니콘 i넥시브 VMA-2520

전자부품
1. 치수측정 현미경
  1. 니콘넥시브 VM-150N
  2. 니콘 i넥시브 VMA-2520 - 이 페이지
2. 참고
  1. 시트 기판 측정
  2. 에칭된 금속판 구멍 치수 측정 - 이 페이지
3. 참고
  1. 니콘 i넥시브 VMA-2520용 PC
세라믹 기판 측정을 위한, 투고기술 넥시브 소개 자료 ,
니콘 iNexiv, CNC video measuring system
1. iNexiv VMA-시리즈 카탈로그, 2023/06 - 5p
  1. 카탈로그에서 출시년도는 2009년 7월 1일
2. VMA-2520
  1. 브로셔 2006/12 - 7p
  2. 정보
    1. 가장 작은 모델, 스트로크 250(X) x 200(Y) x 200(Z)mm
    2. 테이블 포함 메인 바디 크기 및 무게: 650 x 700 x 1557mm, 100kg
    3. 17인치 SXGA 모니터인 경우, 12 20 34 62 120배 (실제 길이는 13.3x10mm에서 1.33x1mm 크기)
    4. LWD: 73.5mm, long working distance
    5. 반사조명인 경우, flyeye lens = integrator lens(파리눈렌즈, 적분 렌즈) 광학렌즈를 사용했다.
  3. 옵션: 레이저 AF는 직경이 작은 쪽(앞쪽?)이 발광부, 직경이 큰 쪽이 수광부
니콘 i넥시브 VMA-2520 이력
청소 2025/06/16
1. 콘트롤러, 모델 VMA-LAF35
  1. 외관
    - 2006.12.8 제조, S/N 1402108
    - 뒷면
  2. 내부
    1. 전체
    2. 모터 드라이브
      - 아래쪽이 모터와 연결되는 출력
      - 왼쪽에서부터 X, Y, Z 회로
    3. 엔코더 및 헤드 보드에서, 통신보드를 뽑은 후 그 밑
    4. 판매용 표준 산업용 SMPS, Cosel ACE650F AC6-WCO02H-00
  3. 이 본체만 소비전력. 상단 LED P쪽만 켜진다.
    - 56W
2. 조이스틱
  1. 참고: 니콘넥시브 VM-150N 조이스틱
    1. 두 조이스틱 구조가 거의 같다.
  2. 외형
  3. 가변저항식, S30JBK-ZT-30R3G-8519A, 저항: 10kΩL, 선형성: +-3%
    - 무라타 PKM34EW, 발진회로가 업는 피에조버저
3. 케이블
  - IEEE 1394 6-선
  - USB 커넥터 USB type B
  - 모터용. 보완하기 전
  - 모터용, 보완한 후
4. XY 스테이지
  1. DC서보모터용 브러시모터, Sanyo Denki T406-011E
    1. Z축 모터와 달리 모델명 마지막에 E가 붙어 있다.
    2. 손잡이용(?) 원반이 달려 있다.
  2. 2025/06/16
    - 국책과제구입설비: 과제책임자 김명기상무
    - S/N 1402108 콘트롤러 S/N와 같다.
  3. 2025/06/24
    - 앞쪽, 좌측에 각각 있는, 커플링으로 연결된 볼 스크루
    - 뒤쪽에 있는 X축 리니어 광학식엔코더
    - 오른쪽에 있는 Y축 리니어 광학식엔코더
    - 뒷쪽 X축 리니어 가이드에 있는 철사줄(백래시제거용 preload용?)
    - 앞쪽 X축 리니어 가이드에는 철사줄이 끊어져 제거되어 있다.
  4. 2025/08/06 Y축 모터, Z축 모터의 외형 비교
    - Z축 모터 모델: T406-011, Y축 모터 모델: T406-011E(뒤쪽에 고무 댐퍼와 연결된 플라이휠;flywheel이 붙어 있다. 왜?)
5. Z 스테이지
  1. 사진
    - LED 조명 원통, 맨 밑에 laser, 뒤쪽 원통은 카메라
  2. 동영상, 스크로크 전범위(0-200mm)에서 상하반복 동영상. 무거운 헤드 전체가 '균형추(counterweight)'없이 이동시킨다.
  3. DC서보모터용 브러시모터, Sanyo Denki T406-011, 엔코더 및 브레이크가 없는 단순 모델이다.
    1. 외형
    2. 브러시 점검 참조.
    3. Y축 모터와 교체했으나
      1. 교체한 사진(2025/08/07)
        
        Y축 모터에는 프라이휠이 붙어 있어 높이가 맞지 않는다. 그래서 포스트를 덧대야 했다.
      2. 교체한 후에도 문제가 있어, 원래대로 되돌림
  4. 0.1um 정밀도를 위한 리니어 광학식엔코더
    - 이동 파트 한쪽면에 롤러 3개가 있다.(하나는 PCB U자 홈에 있는데 전선 때문에 안보인다.)
  5. cos 및 sine 신호를 1Vp-p 신호로 변경시키는 아날로그 앰프 보드. 2S701-669
    1. 설명
      1. 커버있는 가변 저항기로 cos-sine 신호를 교정한다.
      2. 보드 하나에 두 축을 제어한다.
      3. 커버있는 가변 저항기 4개가 한 축의 신호를 교정한다.
      4. cos-sine 신호 각각에 대해서 gain 조정, offset 조정한다.
