29일, 21시간, 40분 - Togotech

"4-Point Probe"의 두 판 사이의 차이

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4포인트프루브, 4 point probe(4PP)
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4-point probe, 4PP
 
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<li> [[전자부품]]
 
<li> [[전자부품]]
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<li>계측기-측정기
 
 
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<li> [[표면저항 측정기]], [[면저항 측정기]]
 
<li> [[표면저항 측정기]], [[면저항 측정기]]
 
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<li> [[4PP]], [[FPP]] , [[Four-Point Probe]], [[4-Point Probe]] - 이 페이지
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<li> [[4-wire ohm]] - 이 페이지
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<li> [[4-Point Probe]] - 이 페이지
 +
<li> [[Four-Point Probe]] - 이 페이지
 +
<li> [[4PP]] - 이 페이지
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<li> [[FPP]] - 이 페이지
 
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<li> [[FPP-2400]]
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<li> [[Jandel 4-Point Probe 헤드]]
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<li> 창민 [[SR2000]]
 
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<li> [[ResMap 178]]
 
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<li> [[SRM-232]]
 
 
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<li>참조
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 +
<li> [[저저항 측정]] - 주로 와이어, 클립으로 연결
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<li> [[면저항]]
 
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<li>참조
 
<li>참조
 
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<li> [[포고핀]] - 이 페이지
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<li> [[포고핀]]
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<li> [[배터리 내부저항 측정용 치구]]
 
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<li>4PP에 대해서  
 
<li>4PP에 대해서  
 +
<li>ASTM D2739 Standard Test Method for Volume Resistivity of Conductive Adhesives
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<li>MIL-STD 883/5011 과 같다.(?)
 +
<li>경화된 수지 기반의 도전성 접착제에 대한 체적 저항률를 측정한다.
 +
<li>Technic 회사의 측정 치구 설명 - 8p
 +
<ol>
 +
<li>체적저항률 = 측정저항 x 두께 x 폭 / 측정지점거리
 +
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 +
<li>에폭시 접착제에 대한 각종 시험 방법 - 47p
 +
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<li> [[실드 코팅]]
 
<li> [[실드 코팅]]
 
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<li> - 17p
 
<li> - 17p
 
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−
<li>측정 예
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<li>관련 회사
 
<ol>
 
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<li> [[실드 코팅]]
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<li>  
 +
<li>Nittoseiko Analytech
 +
<ol>
 +
<li>4pp 및 고저항율 측정을 위한 그림 설명이 있다. - 12p
 +
<li>Loresta-AX MCP-T370 측정기 데이터시트 - 2p
 
<ol>
 
<ol>
−
<li> [[8960]] 무선 통신 테스트 세트에서
+
<li>검증을 위한 1Ω 저항기를 탑재한 프루브 체커(4핀, 2핀)를 판매한다.
−
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−
image:8960_04_044.jpg | 측정저항값x4.5 = 면저항이다. 그럼 면저항은 68m, 금 비저항 2.44E-8 을 면저항을 나누면 막두께 0.35um으로 계산됨.
 
−
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<li>관련 회사
 
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<li>
 
 
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<li>헤드 어셈블리
+
<li>검사 패턴
 
<ol>
 
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<li>KLA Tencor OmniMap, 로보트가 부착된 설비에서. 17/07/07 촬영
+
<li> [[TEG]]
 
<ol>
 
<ol>
−
<li>Jandel CT6 시리즈 헤드, 피치 62mil=1,575um, 팁반지름 0.0040인치=101.6um, 압력 200gf, 재질 TC
+
<li> [[LAN IC]], Broadcom BCM5322M에서 , [[4PP]]로 저항을 측정하는 것이 아니고 Tr 특성을 파악하기 위한 4개 패드
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:omnimap02_001.jpg
+
image:bcm5322_014.jpg | NMOS 10/0.28 (아마 0.28um 선폭)
 
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−
<li>헤드 외관
+
</ol>
 +
</ol>
 +
<li> [[LCR 리드타입 측정치구]]
 
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image:omnimap02_002.jpg | 피치 1.575mm
+
image:16047a01_004.jpg
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image:omnimap02_003.jpg
 
−
image:omnimap02_004.jpg | 팁 반지름이 커질수록 간격이 가까워져 측정값이 계속 작아지는 큰 문제.
 
