시트 기판 측정

전자부품
1. 니콘 i넥시브 VMA-2520
  1. 시트 기판 측정 - 이 페이지
    1. 1612 시트 기판 4장 측정
2. 참고
  1. HTCC 시트
세라믹 기판 측정을 위한, 투고기술 넥시브 소개 자료 ,
측정하고 있는
1. 2025/07/01, 니콘 i넥시브 VMA-2520 현재 상태가 Auto Focus가 동작하지 않아서, 기판을 평평하게 만들기 위해서, 6인치 블랭크 마스크로 눌러서 측정
  - 1411 세라믹 기판 측정
coplanarity
1. 교세라 1411, HTCC 시트, vision AF(surface)
  1. 9군데 범프 접합 위치
  2. 측정 동영상 1배속
  3. 9군데 점에서 평면(Plane)을 계산하여 나온 flatness 결과, 3번 실행
2. PCB 1612, 레이저변위 laser AF로
  1. 1.2x0.8mm 코너에서 12지점
  2. 측정 동영상 1배속
  3. 12군데 점에서 평면(Plane)을 계산하여 나온 flatness 결과, 3번 실행하니 7.6, 8.0, 8.0um
3. 거울, 레이저변위 laser AF
  1. 1x1mm 간격으로 4x4=16지점
  2. 측정 동영상 1배속
  3. 16군데 점에서 평면(Plane)을 계산하여 나온 flatness 결과, 4번 실행하니 0.5, 0.6, 0.5, 0.6um
4. 투명 유리판, 레이저변위 laser AF
  1. 20x20mm 간격으로 7x7=49지점, 120x120mm 면적에서
    - 레이저 경로
  2. 평면 계산 결과에서 그래프
    1. 설명
      1. 49지점 Z의 최소제곱법에 의한 평면으로부터
      2. elevation max=1.2um, min=-0.8um(삼각화살표 방향), Flatness = 2.0um
      3. 측정 시작점 S, 측정 종료점 F
    2. 그래프
  3. 투명유리판에서 vision AF는 동작하지 않아도, Laser AF 방식에는 문제가 없다.
1411 (아래 그림 크기는 840x760px)
1. 데이터 처리 엑셀 형판 파일
2. 첫번째 측정 엑셀 파일 1번시트
  1. 직진도, 규격 0.07mm 이내
    - X축
    - Y축
  2. 두번째 측정 엑셀 파일 2번시트
    - X축
    - Y축
  3. 의견
    1. gage R&R은 맞다. 정확한 값인지는 다시 확인해보자.
3. 두번째 측정 엑셀 파일 AF 문제를 해결한 후, 50mm높이에서 XYZ 모두 정상적으로 측정함.
  1. 그러나 측정중, 기판 표면에 묻은 먼지를 제거하기 위한 바람을 불었는데, 이 때문에 기판 위치가 약간 변함
    - X축 straightness
    - Y축 straightness
    - Z축 warpage
4. 세번째 측정 엑셀 파일 AF 문제를 해결한 후, 40mm 높이에서 기판4장을 측정함.
  1. straightness-X
    - 기판#1 50um이내
    - 기판#2 30um이내
    - 기판#3 30um이내
    - 기판#4 20um이내
  2. straightness-Y
    - 기판#1 40um이내
    - 기판#2 50um이내
    - 기판#3 20um이내
    - 기판#4 20um이내
  3. warpage 측정
    - 기판#1 0.23mm
    - 기판#2 0.37mm
    - 기판#3 0.34mm
    - 기판#4 0.25mm