      5. MaintenanceA 소프트웨어에서 나온 파형으로 조정해봤다.
    2. 사진
  6. 백래시 현상
    1. 동영상, 손으로 헤드를 들어올리고, 들어올리지 않고를 반복하면, 2025/08/08 촬영
  7. vision AF를 수행될 때 떨림현상, 두 번 반복
    1. 동영상
6. Laser AF
  1. LD 레이저 다이오드, 보드 이름 2S701-680
  2. PD-IC, 보드 이름 2S701-679
7. 모두 연결하고 전원을 켜니
  - 청소를 마치고 모두 조립한 후. 왼쪽이 Olympus LG-PS2 할로겐조명 콘트롤러
  - 소비전력 74W
8. Olympus LG-PS2 할로겐조명 콘트롤러
의견 2025/06/16
1. USB-A to USB-B 케이블이 있는 것으로 볼 때, PC의 USB-A포트로 콘트롤된다.
  1. 본체 영상은 콘트롤러의 IEEE 1394를 통해 PC에서 받는 듯.
  2. 즉, PC에는 IEEE 1394가 있어야 한다.
2. 이전 사용자가 이 장치가 유휴된 사유는 조이스틱이 고장이라고 한다.
  1. 내부를 살펴보니, 내부가 매우 간단하고, 회로보드가 없는 아주 단순한 구조이므로 고장이 아닌 듯하다.
2025/06/19 전화통화
1. 니콘인스트먼트코리아(NIK) 본사에 문의한 결과, 신규 판매는 본사가 담당하고, 서비스는 각 지역 대리점에서 담당한다고 한다.
2. 이에 따라 용인시 수지구에 위치한 nitech 엔아이텍(02-6925-1048) 유기봉차장을 소개받음.
3. 제논 CPU를 사용하는 서버와 소프트웨어의 가격은 약 900만 원 정도이며, 일반적으로 정상적으로 작동할 것으로 보인다.
4. 만약 본체와 컨트롤러 부품에 문제가 있다면, 부품이 있을 경우 추가로 구매하면 해결할 수 있어 다행이지만, 부품이 없다면 작동시킬 수 없다고 한다.
2025/06/19
1. 회사 보조 PC에서 사용해보기 위해 'NEXT-1394VT EX' PCI-E 확장 카드를 13,300원에 구매 의뢰함.
2025/06/23 니콘 i넥시브 VMA-2520용 PC 설치완료함.
- LAN 연결됨.
2025/06/25 엔아이텍 회사 담당자가 출장 수리
1. 셋업 사진
  1. X축 광학식엔코더 청소
  2. Z축 리미트 검출용 포토인터럽터 인식 못해 수리함. 실행 프로그램 초기에서 XYZ각각 원점을 결정하는 OK가 자동수행에서 나타나지 않아서
  3. 1394포트가 있는 Sony VGN-Z45LD 노트북에 프로그램을 설치
    - 하드웨어를 인식하지 못해서 실패
  4. 스테이지 마이크로미터(Stage Micrometer)에 해당하는 표준 패턴이 그려진 자를 통해 (임시)교정
    - 교정 데이터가 있어야 프로그램이 실행된다.
  5. Vision AF 동작하지 않음. 동작함, 동작하지 않음.
    1. Laser AF에서 붉은색 레이저 나오지 않음.
  6. 현재는, AF 동작에 문제가 있다.
2. 비용처리 자료
  1. 소프트웨어 셋업 견적서
  2. 사업자등록증
  3. 통장사본
2025/07/07 콘트롤러 보드 교체 비용은 680만원이다.
2025/07/23 가동상태에서 모터 드라이브 보드를 열화상 카메라로 촬영
1. 사진
  - Sp1, Sp2, Sp3은 각각 Z,Y,X 모터 회로
2. 특별한 과열 부품이 없다.
2025/07/29 엔아이텍 회사 담당자가 출장 수리
1. PC 변경 - 동일한 고장
2. 콘트롤러 변경 - 동일한 고장
3. 케이블(모터,엔코더,헤드) 변경 - 동일한 고장
4. 본체 뒷면
  1. 사진
  2. 설명
    1. DIP 스위치 S1은 모두 OFF, S2에서는 7bit만 ON(만약 OFF로 하면 PC프로그램 실행이 되지 않는다. 2025/08/04 확인)
    2. 코드 스위치 3개는 X,Y,Z용, 모두 명확하게 0 위치
      1. 2025/08/06, 모터 이득(gain) 조정용: 0-7까지는 +이득, 8-F는 -이득이다.
      2. 현재 0이므로 2씩 증가시켜 가동해보자.
      3. 8:x0.2, 9, A, B, C, D, E, F:x0.9
    3. 7-segment LED는 전원을 켜면 16진수 표시가 반복된다.
5. 레이저 AF 중심과 화면 중심을 맞추고, 레이저 AF가 고정한 Z와 카메라 비전 초점 Z와 일치시킴
6. 동영상
2025/07/30 94mmSQ 기판 4장을 측정을 시도했으나, 정상적으로 동작하지 않는다.
1. 측정 전체 범위에서 Z축 최고 및 최저를 파악해서, vision AF를 위한 scan range 및 minimum step을 결정해야 한다.
2. 사진
  - vma2520 01 057.jpg
  - 촛점을 잡지 못하고 Z축 모터가 회전,역회전을 반복한다.(발발거린다.)
3. 참고, 시료를 110mm 위로 올려놓고 측정하는 사진
2025/08/04 움직이지 않고, 패턴의 어느 한 점을 측정하면,
1. 1000번 측정한 X,Y,Z 데이터 에서 Z 값 편차
  - 측정에 15초 소요된다면, 0.5초 주기로 Z축 모터가 발발거린다.
2. 브러시 점검 한 후,
  1. 1411 기판 3740셀을 측정한 후
    - 마킹된 불량 셀에 대한 패턴 매칭 오류 이외에 아무런 문제가 없다.
  2. 반복 측정하면 여전히 모터 에러가 발생된다.