17일, 16시간, 27분 - Togotech

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<li> [[CDE ResMap 178 표면저항 측정기]]
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<li>핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
 
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<li>측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
 
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<li>MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 치구 제작
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image:nano_korea2024_004.jpg | 가스챔버 밑면에 히터. [[4-Point Probe]]를 위한 [[포지셔너]]
 
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2025년 11월 24일 (월) 12:00 기준 최신판

4-point probe, 4PP

  1. 전자부품
    1. 계측기-측정기
      1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
        1. 4-Point Probe - 이 페이지
        2. 4PP, FPP, Four-Point Probe, 4-Point Probe, 4-wire ohm - 이 페이지
          1. BEGA FPP-2400 표면저항 측정기
          2. 창민 SR2000 면저항측정기
          3. CDE ResMap 178 표면저항 측정기
          4. Guardian SRM-232 표면저항 측정기
      2. 참조
        1. 저저항 측정 - 주로 와이어, 클립으로 연결
        2. 면저항
    2. 참조
      1. 포고핀
      2. 배터리 내부저항 측정용 치구
  2. 기술조사
    1. 4PP에 대해서
    2. 실드 코팅
  3. 기술자료
    1. - 4p
    2. - 17p
  4. 관련 회사
  5. 검사 패턴
    1. TEG
      1. LAN IC, Broadcom BCM5322M에서 , 4PP로 저항을 측정하는 것이 아니고 Tr 특성을 파악하기 위한 4개 패드

        • NMOS 10/0.28 (아마 0.28um 선폭)

  6. LCR 리드타입 측정치구
    • 16047a01 004.jpg
  7. 헤드 어셈블리
    1. KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
      1. Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
        • omnimap02 001.jpg
      2. 헤드 외관

        • 피치 1.575mm

        • omnimap02 003.jpg

        • 팁 반지름이 커질수록 간격이 가까워져 측정값이 계속 작아지는 큰 문제.

        • 핀 하나가 마모됨. 뒤로 후퇴하지 않아

        • TC재질이 마모될 정도면 무척 많이, 오랫동안 사용한 듯

      3. 헤드 분해
        • omnimap02 007.jpg
        • omnimap02 008.jpg
        • omnimap02 009.jpg
        • omnimap02 010.jpg
      4. 루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
        • omnimap02 011.jpg
        • omnimap02 012.jpg
        • omnimap02 013.jpg
        • omnimap02 014.jpg
      5. 헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
        • omnimap02 015.jpg
        • omnimap02 016.jpg
        • omnimap02 017.jpg
      6. 바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
        • omnimap02 018.jpg

        • 핀 압력 조절

        • omnimap02 020.jpg
      7. TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
        • omnimap02 021.jpg
        • omnimap02 022.jpg

        • hairspring

      8. 핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
        • omnimap02 024.jpg
        • omnimap02 025.jpg
        • omnimap02 026.jpg
  8. 수작업 측정 치구
    1. 투고기술 표준.간격 2.54mm. 측정된 저항값 그대로 기록한다. 면저항으로 환산하지 않는다.
      1. 2015/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
      2. 2015/08/31
      3. 측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
        • 4pp-fix01-001.jpg

        • 간격 2.54mm

        • 4pp-fix01-003.jpg
        • 4pp-fix01-004.jpg
      4. 차폐 테이프

        • 4PP 치구 핀 간격에서 저항은 0.024Ω을 보인다.

    2. MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 치구 제작
      1. 창민 SR2000 면저항측정기에서 나온 헤드를 사용함.
      2. 2016/08/01 제작협의 회의록
        • 4pp2 015.jpg
      3. 2016/08/09 MG엔지니어링에서 온 견적서
      4. 2016/08/10
        1. 동영상
            , https://youtu.be/LtWJSbw48Dw
        2. 사진
          • 4pp2 025.jpg
          • 4pp2 026.jpg

          • 자중 70g, 스프링힘 10g/mm

          • 4pp2 028.jpg
        3. 프루브 헤드와 연결되는 D-sub 9핀 커넥터
          • 4pp2 029.jpg
          • 4pp2 030.jpg
        4. 금속막이 코팅된 웨이퍼를 측정하는 사진
          • 4pp2 031.jpg
          • 4pp2 032.jpg
          • 4pp2 033.jpg
      5. 2016/08/11, 지멕에 납품

        • D-sub9핀 커넥터와 바나나로 연결된 케이블을 DMM에 꼽는다.

    3. 9군데 상면/하면 저항 측정 치구
      1. 15/11/07 측정 치구 설명

        • 상하로 연결된 저저항을 9군데를 측정하기 위한 치구.

      2. 100x100mm 크기의 기판에서.

        • 스위칭 장치와 연결을 위한 커넥터

        • 이런 스위칭 장치가 사용되었다.

        • r1 002.jpg
      3. 아래쪽 - 바늘이 튀어나와 있으면 쉽게 망가지므로, 밑판이 후퇴되도록 만들었다.

