압력센서

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inductive proximity sensor
1. 에어리크
2. 세탁기용 수위센서
트랜스듀서 - 신호처리 IC가 없다. 그래서 순수한 저항값만 측정할 수 있다.
1. COPAL(Nidec) P-3000S-102G-10, 0~98kPa(0~1kgf/cm2) analog output(Resistance)
  1. 규격서 - 3p
  2. 무사시 Sigma-MX8000SM2
    1. 외관
    2. 패키지를 분해
    3. 알루미나 기판
      - 센서를 조립한 후, 브리지 저항값을 맞추기 위해 레이저 트리밍을 했을 것이다.
      - 센서 뒷면 구멍은 공기가 통해야 한다.
    4. 헤더,캡 용접부위를 잘라서 내부 관찰
      - 말랑말랑한 실리콘 수지가 찢어졌다.
      - 본딩된 와이어가 떨어지지 않도록 도전성 접착제를 핀 위에 바른 듯
    5. 매우 말랑말랑한 실리콘 수지가 도포된 상태에서 위에서 관찰하면
    6. 센서 다이 접착 방법. 덜 말랑말랑한 실리콘 접착제로 다이본딩하였다.
    7. 패턴
      - COPAL Electronics P007 6.0
      - 정렬키 align key
      - TEG
      - 저항선 4개 중 가운데 2개를 찍은 사진
    8. 다이본딩
      - 다이접착제는 쉽게 떨어진다.
    9. 다이
      - 초음파 세척기에서 깨진다.
      - 뒷면 관찰
Si-MEMS 센서
1. 제조회사별 인터넷 공개 자료
2. 보유한 제품에 대한 회사별 규격서
  1. Bosch
    1. - 57p 대기압센서 상대정확도 +-8Pa(0.66m), 절대정확도 +-50Pa
    2. - 56p, 습도센서+대기압센서, I2C/SPI, 3.3V, 상대정확도 +-12Pa, 절대정확도 +-100Pa
    3. - 28p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 300~1100hPa(-500~+9000m 고도)
    4. - 27p, 대기압센서, I2C, 3.3V, 상대정확도 +-20Pa, 절대정확도 +-100Pa
  2. CFSensor
    1. - 8p, 신호처리 회로 없이 단지 4개의 저항체만 있다.
  3. Honeywell
    1. - 7p
    2. - 20p 디지털, 튜브 끼울 수 있도록 포트가 있다.
  4. KEC
    1. 10/11/08 - 18p
  5. NXP
    1. 압력센서
      1. - 12p, 0~10kPa(=100cm 물높이) 아날로그 출력
      2. - 26p, 0~3.92kPa(=40cm 물높이)
      3. - 13p, -2~+2kPa
      4. - 20p, 0~100kPa(진공용), 아날로그 출력
    2. 기압센서
      1. - 8p, 50~115kPa, SPI
      2. - 24p, 50~115kPa, I2C
      3. 고도계;Altimeter - 44p, 30cm 고도 분해능, I2C
  6. ,
  7. Sensirion
    1. - 9p, differential, -20~500Pa (2inch H2O), 0.25~4.0V output
    2. - 11p, differential, -500~500Pa (2inch H2O), I2C digital
  8. 1. PSG010S - differential, 40kPa
  9. TE Connectivity MS5803-14BA
    1. - 19p, 14 bar(다이빙용), SPI/I2C, 24-bit ADC
3. 기압측정용
  1. 대기압용
    1. Bosch BMP085
    2. Bosch BMP180
      1. 제품1
      2. 제품2, 3.3V용이므로 5V를 사용할 수 있도록 level shifter를 사용한 보드
    3. Bosch BME280
      - 압력/온도 센서
      - 압력/온도+습도 센서
    4. Freescale, MPL115A1
      - SEN-09721 SparkFun Barometric Pressure Sensor Breakout
      - M1PR, Freescale MPL115A1 Barometer, SPI digital, 50~115kPa
    5. Freescale, MPL115A2
      - adafruit 992, I2C
    6. Freescale, MPL3115A2, 고도계
      - SEN-11084 SparkFun Barometric Pressure Sensor Breakout
      - M3PR, Freescale MPL3115A2 Altimeter, I2C digital, 24-bit ADC, 분해능 높이 30cm
  2. 수중 다이버용
    1. SparkFun SEN-12909 브레이크아웃 보드(에 있는 TE Connectivity MS5803-14BA)
      - 구입가 67,200원
4. 튜브 연결용
  1. CFSensor
    - 중국 CFSensor 회사제품을 씨링크테크(C-Linktech)가 공급(?)하는, XGZP-series, XGZP-010GS 0~10kPa
  2. KEC - 2011 찍은 사진(?)을 2017/04 받음
  3. NXP
    1. MPX5100AP (Absolute;센서 다이 한쪽이 진공이다.)
      - 3개 보유
    2. MPX5100GP (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)
      - 3개 보유
    3. MPVX5100GC7U (Gauge;센서 다이 한쪽이 뚫려있어 대기압 기준으로 측정된다.)
      - 2개 보유
    4. MPX5100DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.)
      - 5개 보유
    5. MPXV5004DP(0~3.92kPa(=40cm 물높이)용)
      1. 제품-1
        
        실린더가 원뿔이어서 무게로 측정하면 안된다.
        
        그래서 자를 부착해서 눈으로 읽음
      2. 제품-2
        
        리드를 수직으로 펴 소켓에 꼽을 수 있도록하면 교환하면서 실험할 수 있음.
      3. MCU개발도구에서
        
        MPXV5004DP가 꼽혀있다.
      4. tool box 소프트웨어로
    6. MP3V5010DP(0~10kPa(=100cm 물높이)),
    7. MPXV7002DP (differential;센서 다이 양쪽을 튜브를 연결할 수 있다. Gauge와 같다.) -2~+2kPa용
      - MPXV7002DP
      - CJMCU-36, APM2.5 Breakout Board
  4. Sensirion
    1. SDP1000-L, -20~+500Pa(~5cm water) ~0.1% F.S. 정확도
      - 1개 보유, 77,000원
    2. SDP610-500Pa, -500~+500Pa(~5cm water) I2C 출력
      - 1개 보유
  5. Sensormate, S'mate, 33A 시리즈 샘플
    - +1기압용, -1기압용
    - 33A-150G-2210 1기압용 gauge
  6. Simst PSG010S - 5V 구동 0~40kPa digital pressure sensor
    1. 구입품
      - 5개 구입
      - HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection
    2. HX710B 24-Bit ADC with Voltage Difference Detection
      1. - 8p
      2. - 1p
    3. 압력센서 마킹
      - Simst PSG010S
    4. 다이본딩 및 와이어본딩
      - 덜 말랑말랑한 접착제
      - 접착 강도가 약해 다이를 뜯을 수 있다.
    5. MEMS 다이
      - MMC
  7. 샘플 - 제조회사 알 수 없음
5. 세트에서 분리하여 분해
  1. 더 다양한 사진은 압력계에서
    1. SMC, 진공계 ZSE30A-01-N에서, Fujikura FGM-6로 추정
      - 두꺼운 유리에 구멍을 뚫어, 한쪽은 센서, 한쪽은 튜브를 연결한다.
  2. Hitachi DMS-7A 압력계에서
밝혀지지 않았음.
1. Yokogawa 2655 기압계