은 후
    3. 평가 결과-2, 두 측정결과 동일 위치 경향성이 있기 때문에 충분히 정확히 측정되었다고 말 할 수 있다.
      - 출근 첫 측정 - 높낮이 차이가 발생되었다.
      - 두번째 측정 - 가열되어 높낮이 차이가 없어졌다.
    4. 사용소감
      1. 50um 이내 평탄도가 필요한 경우에는 반복정밀도 20um 이 모델로 측정 가능하다.
      2. 더 높은 정밀도를 위해서는, 반복정밀도 1um인 CD22-15 모델이 필요하다.