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image:omnimap02_005.jpg | 핀 하나가 마모됨. 뒤로 후퇴하지 않아
 
−
image:omnimap02_006.jpg | TC재질이 마모될 정도면 무척 많이, 오랫동안 사용한 듯
 
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>헤드 분해
+
<li>상업용 헤드 어셈블리
 +
<ol>
 +
<li> [[Jandel 4-Point Probe 헤드]]
 +
</ol>
 +
<li>수작업 측정 치구
 +
<ol>
 +
<li>투고기술 표준.간격 2.54mm. 측정된 저항값 그대로 기록한다. 면저항으로 환산하지 않는다.
 +
<ol>
 +
<li>2015/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
 +
<li>2015/08/31
 +
<li>측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:omnimap02_007.jpg
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image:4pp-fix01-001.jpg
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image:omnimap02_008.jpg
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image:4pp-fix01-002.jpg | 간격 2.54mm
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image:omnimap02_009.jpg
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image:4pp-fix01-003.jpg
−
image:omnimap02_010.jpg
+
image:4pp-fix01-004.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>루비 링 - TC 재질 핀이 상하로 움직이면서 마모를 방지. - 핀 중심위치가 틀어지면 측정값 또한 달라지므로 핀 중심이 변하면 안됨.
+
<li> [[차폐 테이프]]
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:omnimap02_011.jpg
+
image:shielding_tape01_006.jpg | [[4PP]] 치구 핀 간격에서 저항은 0.024Ω을 보인다.
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image:omnimap02_012.jpg
 
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image:omnimap02_013.jpg
 
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image:omnimap02_014.jpg
 
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>헤드, Prometrix 회사는 1994년 KLA/Tencor 로 합병됨.
+
</ol>
 +
<li>MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 치구 제작
 +
<ol>
 +
<li> [[창민 SR2000 면저항측정기]]에서 나온 헤드를 사용함.
 +
<li>2016/08/01 제작협의 회의록
 
<gallery>
 
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−
image:omnimap02_015.jpg
+
image:4pp2_015.jpg
−
image:omnimap02_016.jpg
 
−
image:omnimap02_017.jpg
 
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>바늘에 압력인가 및 전기적 연결 방법
+
<li>2016/08/09 MG엔지니어링에서 온 견적서
 +
<li>2016/08/10
 +
<ol>
 +
<li>동영상
 +
<ol> , https://youtu.be/LtWJSbw48Dw
 +
</ol>
 +
<li>사진
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:omnimap02_018.jpg
+
image:4pp2_025.jpg
−
image:omnimap02_019.jpg | 핀 압력 조절
+
image:4pp2_026.jpg
−
image:omnimap02_020.jpg
+
image:4pp2_027.jpg | 자중 70g, 스프링힘 10g/mm
 +
image:4pp2_028.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>TC 재질 핀에 직접 납땜으로 연결됨.
+
<li>프루브 헤드와 연결되는 [[D-sub]] 9핀 커넥터
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:omnimap02_021.jpg
+
image:4pp2_029.jpg
−
image:omnimap02_022.jpg
+
image:4pp2_030.jpg
−
image:omnimap02_023.jpg
 
 
</gallery>
 
</gallery>
−
<li>핀 압력용 판 스프링 - TC 재질핀이 움직이면서 긁기 때문에 루비로 마모 방지
+
<li>금속막이 코팅된 웨이퍼를 측정하는 사진
 
<gallery>
 
<gallery>
−
image:omnimap02_024.jpg
+
image:4pp2_031.jpg
−
image:omnimap02_025.jpg
+
image:4pp2_032.jpg
−
image:omnimap02_026.jpg
+
image:4pp2_033.jpg
 
</gallery>
 
</gallery>
 
</ol>
 
</ol>
−
</ol>
+
<li>2016/08/11, 지멕에 납품
−
<li>수작업 측정 치구
 
−
<ol>
 
−
<li>15/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
 
−
<ol>
 
−
<li>15/08/31
 
−
<li>측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
 
 
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<gallery>
−
image:4pp-fix01-001.jpg
+
image:4pp2_034.jpg | [[D-sub]]9핀 커넥터와 바나나로 연결된 케이블을 DMM에 꼽는다.
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image:4pp-fix01-002.jpg
 
−
image:4pp-fix01-003.jpg
 
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image:4pp-fix01-004.jpg
 
−
</gallery>
 
−
<li> [[차폐 테이프]]
 
−
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image:shielding_tape01_006.jpg | [[4PP]] 치구 핀 간격에서 저항은 0.024Ω을 보인다.
 