        • 누르면 핀이 돌출

        • 핀이 속으로 들어감

      4. 위쪽
        • r1 005.jpg

        • 바늘 2개씩

      5. 케이블링

        • 위/아래면에 각각 바늘 9쌍, 18선

        • 아래면 18선 케이블링

    4. 18/08/06 500도씨 치구 관련
      1. 18/08/27
        • 4pp3 001.jpg
        • 4pp3 002.jpg
        • 4pp3 003.jpg
        • 4pp3 004.jpg
        • 4pp3 005.jpg
        • 4pp3 006.jpg
      2. 18/08/21 - 니켈전선 절연튜브
        • fiberglass tube01 001.jpg
        • fiberglass tube01 002.jpg
      3. 18/09/17 - 니켈100% 전선
        • ni100 heater 001.jpg
      4. 18/09/17 - 측정 시료
        • 4pp3 007.jpg
      5. 18/09/27 TCR-01 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
        • 4pp3 008.jpg
        • 4pp3 009.jpg
        • 4pp3 010.png
      6. 18/09/28 - 500도 열처리하니
        • 4pp3 011.jpg

        • 스프링탄성을 완전히 잃어버린다.

      7. 스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다.
      8. 2020/10/28 스프링 핀 3개 추가 구입함.
      9. 2020/11/02 종래 1개 + 신규 구입핀 3개
        • 4pp3 013.jpg
        • 4pp3 014.jpg
        • 4pp3 015.jpg
        • 4pp3 016.jpg

        • 약 1.5오옴 측정됨. 문제없음.

        • 시편 밑에 종이 4장을 깔고 측정함.

      10. 20/11/02 TCR-02 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
    5. 2020/12/10 6인치 웨이퍼용
      1. 누르는 힘이 강하므로, 웨이퍼에 적용하면 깨질 수 있다. PCB 등 검사용에 사용한다.
        • 4pp fix02 001.jpg
        • 4pp fix02 002.jpg
        • 4pp fix02 003.jpg
        • 4pp fix02 004.jpg
        • 4pp fix02 005.jpg
    6. 2020/12/10 손으로 잡고 사용하는 측정 치구
      1. 2.54mm 피치, 6-핀
        • 4pp fix03 001.jpg
        • 4pp fix03 002.jpg

        • 홀 가공된 PCB 두 장을 사용하여 핀을 평행하게 유지하고 있다.

        • 4pp fix03 004.jpg
      2. 1.27mm 및 2.54mm 피치, 2열 6-핀

        • 오른쪽 두 개가 2020/12/31 도착

        • 4pp fix04 002.jpg

        • 1.27mm

        • 1.27mm

        • 1.27mm

        • 같이 동봉된 불량 드라이버

  9. 바늘
    1. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
      1. 프루브 #1
        1. 15/01/06
        2. 15/01/11 MT에서 만든 핀

          • 도면

          • pin02 001.jpg

          • 더 정확한 가공(특히 팁 반지름)이 필요

          • 더 매끈한 재질의 TC가 필요

          • pin02 004.jpg

          • 팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨.

        3. 19/08/09, BEGA에서 정품핀으로 교체한 상태를 사진찍음.

          • 팁 R이 확실한 원형

      2. 프루브 #2 - 2019/06/28
        1. 분해 방법, 순서

          • 인두기로 플라스틱 핀에 구멍을 판 후

          • 반대탭을 돌려 핀에 끼운 후

          • 뽑는다

          • 90도 돌리면 고정 스크루가 있다.

          • 마개를 힘들게 뽑아야한다

          • 4개 소형 스크루 풀고

          • 2개의 스크루 풀면

          • 스프링 4개를 볼 수 있다.

        2. 프루브 팁

          • 1mm 정도 튀어 나와야 한다.

          • 자세히 보면 부러져 있다.

          • 꺼내 보면 확실히 부러져 있다.

        3. #1호기 수리 때 사용한 핀(직경이 0.4mm)이 안들어간다.

          • 외경이 0.38mm 핀이 필요하다.

        4. 19/08/09, GTS에서 제작한 핀으로 교체한 상태를 사진찍음.

          • 팁 R이 원형가공되어 있지 않다.

          • pin06 002.jpg
          • pin06 003.jpg

          • GTS vs MT 가공 핀, 저항은 대충 길이에서 약 20m오옴으로 차이는 거의 없음.

    2. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 2.54mm
      1. 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
        • pin03 001.jpg
        • pin03 002.jpg
        • pin03 003.jpg
    3. 참고
      1. Yokogawa LR4110 펜레코더에 있는 도트매트릭스 프린터에서
        • dot matrix head1 017.jpg
        • dot matrix head1 018.jpg
  10. 가스 챔버에서 포지셔너
    1. 가스센서
      1. 2024/07/04 나노코리아, 레이저코리아, 첨단세라믹, 접착코팅필름산업전, 스마트센서코리아 2024
원본 주소 "http://www.togotech.co.kr/index.php?title=4PP&oldid=91233"