자기식엔코더
3단자 홀소자-모터 센서로 추정된다. 별도의 회로가 없다.
스핀들에 형성된 자기 엔코더 120극, 3도간격
스핀들 자기 엔코더 밑에 있는 frequency generator 패턴 60개 hall unit
frequency generator
hall unit
XY 두축에 연결된 엔코더
chip size: ~510um,
전극폭: ~7.5um, 총길이: ~3.6mm