 
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</ol>
 
</ol>
189번째 줄: 201번째 줄:
 
image:4pp3_015.jpg
 
image:4pp3_015.jpg
 
image:4pp3_016.jpg
 
image:4pp3_016.jpg
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image:4pp3_017.jpg | 약 1.5오옴 측정됨. 문제없음.
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image:4pp3_017.jpg | 약 1.5Ω 측정됨. 문제없음.
 
image:4pp3_018.jpg | 시편 밑에 종이 4장을 깔고 측정함.
 
image:4pp3_018.jpg | 시편 밑에 종이 4장을 깔고 측정함.
 
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222번째 줄: 234번째 줄:
 
image:4pp_fix04_005.jpg | 1.27mm
 
image:4pp_fix04_005.jpg | 1.27mm
 
image:4pp_fix04_006.jpg | 같이 동봉된 불량 드라이버
 
image:4pp_fix04_006.jpg | 같이 동봉된 불량 드라이버
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<li>2026/02/09 1.27mm 피치, Programmer Testing Clip SOP8
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<li>연결단자는 1.27mm 평행 피치
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image:4pp_fix05_001.jpg | 이 이상 맞닿지 않는다.
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<li>연결단자를 구부려 2.54mm 피치가 나오도록 한 제품
 +
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 +
image:4pp_fix05_002.jpg
 +
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 +
<li>접촉 단자
 +
<gallery>
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image:4pp_fix05_003.jpg
 +
image:4pp_fix05_004.jpg
 
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</ol>
243번째 줄: 271번째 줄:
 
image:pin01_009.jpg | 직경 400um
 
image:pin01_009.jpg | 직경 400um
 
image:pin01_010.jpg
 
image:pin01_010.jpg
−
image:pin01_011.jpg | 초경재질이다
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image:pin01_011.jpg | [[탄화텅스텐]] 재질이다
 
image:pin01_012.jpg
 
image:pin01_012.jpg
 
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267번째 줄: 295번째 줄:
 
image:pin04_002.jpg | 반대탭을 돌려 핀에 끼운 후
 
image:pin04_002.jpg | 반대탭을 돌려 핀에 끼운 후
 
image:pin04_003.jpg | 뽑는다
 
image:pin04_003.jpg | 뽑는다
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image:pin04_004.jpg | 90도 돌리면 고정 스크류가 있다.
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image:pin04_004.jpg | 90도 돌리면 고정 스크루가 있다.
 
image:pin04_005.jpg | 마개를 힘들게 뽑아야한다
 
image:pin04_005.jpg | 마개를 힘들게 뽑아야한다
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image:pin04_006.jpg | 4개 소형 스크류 풀고
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image:pin04_006.jpg | 4개 소형 스크루 풀고
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image:pin04_007.jpg | 2개의 스크류 풀면
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image:pin04_007.jpg | 2개의 스크루 풀면
 
image:pin04_008.jpg | 스프링 4개를 볼 수 있다.
 
image:pin04_008.jpg | 스프링 4개를 볼 수 있다.
 
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288번째 줄: 316번째 줄:
 
image:pin06_002.jpg
 
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image:pin06_003.jpg
 
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image:pin06_004.jpg | GTS vs MT 가공 핀, 저항은 대충 길이에서 약 20m오옴으로 차이는 거의 없음.
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image:pin06_004.jpg | GTS vs MT 가공 핀, 저항은 대충 길이에서 약 20mΩ으로 차이는 거의 없음.
 
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303번째 줄: 331번째 줄:
 
<li>참고
 
<li>참고
 
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<li> Yokogawa [[LR4110]] 펜레코더에 있는 [[도트매트릭스 프린터]]에서
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<li> [[Yokogawa LR4110 펜레코더]]에 있는 [[도트매트릭스 프린터]]에서
 
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image:dot_matrix_head1_017.jpg
 
image:dot_matrix_head1_017.jpg
 
image:dot_matrix_head1_018.jpg
 
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<li>가스 챔버에서 [[포지셔너]]
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<li> [[가스센서]]
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<li>2024/07/04 [[나노코리아, 레이저코리아, 첨단세라믹, 접착코팅필름산업전, 스마트센서코리아 2024]]
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image:nano_korea2024_004.jpg | 가스챔버 밑면에 히터. [[4-Point Probe]]를 위한 [[포지셔너]]
 
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2026년 2월 10일 (화) 11:16 기준 최신판

