프루버

Togotech (토론 | 기여)님의 2024년 4월 24일 (수) 11:04 판

프루버

  1. 링크
    1. 전자부품
      1. 프루버 - 이 페이지
        1. 포지셔너
        2. 잉커
        3. 프루브카드
      2. 프루버 동작
        1. 프루버 프로그래밍
        2. 이동 좌표 생성
      3. 프루빙
        1. LED 프루빙
        2. 저항 프루빙
        3. 정전용량 프루빙
    2. 참고
      1. 프루빙 서비스
      2. 웨이퍼
  2. 투고기술 보유, EG2001X 프루버
    1. 메뉴얼
      1. EG4085X 프루버 매뉴얼(254523-001 REV G) - 747p, 306p 8장에 명령어
      2. - 244p
      3. 보유 3권
        1. 2020/06/04 촬영
        2. Mechanical Interface Reference Drawing
        3. Reference Drawing, Vol.1
        4. Reference Drawing, Vol.2
    2. 수식
      1. 3점 원의 방정식 circle-ibw.txt
    3. 분석 엑셀
      1. 반지름 특성 분석 엑셀 파일
    4. 주변 유틸리티
      1. 100V 트랜스포머
        1. 220V로 결선을 바꿔서 사용할 수 있을 것 같은데... 현재 100V를 사용하고 있다.(??? - 정확히 확인 필요)
      2. 진공펌프
        1. DA-60D 진공펌프를 사용하고 있다.
        2. 진공펌프에서 외경 10mm 튜브, 본체는 외경 5/16"(=7.94mm 약8mmm) 사용중
      3. 공기압축펌프
        1. 냉동식 수분 제거기
        2. 필터(main filter + mist separator)
    5. 프루버 본체 등
      1. 투고사무실에서
      2. Platen Base Assembly 도면 - 11p
      3. ring carrier - 주황색 판을 말한다.
        1. 3군데 기둥으로 평행 평면을 맞추는 방법.
      4. Forcer - 이 회사가 linear motor를 일컫는 말이다.
        1. 설명
          1. 2차원평면에서 이동한다. 영구자석과 전자석으로 이루어져 있다.
          2. 알루미늄 덩어리속에 금속코어와 감싸고 있는 코일로 만들어 NS극이 존재한다.
          3. platen은 20mil 간격으로 와플 패턴이 에칭되어 그려져 있다. forcer 또한 20mil 간격이지만 이빨 형태로 잘라진 형태이다.
          4. palten과 forcer 사이는 air bearing 을 유지해서 마찰이 없으면서 1um 이동간격을 같는다.
        2. 사진
      5. Chuck - hot 척이다.
        1. 6인치(=150mm) 척 표면
          1. 형태
          2. 진공구멍이 어떤 측정값에 영향을 준다.
            1. 정전용량 프루빙
        2. 콘트롤러 모델: THERMO CONTROLLER TC-2000
        3. 접지와 연결
        4. 높이
          1. 척 최소높이 200mil, 최대높이 400mil 이다. 차이는 200mil=5.08mm이다.
          2. 척 높이는 항상 mil(인치 단위)로 화면에 표시된다.
          3. 높이 정확도 측정
            1. 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니
            2. 2020/06/08 접촉식 마이크로미터로, 최대(400mil-최소200mil=5.080mm) 높이 측정하니. 5.070mm. 즉, 최대 스트로크 5mm에서 0.01/5.07=0.2% 오차
        5. 수평 측정
          1. 개요
          2. 2020/06/06 레이저변위 거리계가 반복성 20um이므로, 정밀하지 않지만...
            1. 측정 사진
            2. 진공구멍이 있는 척 상태로
            3. 150mm 실리콘 웨이퍼 뒷면(거울 앞면은 레이저로 측정안됨)을 측정하니, 이 센서에서 멀수록 +값이 커지므로, 1시 방향은 대각선에 비해 약 ~50um 낮다.
          3. 2020/06/07 접촉식 마이크로미터로 측정하니, 1시 방향이 대각선 방향보다 약 ~30um 낮다.
          4. 2020/06/07 평행 평면을 만들기 위한 방법
            1. 수평조절용 볼트 3군데
              1. 그림
              2. 설명
                1. 풀면, 척 전체를 위로 올리는 (강력한 스프링)이 없기 때문에 올릴 수는 없다.
                2. 접촉부위 사이에 있는, 고무 오링으로 누르면서 수평을 잡는다.
                3. 그러므로 너무 조이면 오링이 탄성을 잃어버려 수평 조절이 안된다. 오링을 교환해야 한다.
                4. 수평을 결정하는 또 다른 곳이 맨 위 척을 고정하는 4개의 볼트이다.
                  1. 4개 볼트는 수평 조정용으로 사용하지 않고, 고정용이다.
                  2. 적당한 토크로 4개 볼트를 모두 고정시키고 난 후, 아래 3개로 수평조절을 한다.
            2. 교정 전후
          5. 2020/06/09 수평 교정 후, 이틀 뒤에 다시 측정하니,
            1. 출근해서 측정하니
            2. 두 번째 측정하니, 평탄해졌다.
            3. 어느 부위 떨림이 있는가를 체크한 것 - 없다.
        6. hot chuck 분해
          1. 2020/06/07 첫 분해
      6. 링(ring)
        1. "프루브 카드 홀더". 2020/06/07 사용하지 않기 때문에 뜯어서 프루버 뒤에 보관함.
        2. 2014/09/12 김동현사장으로 선물받은, 척 베이스(진공, 자석 모두 가능) 링
        3. 2015/03/03, 링을 고정시키기 위해, mm 나사구멍을 몇 개 뚫는 가공비 21하이테크에서 80,000원 지불함.
      7. 모니터
        1. 20/04/20 CRT 9인치 모니터 내부를 고장에 대비해 관찰함.
      8. 바퀴 관련
        1. 14/05/13 기존 바퀴(하양)가 많이 손상당해, 대차 바퀴(빨강)로 교환함
        2. 20/05/26 바퀴 방향을 돌림
          1. 캐스터의 wheel lock 철판이 앞으로 돌출되어 있어, 발등을 찍음.
          2. 가구용 lift 레버로는 들어올릴 수 없어, 긴 지렛대로 들어올려 조정함.
    6. 프루빙 장면
      1. 14/05/12 와이솔 TC SAW, 테스트패턴 온도계수 측정하는 중
      2. 14/06/25 1GHz 공진기 측정중
      3. 20/04/19 문제없이 돌아감
  3. 압전 연구실 2017/04/20
  4. Tokyo Seimitsu, A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
    1. 고장 - 동일한 프루빙 시스템(프루버+테스터)를 찾음
      1. 우측 장치 - (상단) EM-20, Semiconductor Tester (하단)A-PM-50A, Automatic Wafer Probing Machine
      2. 좌측 장치 - Tokyo Seimitsu, EM-20A, Semiconductor Tester (모니터, 키보드, FDD, 그리고 밑에 빽빽한 보드 캐비넷)
  5. 간이 프루버
    1. 2006년 8월 기구부 약 150만원에 제작함
    2. 사진