4PP

4포인트프루브, 4 point probe(4PP)

  1. 링크
    1. 전자부품
      1. 4PP - 이 페이지
        1. FPP-2400
        2. SR2000
        3. ResMap 178
        4. SRM-232
      2. m-gage
  2. 기술조사
    1. 4PP에 대해서
    2. van der Pauw
  3. 기술자료
    1. - 4p
    2. - 17p
  4. 관련 회사
  5. 헤드 어셈블리
    1. KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
      1. Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
      2. 헤드 외관
      3. 헤드 분해
      4. 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
      5. 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
      6. 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
      7. TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
      8. 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
  6. 수작업 측정 치구
    1. 15/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
      1. 15/08/31
      2. 측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
    2. 9군데 상면/하면 저항 측정 치구
      1. 15/11/07 측정 치구 설명
      2. 100x100mm 크기의 기판에서.
      3. 아래쪽 - 바늘이 튀어나와 있으면 쉽게 망가지므로, 밑판이 후퇴되도록 만들었다.
      4. 위쪽
      5. 케이블링
    3. 18/08/06 500도씨 치구 관련
      1. 18/08/27
      2. 18/08/21 - 니켈전선 절연튜브
      3. 18/09/17 - 니켈100% 전선
      4. 18/09/17 - 측정 시료
      5. 18/09/27 TCR-01 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
      6. 18/09/28 - 500도 열처리하니
      7. 스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다.
      8. 2020/10/28 스프링 핀 3개 추가 구입함.
      9. 2020/11/02 종래 1개 + 신규 구입핀 3개
      10. 20/11/02 TCR-02 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
  7. 바늘
    1. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
      1. 프루브 #1
        1. 15/01/06
        2. 15/01/11 MT에서 만든 핀
        3. 19/08/09, BEGA에서 정품핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
      2. 프루브 #2 - 2019/06/28
        1. 분해 방법, 순서
        2. 프루브 팁
        3. #1호기 수리 때 사용한 핀(직경이 0.4mm)이 안들어간다.
        4. 19/08/09, GTS에서 제작한 핀으로 교체한 상태를 사진찍음.
    2. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 2.54mm
      1. 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.