IDT 저항

IDT 저항

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    2. 참고
      1. IDT C
  2. 기술
    1. interdigitated electrode resistance를 계산함.
    2. 형태
    3. IDT C에서 정전용량 계산하는 것과 같은 수식으로
      1. 그래프
  3. 레이저 트리밍 시뮬레이션 도구를 이용하여 최초로 측정함.
    1. 아래 왼쪽 전극에 0V, 오른쪽에 1V 전압인가한 후, 각 저항기가 만나는 점에서 전압을 측정하여,
      1. 실험
      2. 전압분포
    2. 아래 사진과 같은 저항기 분포에서, 저항값은 2R 근처을 보일 것으로 예측된다.
  4. 동박으로 실험함.
    1. 1/2 oz 동박은 이론값 0.98mΩ이다.
    2. 샘플 제작 및 4338B 저저항기로 측정
      1. 왼쪽이 면저항, 오른쪽이 IDT 저항
      2. IDT 전극에서
      3. 4 point 프루브 위치에 따라
      4. 4338B 저저항기로 측정하지 않고, DC 전류인가하고 DMM으로 전압을 측정하는 방식으로 다시 측정해보기로 함.
    3. 0.1ADC 인가하고, 전압을 측정함
      1. 결과
      2. 결론
        1. 전극형성을 위해 bus bar로 사용된 직경 2mm 구리선 저항값이, 저항체 저항 측정에 방해될 정도로 크다.
          1. 즉, 현실적으로는, 1/2 온스 동박은 면저항이 너무 낮아, 최종 결과값은 측정 시스템 저항 변동(노이즈)에 크게 영향을 받는다.
          2. 면저항이 더 큰 저항체를 사용해야 유효한 측정 결과가 나올 것이다.
        2. 그럼에도 불구하고, 프루빙 위치에 따라 이론 면저항 1mΩ에 근접하는 측정값을 획득할 수 있다.
          1. 적절한 측정 프루빙 위치에서 의미 있는 값이 나왔다고 가정하면
          2. IDT 저항값은 약 1.6R 정도 나오는 듯 하다.