4-point probe, 4PP

  1. 전자부품
    1. 표면저항 측정기, 면저항 측정기
      1. 4-wire ohm - 이 페이지
      2. 4-Point Probe - 이 페이지
      3. Four-Point Probe - 이 페이지
      4. 4PP - 이 페이지
      5. FPP - 이 페이지
        1. Jandel 4-Point Probe 헤드
    2. 참조
      1. 저저항 측정 - 주로 와이어, 클립으로 연결
      2. 면저항
    3. 참조
      1. 포고핀
      2. 배터리 내부저항 측정용 치구
  2. 기술조사
    1. 4PP에 대해서
    2. ASTM D2739 Standard Test Method for Volume Resistivity of Conductive Adhesives
      1. MIL-STD 883/5011 과 같다.(?)
      2. 경화된 수지 기반의 도전성 접착제에 대한 체적 저항률를 측정한다.
      3. Technic 회사의 측정 치구 설명 - 8p
        1. 체적저항률 = 측정저항 x 두께 x 폭 / 측정지점거리
      4. 에폭시 접착제에 대한 각종 시험 방법 - 47p
    3. 실드 코팅
  3. 기술자료
    1. - 4p
    2. - 17p
  4. 관련 회사
    2. Nittoseiko Analytech
      1. 4pp 및 고저항율 측정을 위한 그림 설명이 있다. - 12p
      2. Loresta-AX MCP-T370 측정기 데이터시트 - 2p
        1. 검증을 위한 1Ω 저항기를 탑재한 프루브 체커(4핀, 2핀)를 판매한다.
  5. 검사 패턴
    1. TEG
      1. LAN IC, Broadcom BCM5322M에서 , 4PP로 저항을 측정하는 것이 아니고 Tr 특성을 파악하기 위한 4개 패드

        • NMOS 10/0.28 (아마 0.28um 선폭)

  6. LCR 리드타입 측정치구
    • 16047a01 004.jpg
  7. 상업용 헤드 어셈블리
    1. Jandel 4-Point Probe 헤드
  8. 수작업 측정 치구
    1. 투고기술 표준.간격 2.54mm. 측정된 저항값 그대로 기록한다. 면저항으로 환산하지 않는다.
      1. 2015/01/16 MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 제작함
      2. 2015/08/31
      3. 측정 때마다 핀 가견이 일정하지 않기 때문에 측정값 편차가 존재하지만...
        • 4pp-fix01-001.jpg

        • 간격 2.54mm

        • 4pp-fix01-003.jpg
        • 4pp-fix01-004.jpg
      4. 차폐 테이프

        • 4PP 치구 핀 간격에서 저항은 0.024Ω을 보인다.

    2. MG엔지니어링 http://www.mgeng.co.kr/ 에서 치구 제작
      1. 창민 SR2000 면저항측정기에서 나온 헤드를 사용함.
      2. 2016/08/01 제작협의 회의록
        • 4pp2 015.jpg
      3. 2016/08/09 MG엔지니어링에서 온 견적서
      4. 2016/08/10
        1. 동영상
            , https://youtu.be/LtWJSbw48Dw
        2. 사진
          • 4pp2 025.jpg
          • 4pp2 026.jpg

          • 자중 70g, 스프링힘 10g/mm

          • 4pp2 028.jpg
        3. 프루브 헤드와 연결되는 D-sub 9핀 커넥터
          • 4pp2 029.jpg
          • 4pp2 030.jpg
        4. 금속막이 코팅된 웨이퍼를 측정하는 사진
          • 4pp2 031.jpg
          • 4pp2 032.jpg
          • 4pp2 033.jpg
      5. 2016/08/11, 지멕에 납품

        • D-sub9핀 커넥터와 바나나로 연결된 케이블을 DMM에 꼽는다.

    3. 9군데 상면/하면 저항 측정 치구
      1. 15/11/07 측정 치구 설명

        • 상하로 연결된 저저항을 9군데를 측정하기 위한 치구.

      2. 100x100mm 크기의 기판에서.

        • 스위칭 장치와 연결을 위한 커넥터

        • 이런 스위칭 장치가 사용되었다.

        • r1 002.jpg
      3. 아래쪽 - 바늘이 튀어나와 있으면 쉽게 망가지므로, 밑판이 후퇴되도록 만들었다.

