포토마스크를 Miyachi ML-7110B로 레이저마킹

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3. 참고
  1. 포토마스크
6인치 5x 포토마스크에 레이저 마킹
1. 불투명 막 구조
  1. 크롬 0.09um + 산화크롬 0.01um
2. 2016/10/06 실험
3. 전체
  - 마킹 글자: TOGO TECHNOLOGY
4. GO 글자, 조건 4가지
  - 1: 35A 100mm/s 1kHz
  - 2: 30A 100mm/s 2kHz
  - 3: 20A 100mm/s 2kHz
  - 4: 15A 100mm/s 2kHz
5. 조건 4(15A 100mm/s 2kHz)에서 G 글자 확대
6. 조건 1(35A 100mm/s 1kHz)에서 G 글자 확대
7. 레이저 spot 간격 측정. 100m/sec 1kHz 작업조건이므로 간격은 100um 측정되었다.