        • 누르면 핀이 돌출

        • 핀이 속으로 들어감

      4. 위쪽
        • r1 005.jpg

        • 바늘 2개씩

      5. 케이블링

        • 위/아래면에 각각 바늘 9쌍, 18선

        • 아래면 18선 케이블링

    4. 18/08/06 500도씨 치구 관련
      1. 18/08/27
        • 4pp3 001.jpg
        • 4pp3 002.jpg
        • 4pp3 003.jpg
        • 4pp3 004.jpg
        • 4pp3 005.jpg
        • 4pp3 006.jpg
      2. 18/08/21 - 니켈전선 절연튜브
        • fiberglass tube01 001.jpg
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      3. 18/09/17 - 니켈100% 전선
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      4. 18/09/17 - 측정 시료
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      5. 18/09/27 TCR-01 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
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      6. 18/09/28 - 500도 열처리하니
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        • 스프링탄성을 완전히 잃어버린다.

      7. 스프링을 사용하는 것은 불가능하다. -> 지구 중력를 이용해야 한다.
      8. 2020/10/28 스프링 핀 3개 추가 구입함.
      9. 2020/11/02 종래 1개 + 신규 구입핀 3개
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        • 약 1.5Ω 측정됨. 문제없음.

        • 시편 밑에 종이 4장을 깔고 측정함.

      10. 20/11/02 TCR-02 엑셀 데이터 -20도씨~+150도씨 측정
    5. 2020/12/10 6인치 웨이퍼용
      1. 누르는 힘이 강하므로, 웨이퍼에 적용하면 깨질 수 있다. PCB 등 검사용에 사용한다.
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    6. 2020/12/10 손으로 잡고 사용하는 측정 치구
      1. 2.54mm 피치, 6-핀
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        • 4pp fix03 002.jpg

        • 홀 가공된 PCB 두 장을 사용하여 핀을 평행하게 유지하고 있다.

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      2. 1.27mm 및 2.54mm 피치, 2열 6-핀

        • 오른쪽 두 개가 2020/12/31 도착

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        • 1.27mm

        • 1.27mm

        • 1.27mm

        • 같이 동봉된 불량 드라이버

    7. 2026/02/09 1.27mm 피치, Programmer Testing Clip SOP8
      1. 연결단자는 1.27mm 평행 피치

        • 이 이상 맞닿지 않는다.

      2. 연결단자를 구부려 2.54mm 피치가 나오도록 한 제품
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      3. 접촉 단자
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        • 4pp fix05 004.jpg
  9. 바늘
    1. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 1mm
      1. 프루브 #1
        1. 15/01/06
        2. 15/01/11 MT에서 만든 핀

          • 도면

          • pin02 001.jpg

          • 더 정확한 가공(특히 팁 반지름)이 필요

          • 더 매끈한 재질의 TC가 필요

          • pin02 004.jpg

          • 팁 끝 위치가 중심에 있지 않기 때문에 회전하면 간격이 변동되어 측정값도 변동됨.

        3. 19/08/09, BEGA에서 정품핀으로 교체한 상태를 사진찍음.

          • 팁 R이 확실한 원형

      2. 프루브 #2 - 2019/06/28
        1. 분해 방법, 순서

          • 인두기로 플라스틱 핀에 구멍을 판 후

          • 반대탭을 돌려 핀에 끼운 후

          • 뽑는다

          • 90도 돌리면 고정 스크루가 있다.

          • 마개를 힘들게 뽑아야한다

          • 4개 소형 스크루 풀고

          • 2개의 스크루 풀면

          • 스프링 4개를 볼 수 있다.

        2. 프루브 팁

          • 1mm 정도 튀어 나와야 한다.

          • 자세히 보면 부러져 있다.

          • 꺼내 보면 확실히 부러져 있다.

        3. #1호기 수리 때 사용한 핀(직경이 0.4mm)이 안들어간다.

          • 외경이 0.38mm 핀이 필요하다.

        4. 19/08/09, GTS에서 제작한 핀으로 교체한 상태를 사진찍음.

          • 팁 R이 원형가공되어 있지 않다.

          • pin06 002.jpg
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          • GTS vs MT 가공 핀, 저항은 대충 길이에서 약 20mΩ으로 차이는 거의 없음.

    2. BEGA 표면저항측정기용 4point probe - 간격 2.54mm
      1. 15/02/25 , 리노회사의 G135R, 인터넷에서 살 수 있음.
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        • pin03 003.jpg
    3. 참고
      1. Yokogawa LR4110 펜레코더에 있는 도트매트릭스 프린터에서
        • dot matrix head1 017.jpg
        • dot matrix head1 018.jpg
  10. 가스 챔버에서 포지셔너
    1. 가스센서
      1. 2024/07/04 나노코리아, 레이저코리아, 첨단세라믹, 접착코팅필름산업전, 스마트센서코리아 2024
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